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사각 형상을 가지는 고정기판,상기 고정기판에 대하여 제1 방향으로 상대 이동되는 외부 구동부;상기 외부 구동부에 대하여 상기 제1 방향과 다른 제2 방향으로 상대 이동되는 내부 구동부; 및상기 고정기판과 상기 외부 구동부를 물리적 전기적으로 연결하고, 상기 외부 구동부 및 상기 내부 구동부를 물리적 전기적으로 연결하는 탄성부를 포함하고,상기 탄성부는 서로 절연되어 있는 복수의 스프링을 통하여 서로 다른 전압을 상기 외부 구동부에 전달하고,상기 고정기판은 각 변을 따라 연장되며 전기적으로 서로 분리된 4개의 전극을 포함하고,상기 4개의 전극은, 상기 제2 방향으로 연장되는 제1 전극; 상기 제1 전극과 평행하게 연장되는 제2 전극; 상기 제1 방향으로 연장되는 제3 전극; 및 상기 제3 전극과 평행하게 연장되는 제4 전극;을 포함하고,상기 외부 구동부는, 상기 제1 내지 제4 전극 내부에 배치되며, 상기 제1 내지 제4 전극과 대향하는 제1 내지 제4 구동부를 포함하고,상기 제3 및 제4 전극 각각은, 전기적으로 절연되는 두 개의 소전극을 포함하고,상기 제3 전극은 상기 제2 구동부와 연결되는 제3 전극의 제1 소전극; 및 상기 제3 구동부와 연결되는 제3 전극의 제2 소전극을 포함하고,상기 제4 전극은 상기 제2 구동부와 연결되는 제4 전극의 제1 소전극; 및 상기 제4 구동부와 연결되는 제4 전극의 제2 소전극을 포함하고,상기 제1 구동부 및 상기 제2 구동부는 상기 제2 방향의 가상의 직선을 기준으로 비대칭인 형상을 가지고,상기 제1 구동부의 상기 제1 방향 단변의 길이는, 상기 제2 구동부의 상기 제1 방향 단변의 길이보다 짧고,상기 제1 및 제2 구동부의 상기 제2 방향 단변의 길이는 동일하고,상기 제3 구동부 및 상기 제4 구동부는 상기 제1 방향의 가상의 직선을 기준으로 대칭인 형상을 가지는 멤스 소자
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제1항에 있어서, 상기 탄성부는상기 절연되어 있는 복수의 스프링을 물리적으로 연결하는 절연부를 더 포함하는 멤스 소자
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제2항에 있어서,상기 탄성부는더블 폴디드 스프링을 포함하는 멤스 소자
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제3항에 있어서,상기 절연부는섬형의 절연물질로 형성되어 있는 멤스 소자
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제4항에 있어서,상기 멤스 소자는 사각형의 형상을 가지는 멤스 소자
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제1항에 있어서,상기 내부 구동부는, 상기 탄성부와 상기 제2 방향으로 마주하는 변으로부터 상기 제2 방향으로 돌출되는 연결단을 포함하고,상기 연결단은 상기 변의 중앙 영역에 배치되는 멤스 소자
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제3항에 있어서,상기 탄성부는,상기 제3 전극과 상기 제2 구동부, 상기 제3 전극과 상기 제3 구동부를 연결하는 제1 탄성부;상기 제4 전극과 상기 제2 구동부, 상기 제4 전극과 상기 제4 구동부를 연결하는 제2 탄성부;상기 제1 구동부와 상기 내부 구동부를 연결하는 제3 탄성부; 및상기 제2 구동부와 상기 내부 구동부를 연결하는 제4 탄성부를 포함하고,상기 제1 탄성부는,상기 제3 전극의 제1 소전극과 상기 제2 구동부를 연결하는 상기 제1 탄성부의 제1 고정부; 및 상기 제3 전극의 제2 소전극과 상기 제3 구동부를 연결하는 상기 제1 탄성부의 제2 고정부;를 포함하는 멤스 소자
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제8항에 있어서,상기 제2 탄성부는,상기 제4 전극의 제1 소전극과 상기 제2 구동부를 연결하는 상기 제2 탄성부의 제1 고정부; 및 상기 제4 전극의 제2 소전극과 상기 제4 구동부를 연결하는 상기 제2 탄성부의 제2 고정부;를 포함하는 멤스 소자
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제9항에 있어서,상기 제1 탄성부의 제1 고정부는,상기 상기 제3 전극의 제1 소전극으로부터 연장되는 제1 스프링;상기 제2 구동부로부터 연장되는 제2 스프링; 및상기 제1 및 제2 스프링의 끝단을 서로 연결하는 상기 제1 고정부의 제1 연결부를 포함하고,상기 제1 탄성부의 제2 고정부는, 상기 상기 제3 전극의 제2 소전극으로부터 연장되는 제3 스프링;상기 제3 구동부로부터 연장되는 제4 스프링; 및상기 제3 및 제4 스프링의 끝단을 서로 연결하는 상기 제1 고정부의 제2 연결부를 포함하고,상기 제1 고정부의 제1 연결부 및 제2 연결부는 상기 절연부를 통하여 물리적으로 연결되어 있는 멤스 소자
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제10항에 있어서,상기 제1 전극과 상기 제1 구동부 사이, 상기 제2 전극과 상기 제2 구동부 사이에 빗살 전극이 각각 형성되는 멤스 소자
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제11항에 있어서,상기 외부 구동부 및 상기 내부 구동부 사이를 고정하는 제1 및 제2 탄성부를 포함하는 멤스 소자
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제12항에 있어서,상기 내부 구동부는 상기 제1 내지 제4 구동부 내에 배치되는 멤스 소자
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제13항에 있어서,상기 제1 및 제2 탄성부 각각은, 상기 외부 구동부와 상기 내부 구동부의 y축 변에 형성되는 멤스 소자
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제14항에 있어서,상기 제3 구동부의 상기 제1 방향 변과 상기 제3 구동부의 상기 제1 방향 변과 마주하는 상기 내부 구동부의 상기 제1 방향 변에는 빗살 전극이 형성되고,상기 제4 구동부의 상기 제1 방향 변과 상기 상기 제4 구동부의 상기 제1 방향 변과 마주하는 상기 내부 구동부의 상기 제1 방향 변에는 빗살 전극이 형성되는 멤스 소자
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사각 형상을 가지는 고정기판,상기 고정기판에 대하여 제1 방향으로 상대 이동되는 외부 구동부;상기 외부 구동부에 대하여 상기 제1 방향과 다른 제2 방향으로 상대 이동되는 내부 구동부; 상기 내부 구동부 내에 배치되는 광학 소자;상기 고정기판과 상기 외부 구동부를 물리적 전기적으로 연결하고, 상기 외부 구동부 및 상기 내부 구동부를 물리적 전기적으로 연결하는 탄성부를 포함하고,상기 탄성부는 서로 절연되어 있는 복수의 스프링을 통하여 서로 다른 전압을 상기 상기 외부 구동부에 전달하고,상기 고정기판은 각 변을 따라 연장되며 전기적으로 서로 분리된 4개의 전극을 포함하고,상기 4개의 전극은, 상기 제2 방향으로 연장되는 제1 전극; 상기 제1 전극과 평행하게 연장되는 제2 전극; 상기 제1 방향으로 연장되는 제3 전극; 및 상기 제3 전극과 평행하게 연장되는 제4 전극;을 포함하고,상기 외부 구동부는, 상기 제1 내지 제4 전극 내부에 배치되며, 상기 제1 내지 제4 전극과 대향하는 제1 내지 제4 구동부를 포함하고,상기 제3 및 제4 전극 각각은, 전기적으로 절연되는 두 개의 소전극을 포함하고,상기 제3 전극은 상기 제2 구동부와 연결되는 제3 전극의 제1 소전극; 및 상기 제3 구동부와 연결되는 제3 전극의 제2 소전극을 포함하고,상기 제4 전극은 상기 제2 구동부와 연결되는 제4 전극의 제1 소전극; 및 상기 제4 구동부와 연결되는 제4 전극의 제2 소전극을 포함하고,상기 제1 구동부 및 상기 제2 구동부는 상기 제2 방향의 가상의 직선을 기준으로 비대칭인 형상을 가지고,상기 제1 구동부의 상기 제1 방향 단변의 길이는, 상기 제2 구동부의 상기 제1 방향 단변의 길이보다 짧고,상기 제1 및 제2 구동부의 상기 제2 방향 단변의 길이는 동일하고,상기 제3 구동부 및 상기 제4 구동부는 상기 제1 방향의 가상의 직선을 기준으로 대칭인 형상을 가지는 흔들림 보정 장치
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제16항에 있어서, 상기 광학 소자는 이미지 센서를 포함하는 흔들림 보정 장치
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제17항에 있어서, 상기 광학 소자는상기 이미지 센서에 대향하는 렌즈를 더 포함하는 흔들림 보정 장치
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제16항에 있어서,상기 탄성부는 더블 폴디드 스프링을 포함하는 흔들림 보정 장치
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제19항에 있어서,상기 고정기판은지지기판;지지기판 상에 절연층; 및상기 절연층 상에 각 변을 따라 연장되는 상기 4개의 전극을 포함하는 흔들림 보정 장치
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제20항에 있어서,상기 탄성부는 상기 절연되어 있는 복수의 스프링을 물리적으로 연결하는 절연부를 더 포함하며, 상기 절연부는 상기 절연층으로부터 패터닝되는 섬형 절연재인 흔들림 보정 장치
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제21항에 있어서,상기 외부 구동부 및 상기 내부 구동부 사이를 고정하는 제1 및 제2 탄성부를 포함하는 흔들림 보정 장치
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제16항에 있어서,상기 제1 방향과 상기 제2 방향은 서로 수직인 흔들림 보정 장치
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제16항에 있어서,상기 제1 전극과 상기 제1 구동부 사이, 상기 제2 전극과 상기 제2 구동부 사이에 빗살 전극이 각각 형성되는 흔들림 보정 장치
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제16항에 있어서,상기 전극, 상기 외부 구동부 및 상기 내부 구동부는 실리콘으로 형성되어 있는 흔들림 보정 장치
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