맞춤기술찾기

이전대상기술

산화티타늄 박막 및 이의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015177340
  • 담당센터 :
  • 전화번호 :
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 따르면, 산화티타늄 박막은 증착대상물의 일측 상면에 APCVD(Atmosphere Pressure CVD), LPCVD(Low Pressure CVD), PECVD(Plasma Enhanced CVD)법 중 선택된 하나 이상의 공정에 의해 광촉매 물질이 코팅되는 것으로, 상기 CVD법을 적용하면 불순물이 제거된 양질의 박막을 얻을 수 있으며, 넓은 면적에 박막을 균일하게 증착시킬 수 있고, 저온에서도 박막을 증착시킬 수 있는 효과가 있다. 본 발명에 따른 산화티타늄 박막의 제조방법은 증착대상물을 진공챔버에 장착하는 장착단계와, 광촉매 막을 형성하는 물질을 포함하는 유기티탄화합물과 이송 가스 및 산화제 가스를 혼합한 기체상태의 화합물을 기상반응을 일으킬 수 있도록 상기 진공챔버에 공급하는 공급단계와, 상기 기체상태의 화합물의 플라즈마 반응에 의해 상기 증착대상물의 표면에 광촉매 코팅막을 형성하는 박막형성단계를 포함한다. 산화티타늄, 박막, 증착대상물
Int. CL C01G 23/04 (2006.01)
CPC C23C 16/40(2013.01) C23C 16/40(2013.01) C23C 16/40(2013.01)
출원번호/일자 1020040067270 (2004.08.25)
출원인 전남대학교산학협력단
등록번호/일자 10-0665346-0000 (2006.12.28)
공개번호/일자 10-2006-0018753 (2006.03.02) 문서열기
공고번호/일자 (20070104) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항 심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호 1020060111273;
심사청구여부/일자 Y (2004.08.25)
심사청구항수 1

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 전남대학교산학협력단 대한민국 광주광역시 북구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 조동련 대한민국 광주 북구
2 민 호 대한민국 전라남도 담양군
3 김병훈 대한민국 광주광역시 북구
4 김종호 대한민국 광주광역시 북구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 이재량 대한민국 광주광역시 광산구 하남산단*번로 ***, *층(도천동, 광주경제고용진흥원)(가온특허법률사무소)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 농업회사법인(유)부령산업 전라북도 부안군
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2004.08.25 수리 (Accepted) 1-1-2004-0382158-94
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2005.11.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2005.12.02 수리 (Accepted) 9-1-2005-0078836-21
4 출원인변경신고서
Applicant change Notification
2006.03.08 수리 (Accepted) 1-1-2006-0163120-14
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2006.03.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0166831-18
6 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent
2006.07.05 수리 (Accepted) 1-1-2006-0481897-29
7 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2006.09.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0525608-19
8 명세서 등 보정서(심사전치)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2006.11.10 보정승인 (Acceptance of amendment) 7-1-2006-0037775-16
9 특허분할출원서
Divisional Application of Patent
2006.11.10 수리 (Accepted) 1-1-2006-0825399-73
10 등록결정서
Decision to grant
2006.12.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0750248-08
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.07.23 수리 (Accepted) 4-1-2012-5157698-67
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.01.02 수리 (Accepted) 4-1-2014-0000058-61
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.06.08 수리 (Accepted) 4-1-2015-5076218-57
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.07.07 수리 (Accepted) 4-1-2016-5093177-51
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.03.30 수리 (Accepted) 4-1-2018-5056463-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
삭제
2 2
삭제
3 3
삭제
4 4
증착대상물의 일측 상면에 광촉매물질인 산화티타늄 코팅막을 형성하는 산화티타늄 박막의 제조방법에 있어서, 증착대상물을 진공챔버에 장착하는 장착단계와;광촉매 막을 형성하는 원료물질로서 유기티탄 화합물인 티타늄테트라 이소프로폭사이드과 이송 가스 및 산화제 가스를 혼합한 기체상태의 화합물로 기상반응을 일으킬 수 있도록 상기 진공챔버에 공급하는 공급단계와;상기 기체상태의 화합물의 플라즈마 반응에 의해 상기 증착대상물의 표면에 광촉매 코팅막을 형성하는 박막형성단계;를 포함하고,상기 유기티탄 화합물은 버블러 증발기를 통해 400℃ 온도로 상기 진공 챔버에 공급시키는 것을 특징으로 하는 산화티타늄 박막의 제조방법
5 5
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.