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Li, X, Y, Z, O 및 N(여기서, X, Y 및 Z는 각각 P, B, Si, Al, Ge 및 As로 이루어진 군에서 선택됨)의 6개의 원자를 함유하는 6원계 고체 전해질
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Li, X, Y, Z, 및 O(여기서, X, Y 및 Z는 각각 P, B, Si, Al, Ge 및 As로 이루어진 군에서 선택됨)를 제공할 수 있는 타겟을 형성하고; 순수한 N2 또는 N2를 포함하는 분위기 하에서 스퍼터링을 수행하여 Li, X, Y, Z, O 및 N의 6 개의 원소를 함유하는 박막을 형성하는 단계를 포함하는 Li, X, Y, Z, O 및 N의 6개의 원자를 함유하는 6원계 고체 전해질의 제조방법
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제2항에 있어서, 상기 Li, X, Y, Z, 및 O를 제공할 수 있는 타겟은 Li, X, 및 O를 함유하는 화합물의 타겟 위에 Y 또는 Y-함유 화합물 및 Z 또는 Z-함유 화합물의 모자이크 타겟을 위치시킨 타겟 또는 Li, X, Y, Z, 및 O 원소를 함유하는 복합 타겟인 6원계 고체 전해질의 제조방법
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Li, B, Si, P, O 및 N의 6개의 원자를 함유하는 6원계 고체 전해질
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제1항 또는 제4항에 따른 전해질을 포함하는 박막 전지 또는 초소형 센서
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