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시료에 1차 펄스 레이저를 조사하여 1차 플라즈마를 발생시키는 단계;
상기 1차 플라즈마가 소멸되기 전에 상기 1차 플라즈마에 2차 펄스 레이저를 조사하여 2차 플라즈마를 발생시키는 단계; 및
상기 2차 플라즈마로부터 발생된 빛을 감지하는 단계를 포함하는 중금속 분석방법
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2
제1항에 있어서,
상기 감지된 빛을 분석하는 단계를 더 포함하되,
상기 감지된 빛을 분석하는 단계는
파장에 따른 빛의 세기 그래프를 도출하는 단계; 및
상기 그래프에서 바탕 연속선을 제거하여 타겟 원소들의 피크만을 확보하는 단계를 포함하는 중금속 분석방법
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3
제1항에 있어서,
상기 감지된 빛을 분석하는 단계를 더 포함하되,
상기 감지된 빛을 분석하는 단계는
파장에 따른 빛의 세기 그래프에서 비소에 대한 빛의 세기와 철에 대한 빛의 세기의 비를 구하는 단계; 및
비소 농도에 대한 비소/철 빛의 세기 비 그래프인 표준 정량화 곡선에 상기 비소/철 빛의 세기의 비를 대입하여 비소의 농도를 얻는 단계를 포함하는 중금속 분석방법
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제3항에 있어서,
상기 표준 정량화 곡선은
비소의 농도를 알고 있는 다수 개의 시료들로부터 제1항의 방법을 사용하여 빛을 감지하고, 상기 감지된 빛으로부터 파장별 빛의 세기 데이터들을 얻고, 상기 데이터들로부터 비소 농도에 대한 비소/철 빛 세기 비 그래프를 확보하는 것을 포함하여 얻어진 곡선인 중금속 분석방법
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5
제1항에 있어서,
상기 시료에 펄스 레이저를 조사할 때, 상기 시료는 일 방향으로 회전하는 것을 특징으로 하는 중금속 분석방법
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제1항에 있어서,
상기 중금속 분석방법은 상기 시료가 고정되는 시료 테이블;
상기 시료 테이블과 이격되어 배치되고, 상기 1차 펄스 레이저 및 상기 2차 펄스 레이저를 발생시키는 레이저 발생부;
상기 시료 테이블과 이격되어 배치되고, 상기 빛을 감지하는 검출부; 및
상기 검출부와 전기적으로 연결되고, 상기 감지된 빛을 분석하는 분석부를 포함하는 중금속 분석장치를 사용하여 수행하는 중금속 분석방법
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