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유체가 유입되는 유입공, 유체가 배출되는 토출공 및 유체가 담겨지는 공간부를 포함하는 하부구조체;
상기 하부구조체의 공간부와 접하여 형성되는 곡면형 작동기; 및
상기 곡면형 작동기를 수용하는 공간부를 포함하고 하부구조체와 결합되는 상부구조체;를 포함하는데,
상기 하부구조체 및 상부구조체는 PVC, PE, PP, PMMA, PS, PET, PTFE, PU, 또는 nylon 중 어느 하나 이상을 포함하는 생체적합성이 우수한 고분자로 제조되거나 표면이 코팅되는 것을 특징으로 하는 마이크로펌프
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제 1 항에 있어서,
상기 곡면형 작동기는 곡면부재와 상기 곡면부재를 지지하는 지지부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로펌프
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제 2 항에 있어서,
상기 곡면부재는 압전재 또는 기전고분자 막으로 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로펌프
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제 2 항에 있어서
상기 곡면형 작동기는 불안정한 좌굴상태에서 발생하는 동적 스냅-스루현상을 통해 큰 구동 변위를 갖는 것을 특징으로 하는 마이크로펌프
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5
제 4 항에 있어서,
상기 곡면형 작동기의 불안정한 좌굴상태는 곡면부재와 지지부재의 연결부분을 상기 곡면부재 또는 상기 지지부재와 연성이 상이하도록 처리 하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 마이크로펌프
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6
제 4 항에 있어서,
상기 곡면형 작동기의 불안정한 좌굴상태는 상기 곡면형 작동기가 캔틸레버형태로 상부지지체 또는 하부지지체에 고정되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 마이크로펌프
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7
제 4 항에 있어서,
상기 곡면형 작동기는 상기 발생된 스냅-스루현상의 두 번째 모드와 세번째 모드를 통해 유체의 흐름을 제어하여 역류현상을 억제하고 펌핑력을 극대화시키는 것을 특징으로 하는 마이크로펌프
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8
제 4 항에 있어서,
상기 곡면형 작동기는 상기 곡면부재에 발생된 스냅-스루현상에 의한 대변형시 발생하는 균열을 억제하는 형태로 전극이 패터닝되는 것을 특징으로 하는 마이크로펌프
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삭제
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10
제 1 항에 있어서,
상기 상부구조체에 유체가 유입되는 유입공 및 유체가 배출되는 토출공이 더 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로펌프
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11
제 1 항에 있어서,
상기 유입공 및 상기 토출공은 유입되는 유체가 일 방향으로 흐를 수 있도록 크기 및 각도가 조절되어 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로펌프
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