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입자의 박막 코팅 방법 및 이에 적용되는 플라즈마 반응기

  • 기술번호 : KST2015177711
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 입자의 박막 코팅 방법 및 이에 적용되는 플라즈마 반응기가 제공된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 입자의 박막 코팅 방법은, 코팅 대상 입자를 플라즈마 반응기 내에 주입시키는 단계, 코팅 대상 입자가 주입된 플라즈마 반응기를 회전시키는 단계, 플라즈마 발생을 위한 반응 가스와 박막 형성용 전구체를 플라즈마 반응기 내에 공급하고 플라즈마를 방전시켜 화학 기상 반응을 발생시키는 단계, 펌프의 동작에 의해 반응 가스와 박막 형성용 전구체의 공급이 완료된 플라즈마 반응기 내의 압력을 적정 공정 압력으로 형성, 유지시키는 단계 및 화학 기상 반응에 의해 생성된 전구체의 확산, 증착에 의해 코팅 대상 입자의 표면에 박막을 성장시키는 단계를 포함한다. 박막 코팅, 입자, 플라즈마 반응기, 플라즈마 화학 기상 증착, 회전
Int. CL B01J 19/08 (2006.01) H01L 21/3065 (2006.01) B01J 19/00 (2006.01)
CPC B01J 19/08(2013.01) B01J 19/08(2013.01) B01J 19/08(2013.01)
출원번호/일자 1020070013391 (2007.02.08)
출원인 강원대학교산학협력단
등록번호/일자 10-0861729-0000 (2008.09.29)
공개번호/일자 10-2008-0074383 (2008.08.13) 문서열기
공고번호/일자 (20081006) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.02.08)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 강원대학교산학협력단 대한민국 강원도 춘천시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김교선 대한민국 강원 춘천시
2 김동주 대한민국 강원 춘천시
3 강진이 대한민국 강원 춘천시 후

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김정현 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 ***, *층 (역삼동, 신명빌딩)(한맥국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 강원대학교산학협력단 대한민국 강원도 춘천시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2007.02.08 수리 (Accepted) 1-1-2007-0119725-84
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2007.09.05 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2007.10.12 수리 (Accepted) 9-1-2007-0059853-87
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2007.11.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0610536-37
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2008.01.15 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2008-0033495-17
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2008.01.15 수리 (Accepted) 1-1-2008-0033510-15
7 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal		 2008.04.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0213094-36
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2008.04.25 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2008-0299491-06
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2008.04.25 수리 (Accepted) 1-1-2008-0299473-84
10 등록결정서
Decision to grant		 2008.09.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0492427-68
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.04.15 수리 (Accepted) 4-1-2011-5075634-10
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.12.13 수리 (Accepted) 4-1-2011-5249875-98
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.03.08 수리 (Accepted) 4-1-2012-5049179-27
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.11.05 수리 (Accepted) 4-1-2019-5230938-29
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
코팅 대상 입자를 플라즈마 반응기 내에 주입시키는 단계;상기 코팅 대상 입자가 주입된 플라즈마 반응기를 회전시키는 단계;플라즈마 발생을 위한 반응 가스 및 박막 형성용 전구체를 상기 플라즈마 반응기 내에 공급하고, 플라즈마를 방전시켜 화학 기상 반응을 발생시키는 단계; 펌프의 동작에 의해 상기 반응 가스 및 박막 형성용 전구체의 공급이 완료된 플라즈마 반응기 내의 압력을 적정 공정 압력으로 형성, 유지시키는 단계; 상기 화학 기상 반응에 의해 생성된 전구체의 확산, 증착에 의해 상기 코팅 대상 입자의 표면에 박막을 성장시키는 단계; 및상기 플라즈마 반응기 내의 공정 압력을 형성, 유지시킴에 있어 플라즈마 반응기의 리크(leak) 유무를 확인하고, 리크 발견시 이를 제거하는 단계를 포함하는 입자의 박막 코팅 방법
2 2
삭제
3 3
제 1 항에 있어서,상기 플라즈마 발생을 위한 반응 가스는 질소(N2) 가스 또는 아르곤(Ar) 가스인 것을 특징으로 하는 입자의 박막 코팅 방법
4 4
제 3 항에 있어서,상기 플라즈마 반응기는 실린더형 플라즈마 반응기인 것을 특징으로 하는 입자의 박막 코팅 방법
5 5
코팅 대상 입자, 반응 가스 및 박막 형성용 전구체의 주입이 이루어지는 실린더부;상기 실린더부의 양끝단에 구비되며, 상기 실린더부의 내부에 플라즈마 발생을 위한 고전압을 인가하는 전극부; 및상기 실린더부의 회전을 위한 동력을 공급하는 구동 모터를 포함하는 입자의 박막 코팅용 플라즈마 반응기
6 6
제 5 항에 있어서,상기 실린더부는, 실린더부 내부의 압력 및 온도 정보를 감지하기 위한 센서; 및상기 센서에 의해 감지된 상기 실린더부 내부의 압력 및 온도 정보를 디스플레이하기 위한 디스프플레이부를 구비하는 것을 특징으로 하는 입자의 박막 코팅용 플라즈마 반응기
7 7
제 5 항 또는 제 6 항에 있어서,상기 전극부는 상기 실린더부와 소정 간격 이격되도록 구성됨으로써, 상기 실린더부의 회전이 이루어지더라도 고정 위치되는 것을 특징으로 하는 입자의 박막 코팅용 플라즈마 반응기
8 8
제 7 항에 있어서,상기 구동모터에 의한 상기 실린더부의 회전 속도는 사용자의 조작 또는 공정 조건에 대응되도록 자동 변경 설정 가능한 것을 특징으로 하는 입자의 박막 코팅용 플라즈마 반응기
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.