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(a) 지르코늄 전구체 100 중량부에 대하여 상기 지르코늄 전구체의 활성도를 낮추는 안정화제 15 내지 25 중량부, 알콜 70 내지 90 중량부 및 티타늄 전구체 60 내지 100 중량부을 혼합하여 혼합용액을 제조하는 단계;
(b) 상기 혼합용액에 지르코늄 전구체 100 중량부에 대하여 산 20 내지 30 중량부 및 10 내지 20 중량%의 유기고분자 알콜용액 250 내지 400 중량부를 첨가하여 지르코늄-티타늄 전구체 용액을 제조하는 단계; 및
(c) 상기 지르코늄-티타늄 전구체 용액을 기판위에 코팅한 후 건조 및 열처리하여 비정질상의 밴드갭 에너지가 조절된 나노기공 TiO2-ZrO2 하이브리드 박막을 제조하는 단계;
를 포함하여 수행되는 밴드갭 에너지가 조절된 나노기공 TiO2-ZrO2 하이브리드 박막의 제조방법
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제 1항에 있어서,
상기 밴드갭 에너지가 조절된 나노기공 TiO2-ZrO2 하이브리드 박막의 밴드갭 에너지는 결정질 TiO2 밴드갭 에너지 이상 내지 결정질 ZrO2 밴드갭 에너지 이하인 것을 특징으로 하는 밴드갭 에너지가 조절된 나노기공 TiO2-ZrO2 하이브리드 박막의 제조방법
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제 3항에 있어서,
상기 밴드갭 에너지는 상기 지르코늄 전구체와 상기 티타늄 전구체의 혼합비에 의해 조절되는 것을 특징으로 하는 밴드갭 에너지가 조절된 나노기공 TiO2-ZrO2 하이브리드 박막의 제조방법
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제 1항에 있어서, 상기 (a) 단계는
상기 지르코늄 전구체, 상기 안정화제 및 상기 알콜을 혼합하여 교반한 후, 티타늄 전구체를 첨가하여 수행되는 것을 특징으로 하는 밴드갭 에너지가 조절된 나노기공 TiO2-ZrO2 하이브리드 박막의 제조방법
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제 1항에 있어서, 상기 (b) 단계는
상기 혼합용액에 산을 첨가하여 교반한 후, 상기 유기고분자 알콜용액을 첨가하여 수행되는 것을 특징으로 하는 밴드갭 에너지가 조절된 나노기공 TiO2-ZrO2 하이브리드 박막의 제조방법
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제 1항에 있어서,
상기 지르코늄 전구체는 지르코늄 알콕사이드이며, 상기 티타늄 전구체는 티타늄 알콕사이드인 것을 특징으로 하는 밴드갭 에너지가 조절된 나노기공 TiO2-ZrO2 하이브리드 박막의 제조방법
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제 7항에 있어서,
상기 안정화제는 아세틸아세톤인 것을 특징으로 하는 밴드갭 에너지가 조절된 나노기공 TiO2-ZrO2 하이브리드 박막의 제조방법
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제 1항에 있어서,
상기 유기고분자 알콜용액은 에틸렌 옥사이드 기재 블록 공중합체가 알콜에 용해된 용액인 것을 특징으로 하는 밴드갭 에너지가 조절된 나노기공 TiO2-ZrO2 하이브리드 박막의 제조방법
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제 9항에 있어서,
상기 에틸렌 옥사이드 기재 블록 공중합체는 폴리에틸렌 옥사이드-폴리프로필렌 옥사이드-폴리에틸렌 옥사이드 블록 공중합체인 것을 특징으로 하는 밴드갭 에너지가 조절된 나노기공 TiO2-ZrO2 하이브리드 박막의 제조방법
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제 1항에 있어서, (c) 단계의
상기 열처리는 400 내지 500℃에서 수행되는 것을 특징으로 하는 밴드갭 에너지가 조절된 나노기공 TiO2-ZrO2 하이브리드 박막의 제조방법
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