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광 스캐너 및 광 스캐너 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015174542
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 따른 광 스캐너는, 적어도 하나의 미러가 형성된 제1 스캐너; 및적어도 하나의 미러가 형성된 제2 스캐너;를 포함하고, 상기 제1 스캐너와 상기 제2 스캐너는 상하로 정렬되어 결합되어 있는 것을 특징으로 한다. 상기 제1 스캐너로 입사하여 상기 제2 스캐너로 출사하는 빔의 경로가 N형이거나, 상기 제1 스캐너의 일측으로 입사하여 상기 제1 스캐너의 타측으로 출사되는 빔의 경로가 M형인 것을 특징으로 한다. 본 발명의 광 스캐너는 2개의 스캐너가 접합시 얼라인 키에 의한 정렬도 동시에 수행되므로 추가적인 패키징 작업 및 광 스캐너 간의 복잡한 정렬 과정을 생략할 수 있다.
Int. CL G02B 26/12 (2006.01) G02B 26/10 (2006.01)
CPC G02B 26/12(2013.01) G02B 26/12(2013.01) G02B 26/12(2013.01) G02B 26/12(2013.01)
출원번호/일자 1020130121810 (2013.10.14)
출원인 광주과학기술원
등록번호/일자 10-1574563-0000 (2015.11.30)
공개번호/일자 10-2015-0042958 (2015.04.22) 문서열기
공고번호/일자 (20151221) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.10.14)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 광주과학기술원 대한민국 광주광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이종현 대한민국 광주광역시 북구
2 문승환 대한민국 광주광역시 북구
3 이재권 대한민국 광주광역시 북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김기문 대한민국 서울시 강남구 역삼로 *** *층 (역삼동 현죽빌딩)(한미르특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 광주과학기술원 대한민국 광주광역시 북구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2013.10.14 수리 (Accepted) 1-1-2013-0924258-20
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2014.07.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2014.08.08 수리 (Accepted) 9-1-2014-0065441-18
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.08.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0571571-18
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.10.21 수리 (Accepted) 1-1-2014-1002998-86
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.10.21 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-1002999-21
7 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2015.02.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0129129-84
8 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2015.03.23 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2015-0282311-41
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.03.23 수리 (Accepted) 1-1-2015-0282310-06
10 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2015.04.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0269250-40
11 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2015.05.20 수리 (Accepted) 1-1-2015-0483627-77
12 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.06.18 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0591272-17
13 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.06.18 수리 (Accepted) 1-1-2015-0591271-72
14 등록결정서
Decision to Grant Registration
2015.11.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0823588-17
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번호 청구항
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제1 스캐너; 및 상기 제1 스캐너와 접합되는 제2 스캐너;를 포함하고,상기 제1 스캐너는,제1 기판 및 제1 소자층을 포함하고,상기 제1 소자층의 소정의 영역에 형성된 제1 미러와,상기 제1 미러를 기준으로 일측에 형성되어 빔이 입사하는 제1 윈도우 및 상기 제1 미러를 기준으로 타측에 형성되어 빔이 출사하는 제2 윈도우와,상기 제1 미러 양측에서 하나의 회전축을 갖도록 형성되는 제1 스프링을 포함하고,상기 제2 스캐너는,제2 기판 및 제2 소자층을 포함하고,상기 제1 미러와 비껴서 마주보도록 상기 제2 소자층에 형성되는 제2 미러와,상기 제2 미러 일측에 형성되어 빔을 출사시키기 위한 제3 미러와,상기 제2 미러 양측에 상기 제1 미러와 평행하는 회전축을 갖도록 형성되는 제2 스프링과, 상기 제3 미러 양측에 상기 제1 미러와 직교하는 회전축을 갖도록 형성되는 제3 스프링을 포함하고,상기 제1 스캐너와 상기 제2 스캐너의 일면이 서로 접합되며, 상기 제1 윈도우를 통해 입사하여 상기 제2 미러에서 반사된 빔은 상기 제1 미러에서 반사된 후, 상기 제3 미러에서 반사되어 상기 제2 윈도우를 통해 출사되고, 상기 제1 미러 및 상기 제1 미러와 평행한 회전축을 갖는 제2 미러가 빔의 회전각을 분배하여 상기 빔의 출사가 이루어지는 M형 또는 W형의 빔경로를 가지는 하이브리드 광 스캐너
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제 17항에 있어서,상기 제1 스캐너와 상기 제2 스캐너 사이에는 제3 기판이 마련되며,상기 제3 기판의 하면에는 상기 제1 기판이 접합되고, 상기 제3 기판의 상면에는 상기 제2 기판이 접합되어, 상기 제1 윈도우로 입사된 빔이 상기 제2 윈도우로 출사되도록 정렬되는 M형 또는 W형의 빔경로를 가지는 하이브리드 광 스캐너
19 19
제 17항에 있어서, 상기 제1 스캐너와 상기 제2 스캐너 사이에는 제3 기판이 마련되며,상기 제3 기판의 하면에는 상기 제1 소자층이 접합되고, 상기 제3 기판의 상면에는 상기 제2 기판이 접합되어, 상기 제1 윈도우로 입사된 빔이 상기 제2 윈도우로 출사되도록 정렬되는 M형 또는 W형의 빔경로를 가지는 하이브리드 광 스캐너
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