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펌핑광원; 및 레이저 이득 매질과, 상기 레이저 이득 매질에서 출력된 광이 반사 또는 통과하는 다수의 거울과 광학 소자를 포함하는 공진기를 포함하며,상기 공진기의 적어도 일측 반사면이 빛의 파장에 따라서 선택적으로 반사율을 조절할 수 있는 선택적 반사 수단으로 이루어진 것을 특징으로 하는 펨토초 레이저 발진 장치
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제1항에 있어서,상기 공진기의 출력측 외부에 배치된 회절 격자 쌍을 더 포함하여, 상기 회절격자 쌍이 출력광원을 파장에 따라 분포시키고,상기 회절격자 쌍의 사이에 선택적 반사 수단이 배치되는 것을 특징으로 하는 펨토초 레이저 발진 장치
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제1항 또는 제2항에 있어서,상기 선택적 반사 수단은 미세 격자 거울 어레이로 이루어진 것을 특징으로 하는 펨토초 레이저 발진 장치
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제3항에 있어서,상기 미세 격자 거울 어레이는 MEMS에 의하여 형성된 것을 특징으로 하는 펨토초 레이저 발진 장치
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제4항에 있어서,상기 미세 격자 거울 어레이의 일부는 입력되는 빛을 제1 각도로 반사시키고, 또 다른 일부는 입력되는 빛은 제1 각도와는 다른 제2 각도로 반사시키는 것을 특징으로 하는 펨토초 레이저 발진 장치
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제1항 또는 제2항에 있어서,상기 선택적 반사 수단은 소정 파장의 빛의 반사율을 0%에서 100%까지 조절할 수 있는 것을 특징으로 하는 펨토초 레이저 발진 장치
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제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 공진기의 출력단에 연결되어, 출력된 광의 스펙트럼 또는 광의 세기를 측정하는 측정장치와,상기 측정장치에 의하여 측정된 스펙트럼 또는 광의 세기에 따라 상기 선택적 반사 수단에서 반사된 빛의 반사율을 조정하는 조정 장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 펨토초 레이저 발진 장치
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레이저 이득 매질과, 상기 레이저 이득 매질에서 출력된 광이 반사 또는 통과하는 다수의 거울과 광학 소자를 포함하는 공진기를 포함하는 레이저 발진 장치에서, 상기 공진기의 일측 반사면이 빛의 파장에 따라서 선택적으로 반사율을 조절하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 펨토초 레이저 발진 방법
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제8항에 있어서, 상기 반사율 조절 단계는 미세 격자 거울을 이용하여 각각의 거울의 반사각을 조절하는 것을 특징으로 하는 펨토초 레이저 발진 방법
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제8항에 있어서, 상기 반사율 조절 단계는 파장에 따라 빛을 분리하는 단계;미세 격자 거울을 이용하여 각각의 거울의 반사각을 조절하는 단계; 및미세 격자 거울 반사된 복수 파장의 빛을 모아주는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 펨토초 레이저 발진 방법
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제8항에 있어서, 상기 반사율 조절 단계는상기 공진기의 출력단에서 출력된 광의 스펙트럼 또는 광의 세기를 측정하는 단계와,상기 측정 단계에서 측정된 스펙트럼 또는 광의 세기에 따라 선택적으로 각각의 거울의 반사각을 조절하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 펨토초 레이저 발진 방법
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제11항에 있어서, 상기 측정단계와 반사각 조절 단계가 복수 회 반복되는 것을 특징으로 하는 펨토초 레이저 발진 방법
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레이저 이득 매질과, 상기 레이저 이득 매질에서 출력된 광이 반사 또는 통과하는 다수의 거울과 광학 소자를 포함하는 공진기를 포함하는 레이저 발진 장치에서, 소망하는 레이저 출력 스펙트럼 또는 빛의 세기를 설정하는 단계;상기 레이저 이득 매질에 펌핑광을 입력하여 상기 공진기에서 펌핑광과는 다른 파장의 빛을 출력하는 단계;상기 공진기의 출력단에서 출력된 빛의 스펙트럼 또는 빛의 세기를 측정하는 단계;상기 설정된 스펙트럼 또는 빛의 세기와 측정된 스펙트럼 또는 빛의 세기를 비교하는 단계;상기 비교 단계에서의 결과에 따라 측정된 스펙트럼 또는 빛의 세기가 상기 설정된 스펙트럼 또는 빛의 세기와 다를 경우 상기 공진기의 적어도 하나의 반사면에서 선택적으로 반사율을 조절하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 펨토초 레이저 발진 방법
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