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소정의 액체가 공급되는 액체공급관, 이 액체가 내부에서 분사됨에 따라 발생한 흡입력이 인가되는 흡입관 및 상기 액체가 배출되는 배출관이 구비된 이젝터;내부가 비어 있는 관 형상으로 구비되며, 일단에 상기 흡입관과 연통되는 연통홀이 형성되고, 측면에는 소정의 기체가 유입되는 기체유입구가 구비된 하우징;다공성 재질로 이루어지며, 중심부에 통로가 형성되고 상기 이젝터에서 발생한 흡입력이 상기 통로에 인가되도록 상기 통로의 일단이 상기 연통홀에 연결되게 상기 하우징의 내부에 설치된 다공부재;상기 통로의 내부에 삽입 설치되며, 그 일단에서 타단까지 외주면을 따라 홈부가 형성된 안내부재; 및상기 액체를 상기 통로의 타단에 공급하는 액체공급부;를 포함하여,상기 액체가 상기 홈부를 따라 상기 통로를 통과할 때, 상기 통로에 인가되는 흡입력에 의해 상기 기체가 상기 다공부재를 통과하여 상기 통로로 유입되면서 미세 기포의 형태로 상기 액체에 공급되는 것을 특징으로 하는 미세폭기장치
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제1항에 있어서,상기 안내부재는,상기 홈부가 나선형으로 형성되어, 스크루 막대 형상으로 구비되는 것을 특징으로 하는 미세폭기장치
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제1항에 있어서,상기 안내부재는,그 일단부가 첨단(尖端)으로 형성되어 상기 흡입관 내부에 위치되는 것을 특징으로 하는 미세폭기장치
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제1항에 있어서,상기 연통홀은,그 내경이 상기 안내부재의 외경보다 작게 구비되어 상기 안내부재를 접촉 지지하는 것을 특징으로 하는 미세폭기장치
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제1항에 있어서,상기 액체공급관과 상기 액체공급부는,상기 액체를 공급하기 위해, 상기 액체가 소정의 가압펌프에 의해 가압 공급되는 하나의 가압공급관에 각각 연결 구비된 것을 특징으로 하는 미세폭기장치
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제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,상기 액체공급부는,상기 홈부가 형성된 상기 안내부재의 끝단부가 위치되는 통과홀이 형성되고, 그 일면이 상기 통로가 형성된 상기 다공부재에 밀착되게 상기 하우징의 타단에 결합되는 연결체;상기 액체를 수용하며, 상기 액체가 상기 통과홀을 통해 상기 통로에 공급되도록 상기 통과홀과 연통되게 상기 연결체의 타면에 결합되는 액체수용부; 및상기 액체수용부에 상기 액체를 공급하는 공급관;을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 미세폭기장치
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제6항에 있어서,상기 액체공급부는,상기 액체수용부에 대한 상기 액체의 공급 압력을 조절하도록 상기 공급관에 설치되는 조절밸브;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미세폭기장치
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제6항에 있어서,상기 통과홀의 내경은 상기 통로의 내경보다 작게 구비되고,상기 홈부는 상기 안내부재의 중심부보다 상기 통과홀에 위치되는 상기 안내부재의 끝단부에 더 깊게 형성된 것을 특징으로 하는 미세폭기장치
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