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X선을 발생시키는 소오스;
상기 소오스와 이격 배치되며 상기 소오스로부터 발생되는 X선을 반사시키는 반사 거울; 및
상기 반사 거울과 이격 배치되며 상기 반사 거울로부터 반사된 X선을 단 파장의 X선으로 추출하는 분광기(Monochromator)를 포함하되;
상기 반사 거울은 상기 소오스로부터 발생되는 X선의 반사율이 65∼75% 이상 되는 각도로 배치되고;
상기 분광기는 상기 반사 거울로부터 반사되는 다 파장의 X선 중, 특정 단일 파장의 X선의 반사율이 70% 이상 되는 각도로 배치되는 것을 특징으로 하는 X선 영상 장치
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측정 대상물에 X선을 조사하는 X선 발생부; 및
상기 X선 발생부와 대향하는 부분에 배치되어, 상기 측정 대상물에 조사된 X선을 검출하는 검출부를 포함하며;
상기 X선 발생부는 소오스, 반사 거울, 분광기 및 상기 소오스, 반사 거울 및 분광기를 수납하는 하우징을 포함하되;
상기 반사 거울은 상기 소오스로부터 발생되는 X선의 반사율이 65∼75% 이상 되는 각도로 배치되고;
상기 분광기는 상기 반사 거울로부터 반사되는 다 파장의 X선 중, 특정 단일 파장의 X선의 반사율이 70% 이상 되는 각도로 배치되는 것을 특징으로 하는 X선 영상 장치
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3
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 소오스, 반사 거울 및 분광기는 순차적으로 배치된 것을 특징으로 하는 X선 영상 장치
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4
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 반사 거울은 박막의 금속이 적층된 구조로 이루어진 것을 특징으로 하는 X선 영상 장치
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5
제 4 항에 있어서,
상기 반사 거울은 텅스텐 및 알류미늄의 적층 구조로 이루어진 것을 특징으로 하는 X선 영상 장치
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6
삭제
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7
삭제
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8
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 소오스와 상기 반사 거울 사이에 배치된 집광용 거울을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 X선 영상 장치
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9
제 8 항에 있어서,
상기 집광용 거울은 울터(Wolter) 타입인 것을 특징으로 하는 X선 영상 장치
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10
제 1 항에 있어서,
상기 분광기와 대향하는 부분에 이격 배치되며, 상기 분광기로부터 추출된 X선을 검출하는 검출부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 X선 영상 장치
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11
제 10 항에 있어서,
상기 검출부와 상기 분광기 사이에 배치되는 필터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 X선 영상 장치
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12
제 11 항에 있어서,
상기 필터는 금속으로 이루어진 메쉬(Mesh) 또는 다공성 박막의 형태인 것을 특징으로 하는 X선 영상 장치
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13
제 12 항에 있어서,
상기 금속으로 이루어진 메쉬 타입의 필터는 납 또는 알루미늄으로 이루어진 것을 특징으로 하는 X선 영상 장치
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14
제 2 항에 있어서,
상기 검출부와 상기 X선 발생부 사이에 배치되어 상기 측정 대상물로부터 조사된 X선을 필터링하는 필터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 X선 영상 장치
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15
제 14 항에 있어서,
상기 필터는 금속으로 이루어진 메쉬(Mesh) 또는 다공성 박막의 형태인 것을 특징으로 하는 X선 영상 장치
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16
제 15 항에 있어서,
상기 금속으로 이루어진 메쉬 타입의 필터는 납 또는 알루미늄으로 이루어진 것을 특징으로 하는 X선 영상 장치
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