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대상체 내부에 결함이 있는지를 검사하는 기형 초음파 전파 영상화장치에 있어서,펄스레이저빔을 조사하는 레이저 조사부;상기 펄스레이저빔의 초점을 조절하는 빔확장기;상기 대상체 내의 검사영역에 존재하는 레이저빔 조사점의 경로를 따라 상기 펄스레이저빔이 조사되도록 상기 펄스레이저빔의 조사경로를 조절하는 2축 레이저 거울 스캐너;상기 펄스레이저빔을 조사받은 상기 대상체가 생성하는 초음파를 감지하는 센서; 상기 센서로부터 감지된 초음파 신호를 증폭하는 증폭기와 상기 초음파 신호에 존재하는 노이즈를 제거하고 상기 초음파 신호 중에 특정한 주파수 대역만을 통과시키는 대역통과필터로 구성된 제 1 영상처리 제어부;상기 제 1 영상처리 제어부에서 생성된 초음파에서 상기 대상체 내부에 결함이 없을 경우에 생성되는 정상 초음파를 제거하고 상기 대상체 내부에 결함이 있을 경우에 생성되는 기형 초음파를 이용하여 3차원 초음파 구조로 재구성하는 제 2 영상처리 제어부; 및 상기 제 2 영상처리 제어부에서 생성된 상기 3차원 초음파 구조를 출력하는 출력부; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 기형 초음파 전파 영상화 장치
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제1항에 있어서,상기 레이저 조사부는 Q-스위치 CW 레이저인 것을 특징으로 하는 기형 초음파 전파 영상화 장치
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제2항에 있어서,상기 Q-스위치 CW 레이저는 상기 펄스레이저빔을 10Hz 내지 10KHz의 반복속도로 조사하는 것을 특징으로 하는 기형 초음파 전파 영상화 장치
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제2항에 있어서 상기 Q-스위치 CW 레이저는 상기 펄스레이저빔의 조사출력을 0
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제1항에 있어서,상기 빔확장기는 현미경 렌즈와 초점조정렌즈로 구성되고, 상기 현미경 렌즈에 입사가능한 상기 펄스레이저빔의 빔직경, 초점 재조정이 가능한 상기 현미경 렌즈의 확장비, 상기 2축 레이저 거울 스캐너의 거울 크기를 고려하여 상기 현미경 렌즈의 확장비를 결정하는 것을 특징으로 하며, 상기 현미경렌즈와 초점조정렌즈의 렌즈 손상 한계는 상기 펄스레이저빔의 단위면적당 출력으로 결정되는 것을 특징으로 하는 기형 초음파 전파 영상화 장치
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제1항에 있어서,상기 센서는 상기 대상체에 부착된 접촉형 또는 상기 대상체와 이격된 비접촉형인 것을 특징으로 하는 기형 초음파 전파 영상화 장치
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제6항에 있어서, 상기 비접촉형 센서는상기 펄스레이저빔 또는 공기를 매질로 사용하고 있는 것을 특징으로 하는 기형 초음파 전파 영상화 장치
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제 6항에 있어서,상기 비접촉형 센서는상기 레이저빔 조사점과 상기 센서가 상기 초음파를 감지하는 점을 일치시켜 상기 대상체의 두께방향으로 전달되는 면외(out-of-plane) 전파 파형을 감지하는 레이저 초음파 수신기를 포함하는 것을 특징으로 하는 기형 초음파 전파 영상화 장치
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제 1항에 있어서,상기 제 2 영상처리 제어부는 상기 레이저빔 조사점 중 제 1 조사점에서 감지되는 제 1 초음파와 상기 레이저빔 조사점의 경로를 따라 상기 제 1 조사점과 인접한 제 2 조사점에서 감지되는 제 2 초음파를 독출하는 초음파 인식부;상기 제 1 초음파를 시간축에 대하여 샘플링 간격의 배수만큼 좌측방향 또는 우측방향으로 이동시켜 제 3 초음파를 생성하는 스케일링부;상기 제 3 초음파와 상기 제 2 초음파의 시간에 따른 진폭의 차이인 제 4 초음파를 생성하는 제 1 연산부;상기 제 4 초음파의 RMS(Root Mean Square)를 계산하는 제 2 연산부; 상기 계산된 RMS 값 중에 최소가 되는 제 5 초음파를 선택하는 제 3 연산부;및상기 제 5 초음파를 상기 레이저빔 조사점에 배치하여 상기 3차원 초음파 구조를 생성하는 구조부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기형 초음파 전파 영상화 장치
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제 1항에 있어서,상기 출력부는 상기 제 2 영상처리 제어부에서 생성된 상기 3차원 초음파 구조를 시간에 따라 분할하고 진폭의 크기를 컬러(colar) 또는 그레이(gray) 스케일로 공간상에 연속적으로 출력하는 것을 특징으로 하는 기형 초음파 전파 영상화 장치
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제 1항에 있어서,상기 펄스레이저빔을 조사할 때 상기 대상체를 원격으로 확인하기 위한 카메라를 더 포함하는 기형 초음파 전파 영상화 장치
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제 1항 또는 제 11항에 있어서,상기 2축 레이저 거울스캐너와 연결되어 있고, 상기 2축 레이저 거울스캐너가 상기 펄스레이저빔을 조사할 수 있는 각도의 한계를 넘는 곳에 위치한 대상체를 상기 2축 레이저 거울 스캐너의 출구로 향하도록 하는 중공모터회전기를 더 포함하는 기형 초음파 전파 영상화 장치
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제 12항에 있어서,상기 중공모터회전기는 상기 레이저 조사부로부터 조사된 상기 펄스레이저빔이 통과하는 중공부; 및상기 펄스레이저빔이 조사되는 방향에 따라 회전하는 회전부를 포함하는 기형 초음파 전파 영상화 장치
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