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파티클이 제공되는 기판;상기 기판 상에 배치되어, 상기 기판을 향해 포집광을 조사하는 포집광원;상기 파티클에서 반사된 산란광의 변화를 측정하는 광감지부;상기 기판 및 상기 파티클 중의 적어도 하나를 가공하는 가공광을 제공하는 가공광원;상기 기판 상에 배치되어, 상기 가공광의 광경로를 상기 포집광의 광경로로 반사하는 제 2 다이크로익미러; 및상기 기판 상에 배치되어, 상기 산란광을 상기 광감지부로 반사시키는 제 1 다이크로익미러;가 포함되고,상기 기판, 상기 포집광원, 상기 제 1 다이크로익미러 및 상기 제 2 다이크로익미러는 일렬로 배치된 포지셔닝장치를 이용하는 가공장치
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제 1 항에 있어서,상기 기판 아래 배치되어, 상기 파티클과 상기 기판의 거리를 조절할 수 있도록 마련된 포지셔너를 더 포함하는 포지셔닝장치를 이용하는 가공장치
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제 1 항에 있어서,상기 기판, 상기 포집광원, 상기 제 1 다이크로익미러 및 상기 제 2 다이크로익미러는 수직방향으로 중첩되도록 배치된 포지셔닝장치를 이용하는 가공장치
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제 3 항에 있어서,상기 광감지부는 상기 제 1 다이크로익미러에서 수평방향으로 이격되도록 배치된 포지셔닝장치를 이용하는 가공장치
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제 3 항에 있어서,상기 가공광원은 상기 제 2 다이크로익미러에서 수평방향으로 이격되도록 배치된 포지셔닝장치를 이용하는 가공장치
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제 1 항에 있어서,상기 광감지부는 사중포토다이오드인 포지셔닝장치를 이용하는 가공장치
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제 1 항에 있어서,상기 가공광의 광경로의 적어도 일부는 상기 포집광의 광경로와 같은 포지셔닝장치를 이용하는 가공장치
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제 1 항에 있어서,상기 포집광원이 상기 파티클에 초점을 맺도록 하는 대물렌즈가 더 포함되고, 상기 포지셔너는 상기 대물렌즈를 이동시킬 수 있는 포지셔닝장치를 이용하는 가공장치
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제 1 항에 있어서,상기 산란광을 촬영하는 카메라 및 상기 산란광을 육안으로 볼 수 있도록 하는 관찰경 중에서 적어도 하나가 더 제공되는 포지셔닝장치를 이용하는 가공장치
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