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포지셔닝장치, 포지셔닝장치를 이용하는 가공장치, 포지셔닝방법 및 포지셔닝방법을 이용하는 가공방법

  • 기술번호 : KST2015174583
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 따른 포지셔닝장치에는, 파티클이 제공되는 기판; 상기 파티클을 포집하는 포집광을 제공하는 포집광원; 상기 파티클과 상기 기판의 거리를 조절할 수 있도록 마련되는 포지셔너; 및 상기 포집광의 초점이 상기 파티클에서 변하는 것에 따라서 발생하는 산란광의 변화를 측정하는 광감지부가 포함된다. 본 발명에 따르면 나노스케일의 정밀도로 물체를 가공할 수 있다. 가공의 정밀도가 높으면서도 간단하고 작은 장비로 측위장치 및 가공장치를 구성할 수 있다.
Int. CL B23K 26/03 (2014.01) B23K 26/00 (2014.01) G01N 21/47 (2006.01)
CPC B23K 26/57(2013.01) B23K 26/57(2013.01) B23K 26/57(2013.01) B23K 26/57(2013.01)
출원번호/일자 1020150068626 (2015.05.18)
출원인 광주과학기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2015-0096350 (2015.08.24) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자 10-2014-0017390 (2014.02.14)
관련 출원번호 1020140017390
심사청구여부/일자 Y (2015.05.18)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 광주과학기술원 대한민국 광주광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이용구 대한민국 광주광역시 북구
2 무함마드 왈리드 파키스탄 광주광역시 북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김기문 대한민국 서울시 강남구 역삼로 *** *층 (역삼동 현죽빌딩)(한미르특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application
2015.05.18 수리 (Accepted) 1-1-2015-0471080-77
2 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2015.05.20 수리 (Accepted) 1-1-2015-0486175-56
3 일부보류안내문
Notification of Partial Deferment
2015.05.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2015-0089822-25
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2015.06.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0409096-55
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.08.12 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0782633-21
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.08.12 수리 (Accepted) 1-1-2015-0782632-86
7 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2015.12.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0894787-38
8 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Extension of Legal Period] Request for Extension of Period (Reduction, Expiry Reconsideration)
2016.01.22 수리 (Accepted) 7-1-2016-0003718-28
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번호 청구항
1 1
파티클이 제공되는 기판;상기 기판 상에 배치되어, 상기 기판을 향해 포집광을 조사하는 포집광원;상기 파티클에서 반사된 산란광의 변화를 측정하는 광감지부;상기 기판 및 상기 파티클 중의 적어도 하나를 가공하는 가공광을 제공하는 가공광원;상기 기판 상에 배치되어, 상기 가공광의 광경로를 상기 포집광의 광경로로 반사하는 제 2 다이크로익미러; 및상기 기판 상에 배치되어, 상기 산란광을 상기 광감지부로 반사시키는 제 1 다이크로익미러;가 포함되고,상기 기판, 상기 포집광원, 상기 제 1 다이크로익미러 및 상기 제 2 다이크로익미러는 일렬로 배치된 포지셔닝장치를 이용하는 가공장치
2 2
제 1 항에 있어서,상기 기판 아래 배치되어, 상기 파티클과 상기 기판의 거리를 조절할 수 있도록 마련된 포지셔너를 더 포함하는 포지셔닝장치를 이용하는 가공장치
3 3
제 1 항에 있어서,상기 기판, 상기 포집광원, 상기 제 1 다이크로익미러 및 상기 제 2 다이크로익미러는 수직방향으로 중첩되도록 배치된 포지셔닝장치를 이용하는 가공장치
4 4
제 3 항에 있어서,상기 광감지부는 상기 제 1 다이크로익미러에서 수평방향으로 이격되도록 배치된 포지셔닝장치를 이용하는 가공장치
5 5
제 3 항에 있어서,상기 가공광원은 상기 제 2 다이크로익미러에서 수평방향으로 이격되도록 배치된 포지셔닝장치를 이용하는 가공장치
6 6
제 1 항에 있어서,상기 광감지부는 사중포토다이오드인 포지셔닝장치를 이용하는 가공장치
7 7
제 1 항에 있어서,상기 가공광의 광경로의 적어도 일부는 상기 포집광의 광경로와 같은 포지셔닝장치를 이용하는 가공장치
8 8
제 1 항에 있어서,상기 포집광원이 상기 파티클에 초점을 맺도록 하는 대물렌즈가 더 포함되고, 상기 포지셔너는 상기 대물렌즈를 이동시킬 수 있는 포지셔닝장치를 이용하는 가공장치
9 9
제 1 항에 있어서,상기 산란광을 촬영하는 카메라 및 상기 산란광을 육안으로 볼 수 있도록 하는 관찰경 중에서 적어도 하나가 더 제공되는 포지셔닝장치를 이용하는 가공장치
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교과부 광주과학기술원 핵심연구(핵심기초)지원사업 DNA 분자의 연속적인 프리즈매틱 분획법(1/3)