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캔틸레버 구조체 및 그의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015177628
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 캔틸레버 구조체 및 그의 제조방법에 관한 것으로, 특히 제작이 용이하고 원자 현미경의 분해능을 높일 수 있는 캔틸레버 구조체 및 그의 제조방법에 관한 것이다.본 발명에 의한 캔틸레버 구조체는 폴리머 계열의 물질로 형성되는 바디부, 바디부의 일면에 배치되며 폴리머 계열의 물질로 형성되는 외팔보 지지부, 외팔보 지지부와 일체형으로 형성되며 바디부의 일측방향으로 돌출되도록 외팔보 지지부에서 신장되는 외팔보을 구비한다. 그리고 외팔보의 일면에는 끝단이 첨예하게 돌출되는 탐침이 형성된다. 또한 외팔보의 적어도 일면에는 하나 이상의 압저항 센서가 형성된다. 그리고, 외팔보 지지부에는 저항 패턴, 전원전압을 인가받기 위한 금속 패드가 형성된다. 또한 압저항 센서 및 저항 패턴을 금속 패드와 전기적으로 연결하면서 휘트스톤 브리지 회로를 구성하는 도전 패턴을 구비한다.원자 현미경, 캔틸레버, 외팔보, 폴리머, 휘트스톤 브리지
Int. CL G01Q 60/24 (2010.01) G01Q 60/38 (2010.01)
CPC G01Q 60/42(2013.01) G01Q 60/42(2013.01) G01Q 60/42(2013.01) G01Q 60/42(2013.01)
출원번호/일자 1020090135253 (2009.12.31)
출원인 전남대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1183581-0000 (2012.09.11)
공개번호/일자 10-2011-0078439 (2011.07.07) 문서열기
공고번호/일자 (20120917) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호 1020120092922;
심사청구여부/일자 Y (2009.12.31)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 전남대학교산학협력단 대한민국 광주광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이동원 대한민국 광주광역시 북구
2 안준형 대한민국 광주광역시 북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인아이엠 대한민국 서울특별시 강남구 봉은사로 ***, ***호 (역삼동, 혜전빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 전남대학교산학협력단 광주광역시 북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2009.12.31 수리 (Accepted) 1-1-2009-0820147-27
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2010.01.04 수리 (Accepted) 1-1-2010-0002213-03
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2011.05.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2011.06.16 수리 (Accepted) 9-1-2011-0050253-76
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.06.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0356601-43
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.08.11 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0621492-55
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.11.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0675112-77
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.01.18 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0048461-44
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.01.18 수리 (Accepted) 1-1-2012-0048442-87
10 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2012.06.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0372979-95
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.07.23 수리 (Accepted) 4-1-2012-5157698-67
12 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Extension of Legal Period] Request for Extension of Period (Reduction, Expiry Reconsideration)
2012.07.27 수리 (Accepted) 7-1-2012-0035688-92
13 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application
2012.08.24 수리 (Accepted) 1-1-2012-0681884-79
14 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2012.08.24 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2012-0681838-89
15 등록결정서
Decision to Grant Registration
2012.09.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0521937-39
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.01.02 수리 (Accepted) 4-1-2014-0000058-61
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.06.08 수리 (Accepted) 4-1-2015-5076218-57
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.07.07 수리 (Accepted) 4-1-2016-5093177-51
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.03.30 수리 (Accepted) 4-1-2018-5056463-72
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번호 청구항
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실리콘 웨이퍼에 탐침의 형성을 위해서 단면이 ''V''자 형태가 되도록 첨예한 끝을 가지는 홈을 형성하는 단계;상기 실리콘 웨이퍼 전면에 산화막 및 희생막인 알루미늄을 순차적으로 형성하는 단계;상기 희생막 상에 압저항 센서를 형성하는 단계;상기 압저항 센서 패턴을 덮도록 상기 희생막 상에 폴리머 계열의 물질인 SU-8을 매립하는 단계;상기 폴리머 계열의 물질을 패터닝하여 탐침, 외팔보 지지부 및 외팔보를 포함하는 일체형의 외팔보 패턴을 형성하는 단계;상기 외팔보 패턴 전면에 금속 물질을 증착하는 단계;상기 금속 물질을 패터닝하여, 상기 외팔보에 형성되는 다른 압저항 센서, 저항패턴, 금속 패드 및 상기 저항 패턴과 상기 금속 패드들이 휘트스톤 브리지 회로를 구성하도록 연결하는 도전패턴을 형성하는 단계;상기 외팔보 지지부의 영역에 바디부를 형성하는 단계; 및상기 희생막을 제거함으로써 상기 실리콘 웨이퍼를 분리하는 단계를 포함하는 캔틸레버 구조체의 제조방법
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제 5 항에 있어서,상기 폴리머 계열의 물질을 매립하는 공정은 진공 챔버에서 수행되는 것을 특징으로 하는 캔틸레버 구조체의 제조방법
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1 KR101210943 KR 대한민국 FAMILY

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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 전남대학교 국가지정연구실 사업 질량분석기가 집적화된 다기능 원자현미경 시스템 개발