기술이전플랫폼 Tech-Bridge-이전대상기술

맞춤기술찾기

홈으로 가기

맞춤기술찾기

이전대상기술

프린트하기

이전대상기술

질화티타늄을 이용하여 실리콘 기판상에ＳｒＴｉ０３/ＢａＴｉ０３ 인공초격자를 제조하는 방법

기술번호 : KST2015177345
담당센터 : 광주기술혁신센터
전화번호 : 062-360-4654

상담신청 PDF 받기

상세정보
공개전문
공고전문
등록사항
통합행정정보
기술정보
과제정보
관련기술
심판사항

서지정보
인명정보
행정처리
청구항
지정국
패밀리정보
국가R&D 연구정보

이전 슬라이드 보기 다음 슬라이드 보기

요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약	SrTiO3/BaTiO3 인공초격자의 제조방법을 제공한다. 상기 제조방법은 펄스레이저증착(PLD)장치의 챔버 내에 실리콘(Si) 기판을 제공하는 단계, 상기 실리콘 기판상에 질화티타늄(TiN) 버퍼층을 증착하는 단계 및 상기 질화티타늄 버퍼층이 증착된 실리콘 기판상에 SrTiO3박막과 BaTiO3박막을 교대로 증착하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 질화티타늄 버퍼층을 이용함으로써 SrTiO3/BaTiO3 인공초격자를 실리콘 기판 상에 에피성장할 수 있는 이점을 제공한다. 또한, 결정성이 우수할 뿐만 아니라 유전상수를 증가시켜 전기적 특성이 우수한 SrTiO3/BaTiO3 인공초격자를 제조할 수 있는 이점을 제공한다.펄스레이저증착(PLD)장치, SrTiO3/BaTiO3 인공초격자, 질화티타늄(TiN) 버퍼층
Int. CL	H01L 21/205 (2006.01) H01L 21/20 (2006.01)
CPC	H01L 21/02197(2013.01) H01L 21/02197(2013.01) H01L 21/02197(2013.01)
출원번호/일자	1020060070782 (2006.07.27)
출원인	전남대학교산학협력단
등록번호/일자	10-0740318-0000 (2007.07.10)
공개번호/일자
공고번호/일자	(20070718) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태	소멸
심사진행상태	수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자	Y (2006.07.27)
심사청구항수	8

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호	이름	국적	주소
1	전남대학교산학협력단	대한민국	광주광역시 북구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호	이름	국적	주소
1	김태언	대한민국	전남 나주시 세지
2	김보람	대한민국	광주 북구
3	문종하	대한민국	광주 광산구
4	이병택	대한민국	광주 북구
5	김진혁	대한민국	대전 유성구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호	이름	국적	주소
1	특허법인아이엠	대한민국	서울특별시 강남구 봉은사로 *, *호 (역삼동, 혜전빌딩)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호	이름	국적	주소
1	전남대학교산학협력단	대한민국	광주 북구

번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	특허출원서 Patent Application	2006.07.27	수리 (Accepted)	1-1-2006-0541949-02
2	선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search	2007.04.09	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
3	선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search	2007.05.10	수리 (Accepted)	9-1-2007-0027073-97
4	등록결정서 Decision to grant	2007.05.28	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2007-0287002-80
5	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2012.07.23	수리 (Accepted)	4-1-2012-5157698-67
6	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2014.01.02	수리 (Accepted)	4-1-2014-0000058-61
7	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2015.06.08	수리 (Accepted)	4-1-2015-5076218-57
8	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2016.07.07	수리 (Accepted)	4-1-2016-5093177-51
9	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2018.03.30	수리 (Accepted)	4-1-2018-5056463-72

번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호	청구항
1	1 펄스레이저증착(PLD)장치의 챔버 내에 실리콘(Si) 기판을 제공하는 단계;상기 실리콘 기판상에 질화티타늄(TiN) 버퍼층을 증착하는 단계; 및상기 질화티타늄 버퍼층이 증착된 실리콘 기판상에 SrTiO3박막과 BaTiO3박막을 교대로 증착하여 인공초격자를 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 SrTiO3/BaTiO3 인공초격자의 제조방법
2	2 제 1 항에 있어서, 상기 질화티타늄 버퍼층 증착단계에서 상기 실리콘 기판의 온도는 650 내지 750℃인 것을 특징으로 하는 SrTiO3/BaTiO3 인공초격자의 제조방법
3	3 제 1 항에 있어서, 상기 질화티타늄 버퍼층 증착단계에서 상기 실리콘 기판의 온도는 700℃인 것을 특징으로 하는 SrTiO3/BaTiO3 인공초격자의 제조방법
4	4 제 1 항에 있어서, 상기 SrTiO3박막과 BaTiO3박막을 교대로 증착하는 단계에서 상기 실리콘 기판의 온도는 300 내지 750℃인 것을 특징으로 하는 SrTiO3/BaTiO3 인공초격자의 제조방법
5	5 제 1 항에 있어서, 상기 SrTiO3박막과 BaTiO3박막을 교대로 증착하는 단계에서 상기 실리콘 기판의 온도는 650℃인 것을 특징으로 하는 SrTiO3/BaTiO3 인공초격자의 제조방법
6	6 제 1 항에 있어서, 상기 SrTiO3박막과 BaTiO3박막을 교대로 증착하는 단계에서 상기 챔버 내의 산소분압은 1m torr인 것을 특징으로 하는 SrTiO3/BaTiO3 인공초격자의 제조방법
7	7 제 1 항에 있어서, 상기 SrTiO3박막과 BaTiO3박막을 교대로 증착하는 단계는 멀티타깃을 이용하여 상기 SrTiO3박막과 BaTiO3박막을 진공을 깨지않고 연속하여 증착하는 것을 특징으로 하는 SrTiO3/BaTiO3 인공초격자의 제조방법
8	8 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항의 제조방법에 의해 제조된 SrTiO3/BaTiO3 인공초격자

본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.

이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 특허 등록번호 표입니다.
특허 등록번호	10-0740318-0000

권리란

표시번호, 사항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 권리란 표입니다.
표시번호	사항
1	출원 연월일 : 20060727 출원 번호 : 1020060070782 공고 연월일 : 20070718 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20070528 청구범위의 항수 : 8 유별 : H01L 21/20 발명의 명칭 : 질화티타늄을 이용하여 실리콘 기판상에ＳｒＴｉ０３/ＢａＴｉ０３ 인공초격자를 제조하는 방법 존속기간(예정)만료일 : 20160711

특허권자란

순위번호, 사항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 특허권자란 표입니다.
순위번호	사항
1	(권리자) 전남대학교산학협력단 광주 북구...

등록료란

순위번호, 사항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 등록료란 표입니다.
제 1 - 3 년분	금 액	256,500 원	2007년 07월 11일	납입
제 4 년분	금 액	216,000 원	2010년 06월 30일	납입
제 5 년분	금 액	216,000 원	2011년 07월 05일	납입
제 6 년분	금 액	216,000 원	2012년 07월 02일	납입
제 7 년분	금 액	404,000 원	2013년 05월 15일	납입
제 8 년분	금 액	404,000 원	2014년 04월 30일	납입
제 9 년분	금 액	416,120 원	2015년 08월 05일	납입

본 '원본보기 서비스'는 참고용이므로, 일부 오류 및 누락이 발생할 수 있습니다.
정확한 서류를 확인하시려면 해당 웹사이트에서 조회하시기 바랍니다. (특허로 바로가기: http://www.patent.go.kr)
해당 서비스는 점검으로 인해 매주 일요일 00:00 ~ 02:00까지 이용이 중단됩니다.

번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송번호의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 통합행정정보 > 등록료란 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	특허출원서	2006.07.27	수리 (Accepted)	1-1-2006-0541949-02
2	선행기술조사의뢰서	2007.04.09	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
3	선행기술조사보고서	2007.05.10	수리 (Accepted)	9-1-2007-0027073-97
4	등록결정서	2007.05.28	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2007-0287002-80
5	출원인정보변경(경정)신고서	2012.07.23	수리 (Accepted)	4-1-2012-5157698-67
6	출원인정보변경(경정)신고서	2014.01.02	수리 (Accepted)	4-1-2014-0000058-61
7	출원인정보변경(경정)신고서	2015.06.08	수리 (Accepted)	4-1-2015-5076218-57
8	출원인정보변경(경정)신고서	2016.07.07	수리 (Accepted)	4-1-2016-5093177-51
9	출원인정보변경(경정)신고서	2018.03.30	수리 (Accepted)	4-1-2018-5056463-72


과제고유번호	1410055187
세부과제번호	RIC027
연구과제명	광소재부품연구센터
성과구분	출원
부처명	지식경제부
연구관리전문기관명	한국산업기술평가원
연구주관기관명	전남대학교
성과제출연도	2006
연구기간	200603~200702
기여율	1
연구개발단계명	개발연구
6T분류명	IT(정보기술)


과제고유번호	1355050606
세부과제번호	R01-2007-000-11818-0
연구과제명	Si기판상의나노막대광결정MQWZnO발광소자의성장,공정연구및특성평가
성과구분	등록
부처명	교육과학기술부
연구관리전문기관명	한국과학재단
연구주관기관명	전남대학교
성과제출연도	2007
연구기간	200705~201002
기여율	0.5
연구개발단계명	응용연구
6T분류명	NT(나노기술)


과제고유번호	1355052812
세부과제번호	2007-00229
연구과제명	에너지저장/전환효율을혁신하기위한새로운나노소재의설계및공정개발과바이오-에탄올생산
성과구분	등록
부처명	교육과학기술부
연구관리전문기관명	과학기술부
연구주관기관명	전남대학교
성과제출연도	2007
연구기간	200612~201109
기여율	0.5
연구개발단계명	응용연구
6T분류명	ET(환경기술)

특허성과

[1020060107913]	나노 구조물 및 그 제조방법	새창보기
[1020060098481]	주기적인 패턴을 갖는 산화아연 나노막대 어레이의제조방법	새창보기
[1020060077197]	액체 온도 측정장치	새창보기
[1020060077196]	고전압용 부스바의 온도 검출장치	새창보기
[1020060070782]	질화티타늄을 이용하여 실리콘 기판상에ＳｒＴｉ０３/ＢａＴｉ０３ 인공초격자를 제조하는 방법	새창보기
[1020060031818]	ＡＷＧ 소자의 중심 파장 트리밍 방법	새창보기
[1020060011912]	유도결합 플라즈마법 및 유기금속 화학기상증착법을 이용한박막 제조방법	새창보기
[1020050128682]	보오크사이트를 이용한 고강도 특성을 지닌 우주비행체추력기용 하이드라진 분해용 이리듐 촉매의 제조방법 및그로부터 수득되는 이리듐 촉매	새창보기
[1020050116106]	전기방사에 의한 선염 폴리부틸렌 테레프탈레이트 나노섬유의 제조방법	새창보기
[1020050116104]	전기방사를 이용한 페놀계 초극세 탄소섬유 및 초극세활성탄소섬유와 그 제조방법	새창보기
[1020050041842]	브래그 격자 형성 장치 및 이에 이용되는 반사 유닛	새창보기
[1020040104604]	길이 측정 센서 및 이를 이용한 길이 측정 장치	새창보기
[1020040099224]	변위 측정 장치	새창보기
[1020040078828]	파장 가변 필터	새창보기
[1020040069004]	압전소자를 이용한 광대역 다파장 레이저 발진튜닝모듈장치 및 방법	새창보기
[1020040067270]	산화티타늄 박막 및 이의 제조방법	새창보기
[1020040061332]	광대역 다파장 레이저 발진 튜닝모듈장치	새창보기
[1020040016762]	브래그 격자 형성 장치	새창보기
[1020030082254]	광섬유를 이용한 변위 측정 센서 및 이를 이용한 변위측정 방법	새창보기
[1020030082253]	광섬유를 이용한 경사센서 및 이를 이용한 경사 측정 방법	새창보기

중요키워드

이전대상기술 뷰 페이지 관련기술 표
[KST2015176453][전남대학교]	산화아연 나노막대 어레이 센서의 제조방법	새창보기
[KST2014027184][전남대학교]	제어된 표면 형상을 갖는 산화아연 박막 제조방법 및 그 방법으로 제조된 산화아연 박막	새창보기
[KST2015177549][전남대학교]	화학 수조 증착법을 이용한 CZTS 기반 박막 제조방법	새창보기
[KST2015176584][전남대학교]	밴드갭 조절 가능한 나노포러스 ＴｉＯ２－ＺｒＯ２하이브리드 박막의 제조방법	새창보기
[KST2015176501][전남대학교]	주기적인 패턴을 갖는 산화아연 나노막대 어레이의제조방법	새창보기
[KST2019026597][전남대학교]	가스센서 및 이의 제조방법	새창보기

의뢰할 수요기술을 선택합니다

담당자명, 주소, 이메일, 연락처, 내용, 파일선택의 정보를 제공하는 도입희망기술 뷰 페이지 의뢰하기 입력표입니다.
담당자명		활동구분※필수입력항목
이메일		연락처	- -
내용
파일선택	파일선택

기술이전 상담신청 드립니다.
기업명
신청자 성명		직책
연락처	- -
이메일	@
상담희망전담센터	※ 사업장(본점) 소재지가 속한 지역의 기술혁신센터를 지정해주세요.