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열과 기계적인 힘에 의해 면내방향으로 응력을 가지는 하나 이상의 기저구조물층(102); 및상기 기저구조물층의 일면에 접착제층(103)으로 접착되는 하나 이상의 압전재료(101)층;으로 이루어지고,상기 압전재료층에 응력분포가 생성되는 것을 특징으로 하는 기저구조물의 면내방향 응력을 이용한 고성능 압전작동기
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제 1항에 있어서, 상기 압전재료층은, 압전세라믹, 압전폴리머, 압전섬유, 압전필름, 강유전체, 압전복합재, 단결정체, 전왜재료, 전기작동폴리머, 형상기억합금 중 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 기저구조물의 면내방향 응력을 이용한 고성능 압전작동기
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제 1항에 있어서, 상기 접착층에는,열경화성수지 또는 열경화성필름접착제, 열가소성수지 또는 열가소성필름접착제 중 하나 이상으로 구성된 것을 특징으로 하는 기저구조물의 면내방향 응력을 이용한 고성능 압전작동기
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제 1항에 있어서, 상기 기저구조물층은,금속재료, 유리, 플라스틱, 세라믹, 유리섬유강화복합재, 탄소섬유강화복합재, 아라미드섬유강화복합재, 실리카섬유강화복합재, 전기작동폴리머, 형상기억합금 중 어느 하나 이상으로 구성되는 것을 특징으로 하는 기저구조물의 면내방향 응력을 이용한 고성능 압전작동기
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제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 압전재료층의 상부 또는 하부의 일부 혹은 전체에 전극층을 포함하거나 혹은 상하부 모두 전극층을 포함하는 것을 특징으로 하는 기저구조물의 면내방향 응력을 이용한 고성능 압전작동기
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6
제 1항에 있어서, 상기 압전작동기에 추가적으로 압전재료보호층을 가지는 것을 특징으로 하는 기저구조물의 면내방향 응력을 이용한 고성능 압전작동기
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7
제 6항에 있어서, 상기 압전재료보호층은 금속재료, 유리, 플라스틱, 세라믹, 유리섬유강화복합재, 탄소섬유강화복합재, 아라미드섬유강화복합재, 실리카섬유강화복합재, 상기 압전재료층의 구성재료와 동일한 압전재료, 전기작동폴리머, 형상기억합금 중 어느 하나 이상으로 구성되는 것을 특징으로 하는 기저구조물의 면내방향 응력을 이용한 고성능 압전작동기
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제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 기저구조물층의 면내방향 응력을 이용한 고성능 압전작동기를 변형률, 변위, 속도, 가속도, 진동, 충격 감지용 센서로 사용하는 것을 특징으로 하는 기저구조물의 면내방향 응력을 이용한 고성능 압전작동기
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