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X선 거울을 이용한 3차원 X선 현미경 및 X선 거울의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015177529
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 개시된 본 발명에 따른 X선 거울을 이용한 3차원 X선 현미경은 외부로부터 전력을 공급받아 X선을 발생시키는 소오스, 상기 소오스에 인접하여 구비되고 상기 소오스로부터 발생되는 X선을 집광하여 단일파장 평행 X선을 추출하는 X선 거울, 상기 X선 거울과 이격 배치되고 상기 X선 거울과의 사이에 구비된 측정대상물을 투과한 단일파장 평행 X선을 필터링하여 탄성산란을 제거하는 필터부, 상기 필터부에서 필터링된 단일파장 평행 X선을 가시광선으로 변환시키는 박막 섬광체, 상기 박막 섬광체에 의하여 변환된 가시광선을 확대하는 렌즈부, 및 상기 렌즈부에 의하여 확대된 가시광선을 반사시키는 반사 거울 및 상기 반사 거울로부터 반사된 가시광선을 기록하는 영상 검출부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL G02B 21/00 (2006.01) G01N 23/00 (2006.01) G02B 27/22 (2006.01) G21K 1/06 (2006.01)
CPC G02B 21/0004(2013.01) G02B 21/0004(2013.01) G02B 21/0004(2013.01) G02B 21/0004(2013.01) G02B 21/0004(2013.01)
출원번호/일자 1020100116733 (2010.11.23)
출원인 전남대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1031675-0000 (2011.04.20)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20110429) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.11.23)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 전남대학교산학협력단 대한민국 광주광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 전인수 대한민국 광주광역시 북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 정철오 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길 **-*(역삼동, IT빌딩 *층)(특허법인 누리)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 전남대학교산학협력단 대한민국 광주광역시 북구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2010.11.23 수리 (Accepted) 1-1-2010-0764056-92
2 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.11.23 수리 (Accepted) 1-1-2010-0763821-35
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2010.11.27 수리 (Accepted) 1-1-2010-0778143-38
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2010.12.21 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2011.01.05 수리 (Accepted) 9-1-2011-0000389-60
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.02.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0076261-22
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.03.04 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0156437-79
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.03.04 수리 (Accepted) 1-1-2011-0156431-06
9 등록결정서
Decision to grant
2011.04.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0209365-58
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.07.23 수리 (Accepted) 4-1-2012-5157698-67
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.01.02 수리 (Accepted) 4-1-2014-0000058-61
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.06.08 수리 (Accepted) 4-1-2015-5076218-57
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.07.07 수리 (Accepted) 4-1-2016-5093177-51
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.03.30 수리 (Accepted) 4-1-2018-5056463-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
거울을 이용하여 X선을 집광하는 3차원 X선 현미경에 있어서,외부로부터 전력을 공급받아 X선을 발생시키는 소오스; 상기 소오스에 인접하여 구비되고 상기 소오스로부터 발생되는 X선을 집광하여 단일파장 평행 X선을 추출하는 X선 거울; 상기 X선 거울과 이격 배치되고 상기 X선 거울과의 사이에 구비된 측정대상물을 투과한 단일파장 평행 X선을 필터링하여 탄성산란을 제거하는 필터부; 상기 필터부에서 필터링된 단일파장 평행 X선을 가시광선으로 변환시키는 박막 섬광체; 상기 박막 섬광체에 의하여 변환된 가시광선을 확대하는 렌즈부; 상기 렌즈부에 의하여 확대된 가시광선을 반사시키는 반사 거울; 및, 상기 반사 거울로부터 반사된 가시광선을 기록하는 영상 검출부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 X선 거울을 이용한 3차원 X선 현미경
2 2
제 1 항에 있어서,상기 X선 거울은 상기 소오스를 수용하는 하우징의 일측에 연결되며, 상기 하우징과 X선 거울의 사이에 위치 컨트롤러가 구비되어 상기 X선 거울의 설치각도를 제어하는 것을 특징으로 하는 X선 거울을 이용한 3차원 X선 현미경
3 3
삭제
4 4
3차원 X선 현미경에서 사용되는 X선 거울의 제조방법에 있어서,무산소 구리(Cu) 재질의 기판을 준비하거나 또는 알루미늄(Al) 재질의 기판을 준비한 후 상기 알루미늄(Al) 또는 무산소 구리(Cu) 재질의 기판의 표면상에 니켈(Ni)을 코팅하는 단계(S110);상기 니켈(Ni) 코팅을 중심선 평균 거칠기(Ra)= 1~3nm 사이의 표면 정밀도로 가공하는 단계(S120); 및,상기 코팅 위에 밀도가 서로 다른 두 종류의 금속층으로 구성된 다중박막적층을 형성하는 단계(S130);를 포함하는 것을 특징으로 하는 X선 거울의 제조방법
5 5
제 4 항에 있어서,상기 다중박막적층은 텅스텐(W) 및 알루미늄(Al)의 밀도가 서로 다른 두 종류의 금속 박막층이 반복 적층된 것을 특징으로 하는 X선 거울의 제조방법
6 6
제 4 항에 있어서,상기 다중박막적층은 X선 거울에 대한 X선 반사율 계산을 재실시한 후 밀도가 서로 다른 두 종류의 금속층(A, B)의 적정 두께비 tA/tB를 결정하는 것을 특징으로 하는 X선 거울의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 전남대학교 방사선기술개발사업 X-선 산란 효과 보정을 통한 초고분해능 X-선 시스템의 개발과 획득한 초고해상도 영상을 이용한 새로운 비파괴 분석기법의 확립