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광을 조사하는 광원;상기 광원에 의하여 조사되는 광을 회절시키는 회절 유닛;마름모꼴로 힌지 결합되어 조정간에 의해 대각선의 길이가 변하는 제1 내지 제4 연결부재와, 상기 제1 및 제2 연결 부재에 각각 부착되어 상기 회절광을 반사시키기 위한 제1 및 제2 반사 미러를 포함하며, 상기 조정간으로 상기 대각선의 길이를 조절하여 상기 회절 광의 반사각을 조절하는 반사 유닛; 및 상기 반사 유닛에 의하여 반사되는 광을 대상체측에 재반사시키도록, 고정되는 제1 고정 미러 및 제2 고정 미러를 포함하는 브래그 격자 형성 장치
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제 1 항에 있어서,상기 회절 유닛은 상기 광원으로부터 조사되는 광을 0차, ± 1차로 회절시켜 상기 반사 유닛으로 입사시키는 브래그 격자 형성 장치
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제 2 항에 있어서,상기 제1 반사 미러는 +1차로 회절되는 광을 반사하여 광의 경로를 변경하고, 상기 제2 반사 미러는 -1차로 회절되는 광을 반사하여 광의 경로를 변경하는 브래그 격자 형성 장치
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제 1 항에 있어서,상기 회절 유닛은 위상 마스크인 브래그 격자 형성 장치
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제 1 항에 있어서,상기 조정간은 마이크로미터인 브래그 격자 형성 장치
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브래그 격자 형성 장치에 이용되는 반사 유닛에 있어서,힌지 수단들에 의해 마름모꼴로 힌지 결합되는 제1 내지 제4 연결부재; 및상기 제1 및 제2 연결 부재를 힌지 결합시키는 제1 힌지 수단이 일단부에 고정되고, 상기 제3 및 제4 연결 부재를 힌지 결합시키는 제2 힌지 수단을 일방향으로 이동시키는 앵글 조정 유닛을 포함하여 구성되며,상기 제1 및 제2 연결 부재에는 2개의 경로로 진행하는 각각의 광을 반사시키는 제1 및 제2 반사 미러가 부착가능 하도록 구성된, 브래그 격자 형성 장치에 이용되는 반사 유닛
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제 6 항에 있어서, 상기 앵글 조절 유닛은 상기 제1 반사 미러와 제2 반사 미러의 힌지 결합각을 조절하는, 브래그 격자 형성 장치에 이용되는 반사 유닛
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8
브래그 격자 형성 장치에 이용되는 반사 유닛에 있어서,마름모꼴로 힌지 결합되어 조정간에 의해 대각선의 길이가 변하는 제1 내지 제4 연결부재와, 상기 조정간으로 상기 대각선의 길이를 조절하여 입사되는 광의 반사각을 조절하는 반사 유닛를 포함하여 구성되며,상기 제1 및 제2 연결 부재에는 2개의 경로로 진행하는 각각의 광을 반사시키는 제1 및 제2 반사 미러가 부착가능 하도록 구성된, 브래그 격자 형성 장치에 이용되는 반사 유닛
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제 6 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 반사 유닛에는 광원으로부터 조사되는 광이 0차, ± 1차로 회절시켜 입사되는 브래그 격자 형성 장치에 이용되는 반사 유닛
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