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흡착제를 이용한 삼염화실란과 사염화규소의 분리방법

  • 기술번호 : KST2015178575
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 폴리실리콘(Polysilicon) 분리공정 중 삼염화실란(Trichlosilane)과 사염화규소(Silicontetrachloride)의 분리방법에 있어서, 1개의 탑에 흡착제를 충전시켜 상기 삼염화실란과 사염화규소를 흡착시켜 제거함으로써 공정을 획기적으로 단축시켜 에너지 및 투자비용을 절감할 수 있는 효과를 얻을 수 있는 우수한 발명이다.
Int. CL B01D 15/00 (2006.01) B01D 15/08 (2006.01) C07F 7/02 (2006.01)
CPC B01D 15/00(2013.01) B01D 15/00(2013.01) B01D 15/00(2013.01) B01D 15/00(2013.01) B01D 15/00(2013.01) B01D 15/00(2013.01)
출원번호/일자 1020120019824 (2012.02.27)
출원인 전북대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2013-0098035 (2013.09.04) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 취하
심사진행상태 취하
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.03.25)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 전북대학교산학협력단 대한민국 전라북도 전주시 덕진구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 양오봉 대한민국 전북 전주시 덕진구
2 오대웅 대한민국 전북 전주시 덕진구
3 곽도환 대한민국 전북 전주시 덕진구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 황여현 대한민국 대전광역시 서구 문예로 ***, KT&G빌딩 *층 (둔산동)(화평국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.02.27 취하 (Withdrawal) 1-1-2012-0159002-82
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.10.04 수리 (Accepted) 4-1-2012-5206243-46
3 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2014.03.25 수리 (Accepted) 1-1-2014-0283705-60
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2014.09.17 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2014.10.14 수리 (Accepted) 9-1-2014-0080725-76
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2015.07.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0486154-44
7 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2015.10.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0728567-07
8 [특허 등 절차 취하]취하(포기)서
[Withdrawal of Procedure such as Patent, etc.] Request for Withdrawal (Abandonment)
2015.10.22 수리 (Accepted) 1-1-2015-1024675-94
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2016-5013206-34
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.02.27 수리 (Accepted) 4-1-2019-5038917-11
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.07.23 수리 (Accepted) 4-1-2019-5146986-17
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.07.23 수리 (Accepted) 4-1-2019-5146985-61
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.10.22 수리 (Accepted) 4-1-2019-5219602-91
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.07.06 수리 (Accepted) 4-1-2020-5149086-79
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
폴리실리콘 분리공정 중 삼염화실란과 사염화규소의 분리방법에 있어서,1개의 탑에 흡착제를 충전시킨 후에 불순물을 흡착시켜 제거하는 것을 특징으로 하는 흡착제를 이용한 삼염화실란과 사염화규소의 분리방법
2 2
청구항 1에 있어서, 상기 불순물은 사염화규소(STC), 디클로로실란(DCS), 모노클로로실란(MSC)인 것을 특징으로 하는 흡착제를 이용한 삼염화실란과 사염화규소의 분리방법
3 3
청구항 2에 있어서, 상기 흡착제는 스팀으로 전처리한 활성탄소를 담체로 한 것을 특징으로 하는 흡착제를 이용한 삼염화실란과 사염화규소의 분리방법
4 4
청구항 3에 있어서, 상기 전처리는 로(Furnace) 내의 반응기에 활성탄을 충전하고 질소(N2)의 흐름 하에서 500℃로 2시간 가열하는 것을 특징으로 하는 흡착제를 이용한 삼염화실란과 사염화규소의 분리방법
5 5
청구항 3에 있어서, 상기 전처리는 스팀을 질소(N2)와 함께 Saturator를 이용하여 500℃로 2시간 흘려주는 것을 특징으로 하는 흡착제를 이용한 삼염화실란과 사염화규소의 분리방법
6 6
청구항 4 또는 청구항 5에 있어서, 상기 흡착제는 BET법으로 측정한 표면적이 830
7 7
청구항 4 또는 청구항 5에 있어서, 상기 흡착제는 전이금속을 함침시킨 것을 특징으로 하는 흡착제를 이용한 삼염화실란과 사염화규소의 분리방법
8 8
청구항 7에 있어서, 상기 전이금속은 질산니켈{Ni(NO3)2·H2O}인 것을 특징으로 하는 흡착제를 이용한 삼염화실란과 사염화규소의 분리방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 전북대학교 산학녹색기술공동개발 태양전지용 폴리실리콘원료인 삼염화실란, 사염화실란의 흡착제 개발 및 특성평가