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마그네슘 산화아연을 포함하는 다층 투명 전극 및 이의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015174906
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 마그네슘 산화아연층을 금속층 상하부에 형성한 다층 투명 전극 및 이의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 다층 투명전극은 마그네숨아연 산화물로 형성되어 낮은 제조원가를 가지면서도 플렉시블 특성이 우수하다. 또한, 본 발명의 투명전극은 마그네슘아연 산화물층을 포함하여 면저항 등 전기적 특성을 유지하면서도 Near-UV에서 투과도를 향상시킬 수 있다. 본 발명에서는 마그네슘아연 산화물층 상에 이온빔 처리를 하여 금속층의 접착성을 높일 수 있고, 또한, 금속층의 두께를 제어하여 면저항을 감소시킬 수 있다.
Int. CL H01B 13/00 (2006.01) H01B 5/14 (2006.01)
CPC H01B 5/14(2013.01) H01B 5/14(2013.01) H01B 5/14(2013.01)
출원번호/일자 1020120079319 (2012.07.20)
출원인 광주과학기술원
등록번호/일자 10-1607144-0000 (2016.03.23)
공개번호/일자 10-2014-0011854 (2014.01.29) 문서열기
공고번호/일자 (20160329) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.03.21)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 광주과학기술원 대한민국 광주광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박성주 대한민국 광주광역시 북구
2 이효주 대한민국 광주광역시 북구
3 강장원 대한민국 광주광역시 북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인이상 대한민국 서울특별시 서초구 바우뫼로 ***(양재동, 우도빌딩 *층)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 광주과학기술원 대한민국 광주광역시 북구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.07.20 수리 (Accepted) 1-1-2012-0581551-68
2 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2014.03.21 수리 (Accepted) 1-1-2014-0274466-31
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2014.11.06 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2014.12.12 수리 (Accepted) 9-1-2014-0100087-14
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2015.06.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0412065-11
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2015.08.24 수리 (Accepted) 1-1-2015-0815463-29
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2015.09.22 수리 (Accepted) 1-1-2015-0924120-19
8 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2015.10.21 수리 (Accepted) 1-1-2015-1019495-54
9 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2015.10.21 수리 (Accepted) 1-1-2015-1019939-24
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.11.23 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-1138737-11
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.11.23 수리 (Accepted) 1-1-2015-1138728-11
12 등록결정서
Decision to grant
2016.03.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0213102-91
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판 위에 형성된 마그네슘아연산화물을 포함하는 하부산화물층;상기 하부산화물층 위에 형성된 금속층; 및상기 금속층 위에 형성된 마그네슘아연산화물을 포함하는 상부산화물층을 포함하고,상기 마그네슘아연산화물은 마그네슘과 아연의 조성이 균일한 합금이며, 하기 화학식 1로 표현되는 것을 특징으로 하는 다층투명 전극
2 2
삭제
3 3
제1항에 있어서, 상기 상부산화물층 또는 하부 산화물층은 그 두께가 10~100nm인 것을 특징으로 하는 다층투명 전극
4 4
제1항에 있어서, 상기 금속층은 금(Au), 은(Ag), 구리(Cu), 알루미늄(Al), 백금(Pt), 금 합금(Au alloy), 은 합금(Ag alloy), 구리 합금(Cu alloy), 알루미늄 합금(Al alloy)의 군에서 선택된 하나 이상인 것을 특징으로 하는 다층투명 전극
5 5
제1항에 있어서, 상기 금속층의 두께가 6~20nm인 것을 특징으로 하는 다층투명 전극
6 6
기판 위에 마그네슘아연산화물을 포함하는 하부산화물층을 형성하는 단계;상기 하부산화물층 상부에 금속층을 형성하는 단계; 및상기 금속층 상부에 마그네슘아연산화물을 포함하는 상부산화물층을 형성하는 단계를 포함하고,상기 마그네슘아연산화물은 마그네슘과 아연의 조성이 균일한 합금이며, 하기 화학식 2로 표현되는 것을 특징으로 하는 다층투명 전극의 제조방법
7 7
제6항에 있어서, 상기 방법은 상부 산화물층, 하부산화물층, 또는 금속층을 스퍼터링 공정으로 형성하는 것을 특징으로 하는 다층투명 전극의 제조방법
8 8
제6항에 있어서, 상기 상부 산화물층 또는 하부산화물층을 형성하는 단계는 마그네슘아연산화물 타겟과 아연산화물 타겟을 사용하여 마그네슘의 함량을 제어하는 것을 특징으로 하는 다층투명 전극의 제조방법
9 9
제6항에 있어서, 상기 방법은 상기 상부 산화물층에 이온빔 처리를 수행한 후 금속층을 증착하는 것을 특징으로 하는 다층투명 전극의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 광주과학기술원 광역경제연계협력 사업 터치융복합산업클러스터육성사업- 터치양산/국산화 기발 기술 지원 사업