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기판 상부에 구비된 광도파로;
상기 광도파로의 코어부를 적어도 한 쌍의 경사면을 가지고 절취하는 복수개의 절취부;
상기 복수개의 절취부 중 어느 하나의 제1 절취부의 한 쌍의 경사면 중 적어도 하나의 경사면의 일부에 코팅되어 상기 광도파로를 통해 입사된 광의 일부를 반사 및 투과시키는 박막;
상기 복수개의 절취부 내부에 충진되는 광학 매질;
상기 제1 절취부와 대응되는 위치의 광도파로 상에 구비되며, 상기 박막으로부터 반사된 광의 일부를 검출하는 광검출부; 및
상기 제1 절취부를 제외한 나머지 절취부와 대응되는 위치의 광도파로 상에 구비되며, 상기 광도파로와 상기 광학 매질 사이의 굴절율 차이를 증가시키기 위한 적어도 하나의 박막 히터부를 포함하는 광 모듈
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제3 항에 있어서,
상기 광도파로는 상기 기판의 일측 방향으로 복수개가 일정간격 이격되어 병렬 배치되는 다채널 광도파로로 이루어지며,
상기 광검출부와 상기 박막 히터부의 결합 구조는 상기 다채널 광도파로 상에 병렬로 구성되는 것을 특징으로 하는 광 모듈
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제3 항에 있어서,
상기 절취부는 상기 기판면에 수직 방향으로 피라미드 형태의 홈으로 이루어진 것을 특징으로 하는 광 모듈
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제3 항에 있어서,
상기 광학 매질은 음의 열광학 계수를 갖는 폴리머층으로 이루어진 것을 특징으로 하는 광 모듈
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제1 기판 상부에 구비된 제1 광도파로; 상기 제1 광도파로의 코어부를 적어도 한 쌍의 경사면을 가지고 절취하는 제1 절취부; 상기 제1 절취부의 한 쌍의 경사면 중 적어도 하나의 경사면의 일부에 코팅되어 상기 제1 광도파로를 통해 입사된 광의 일부를 반사 및 투과시키는 박막; 상기 제1 절취부 내부에 충진되는 제1 광학 매질; 및 상기 제1 절취부와 대응되는 위치의 제1 광도파로 상에 구비되며, 상기 박막으로부터 반사된 광의 일부를 검출하는 광검출부를 포함하는 제1 단위 광 모듈과,
제2 기판 상부에 구비된 제2 광도파로; 상기 제2 광도파로의 코어부를 적어도 한 쌍의 경사면을 가지고 절취하는 제2 절취부; 상기 제2 절취부 내부에 충진되는 제2 광학 매질; 및 상기 제2 절취부와 대응되는 위치의 제2 광도파로 상에 구비되며, 상기 제2 광도파로와 상기 제2 광학 매질 사이의 굴절율 차이를 증가시키기 위한 박막 히터부를 포함하는 제2 단위 광 모듈을 가지며,
상기 제1 및 제2 단위 광 모듈은 상기 제1 및 제2 광도파로를 통해 서로 연결되도록 구비되는 광 모듈
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기판의 상면에 광도파로를 형성하는 단계;
상기 광도파로의 코어부를 적어도 한 쌍의 경사면을 가지고 절취하는 복수개의 절취부를 형성하는 단계;
상기 복수개의 절취부 중 어느 하나의 제1 절취부의 한 쌍의 경사면 중 적어도 하나의 경사면의 일부에 상기 광도파로를 통해 입사된 광의 일부를 반사 및 투과시키는 박막을 코팅하는 단계;
상기 복수개의 절취부 내부에 광학 매질을 충진하는 단계;
상기 제1 절취부와 대응되는 위치의 광도파로 상에 상기 박막으로부터 반사된 광의 일부를 검출하는 광검출부를 본딩하는 단계; 및
상기 제1 절취부를 제외한 나머지 절취부와 대응되는 위치의 광도파로 상에 상기 광도파로와 상기 광학 매질 사이의 굴절율 차이를 증가시키기 위한 적어도 하나의 박막 히터부를 형성하는 단계를 포함하는 광 모듈의 제조방법
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제10 항에 있어서,
상기 광도파로는 상기 기판의 일측 방향으로 복수개가 일정간격 이격되어 병렬 배치되는 다채널 광도파로로 형성하며,
상기 광검출부와 상기 박막 히터부는 상기 다채널 광도파로 상에 병렬로 결합 구성하는 것을 특징으로 하는 광 모듈의 제조방법
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제10 항에 있어서,
상기 절취부를 형성하는 단계는, 상기 기판의 하면에 절취부 패턴을 이용하여 건식 및 습식 식각 방법을 통하여 형성하는 것을 특징으로 하는 광 모듈의 제조방법
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제10 항에 있어서,
상기 절취부를 형성하는 단계에서, 상기 절취부의 경사는 상대적 산소 분압, CHF3, CF4, C4F8, Ar의 상대적 편향력 또는 RF력; 및 압력 중 적어도 하나의 조건을 조절함으로써, 45도로 하여 형성하는 것을 특징으로 하는 광 모듈의 제조방법
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제1 기판의 상면에 제1 광도파로를 형성하는 단계; 상기 제1 기판의 하면으로부터 형성되며, 상기 제1 광도파로의 코어부를 적어도 한 쌍의 경사면을 가지고 절취하는 제1 절취부를 형성하는 단계; 상기 제1 절취부의 한 쌍의 경사면 중 적어도 하나의 경사면의 일부에 선택적으로 상기 광도파로를 통해 입사된 광의 일부를 반사 및 투과시키는 박막을 코팅하는 단계; 상기 제1 절취부 내부에 제1 광학 매질을 충진하는 단계; 및 상기 제1 절취부와 대응되는 위치의 제1 광도파로 상에 상기 박막으로부터 반사된 광의 일부를 검출하는 광검출부를 본딩하는 단계로 포함하는 제1 단위 광 모듈을 제작하여 준비하는 과정과,
제2 기판의 상면에 제2 광도파로를 형성하는 단계; 상기 제2 기판의 하면으로부터 형성되며, 상기 제2 광도파로의 코어부를 적어도 한 쌍의 경사면을 가지고 절취하는 제2 절취부를 형성하는 단계; 상기 제2 절취부 내부에 제2 광학 매질을 충진하는 단계; 및 상기 제2 절취부와 대응되는 위치의 제2 광도파로 상에 상기 제2 광도파로와 상기 제2 광학 매질 사이의 굴절율 차이를 증가시키기 위한 박막 히터부를 형성하는 단계를 포함하는 제2 단위 광 모듈을 제작하여 준비하는 과정으로 이루어지며,
상기 제1 및 제2 광도파로를 통해 상기 제1 및 제2 단위 광 모듈을 서로 연결하는 것을 특징으로 하는 광 모듈의 제조방법
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제14 항에 있어서,
상기 제1 및 제2 절취부를 형성하는 단계는, 상기 제1 및 제2 기판의 하면에 절취부 패턴을 이용하여 건식 및 습식 식각 방법을 통하여 형성하는 것을 특징으로 하는 광 모듈의 제조방법
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제14 항에 있어서,
상기 제1 및 제2 절취부를 형성하는 단계에서, 상기 제1 및 제2 절취부의 경사는 상대적 산소 분압, CHF3, CF4, C4F8, Ar의 상대적 편향력 또는 RF력; 및 압력 중 적어도 하나의 조건을 조절함으로써, 45도로 하여 형성하는 것을 특징으로 하는 광 모듈의 제조방법
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