맞춤기술찾기

홈으로 가기
맞춤기술찾기
이전대상기술
프린트하기

이전대상기술

산화티타늄 박막 및 이의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015176822
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
상담신청 PDF 받기
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 따르면, 증착대상물을 진공챔버에 장착하는 장착단계와; 광촉매 막을 형성하는 물질을 포함하는 유기티탄 화합물과 이송 가스인 아르곤가스 및 산화제 가스인 산소와 질소가스를 혼합한 기체상태의 화합물로 기상반응을 일으킬 수 있도록 상기 진공챔버에 공급하는 공급단계와; 상기 기체상태의 화합물의 플라즈마 반응에 의해 상기 증착대상물의 표면에 광촉매 코팅막을 형성하는 박막형성단계;를 포함하는 산화티타늄 박막의 제조방법과 이 방법에 의해 형성된 산화티타늄 박막을 제공한다. 산화티타늄, 박막, 증착대상물, 산화제가스, 질소, 산소
Int. CL C23C 16/453 (2006.01) C23C 16/40 (2006.01)
CPC C23C 16/4482(2013.01) C23C 16/4482(2013.01) C23C 16/4482(2013.01) C23C 16/4482(2013.01)
출원번호/일자 1020070007750 (2007.01.25)
출원인 전남대학교산학협력단
등록번호/일자 10-0862091-0000 (2008.09.30)
공개번호/일자 10-2008-0070126 (2008.07.30) 문서열기
공고번호/일자 (20081009) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.01.25)
심사청구항수 1

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 전남대학교산학협력단 대한민국 광주광역시 북구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 조동련 대한민국 광주 북구
2 김종호 대한민국 광주 북구
3 차근섭 대한민국 전남 완도군

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 이재량 대한민국 광주광역시 광산구 하남산단*번로 ***, *층(도천동, 광주경제고용진흥원)(가온특허법률사무소)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 전남대학교산학협력단 대한민국 광주광역시 북구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2007.01.25 수리 (Accepted) 1-1-2007-0075300-73
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2007.10.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2007.11.09 수리 (Accepted) 9-1-2007-0067623-25
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2008.01.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0017962-10
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2008.03.17 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2008-0193422-14
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2008.03.17 수리 (Accepted) 1-1-2008-0193416-39
7 등록결정서
Decision to grant		 2008.07.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0362906-66
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.07.23 수리 (Accepted) 4-1-2012-5157698-67
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.02 수리 (Accepted) 4-1-2014-0000058-61
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.06.08 수리 (Accepted) 4-1-2015-5076218-57
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2016.07.07 수리 (Accepted) 4-1-2016-5093177-51
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.03.30 수리 (Accepted) 4-1-2018-5056463-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
삭제
2 2
증착대상물을 진공챔버에 장착하는 장착단계와; 버블러 증발기에 의해 5 내지 400℃ 온도로 증발되며 TTIP로 이루어진 유기티탄 화합물과 이송 가스인로서 100sccm 의 속도로 공급되는 아르곤가스 및 산화제 가스로서 20sccm의 속도로 공급되는 산소와 질소가스를 1:3의 혼합비로 혼합한 기체상태의 화합물로 기상반응을 일으킬 수 있도록 상기 진공챔버에 공급하는 공급단계와; 상기 진공챔버의 온도의 반응온도를 400℃로 유지하는 반응온도 유지단계와, 상기 기체상태의 화합물의 5W의 RF 방전에 의한 플라즈마 반응에 의해 상기 증착대상물의 표면에 광촉매 코팅막을 형성하는 박막형성단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 산화티타늄 박막의 제조방법
3 3
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.