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측정대상물체의 진동 측정점에 관한 형상정보를 획득하는 레이저 거리측정기; 및상기 측정대상물체의 진동을 측정할 진동 측정점에 레이저 빔을 조사하여, 상기 진동 측정점에 대한 진동성분을 측정하는 레이저 스캐닝 진동측정기가 포함되고, 상기 레이저 거리측정기에서 조사되는 제 1 레이저와 상기 레이저 스캐닝 진동측정기에서 조사되는 제 2 레이저 중에서, 어느 하나는 반사하고 어느 하나는 투과하여, 상기 레이저 거리측정기와 상기 레이저 스캐닝 진동측정기가 동시에 동작할 수 있도록 하는 광학필터와,상기 측정대상물체와 상기 광학필터 사이의 상기 레이저의 광 경로에 놓이는 스캐닝부가 포함되는 진동측정장치
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제 1 항에 있어서, 상기 광학필터는, 레이저의 파장에 따라서 투과특성이 달라지는 것으로서, 노치필터, 밴드패스필터, 롱패스필터, 및 숏패스필터 중의 어느 하나인 진동측정장치
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제 1 항에 있어서, 상기 레이저 스캐닝 진동측정기는, 적어도 세 지점의 측정 위치에서 상기 진동성분을 측정하는 진동측정장치
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제 3 항에 있어서, 상기 레이저 거리측정기는 한 대로 구성되고, 상기 레이저 스캐닝 진동측정기 한 대로 구성되는 진동측정장치
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제 1 항에 있어서, 상기 광학필터는, 상기 제 1 레이저는 투과시키고, 상기 제 2 레이저는 반사시키는 진동측정장치
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제 1 항에 있어서, 상기 레이저 거리측정기는 LIDAR인 진동측정장치
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제 1 광원에서 조사되는 레이저가 통과하는 광경로를 제공하는 진동측정광학계;제 2 광원에서 조사되는 레이저가 통과하는 광경로를 제공하는 형상측정광학계; 및상기 진동측정광학계에서 출사된 레이저와 상기 형상측정광학계에서 출사된 레이저가 조사되는 광경로를 제공하는 공통광학계가 포함되고, 상기 공통광학계의 적어도 어느 일부에서는, 상기 진동측정광학계에서 출사된 레이저와 상기 형상측정광학계에서 출사된 레이저가 동시에 조사되고,상기 공통광학계에는 광학필터와 스캐닝부가 포함되는 진동측정장치의 광학계
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제 7 항에 있어서, 상기 진동측정광학계 및 상기 형상측정광학계는 모두, 상기 스캐닝부의 어느 일측에 놓이는 진동측정장치의 광학계
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제 7 항에 있어서, 상기 광학필터는, 레이저의 파장에 따라서 투과특성 및 반사특성이 달라지는, 노치필터, 밴드패스필터, 롱패스필터, 및 숏패스필터 중의 어느 하나인 진동측정장치의 광학계
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제 1 광원에서 조사되는 레이저가 통과하는 광경로를 제공하는 진동측정광학계;제 2 광원에서 조사되는 레이저가 통과하는 광경로를 제공하는 형상측정광학계; 및상기 진동측정광학계에서 출사된 레이저와 상기 형상측정광학계에서 출사된 레이저가 조사되는 공통으로 지나는 광경로를 제공하는 공통광학계가 포함되고, 상기 공통광학계가 고정되는 제 1 고정면은, 상기 진동측정광학계가 고정되는 제 2 고정면에 비하여 낮게 위치하고, 상기 형상측정광학계가 제공되는 제 3 고정면은 상기 제 1 고정면 및 제 2 고정면과 직교하게 배치되며,상기 공통광학계에는 광학필터와 스캐닝부가 포함되는 진동측정장치의 광학계
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제 11 항에 있어서, 상기 형상측정광학계는 분리가능하게 제공되는 진동측정장치의 광학계
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제 11 항에 있어서, 상기 광학필터는 제 1 광원의 레이저와 제 2 광원의 레이저 중에서 어느 하나는 투과시키고 다른 하나는 반사시키는 진동측정장치의 광학계
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