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촉매금속, 몰리브덴(Mo), 및 마그네슘(Mg)의 몰비율이 1 : 0
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제1항에 있어서, 상기 촉매금속은 니켈(Ni) 또는 코발트(Co)인 탄소나노튜브 합성용 금속촉매 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 촉매혼합용액을 제조하는 단계에서, 상기 촉매혼합용액에 착화제를 더 첨가하는 탄소나노튜브 합성용 금속촉매 제조방법
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제3항에 있어서, 상기 착화제는 시트르산, 퓨메릭산, 탈타락산, 멜릭산으로 이루어진 그룹에서 선택된 어느 하나 이상인 탄소나노튜브 합성용 금속촉매 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 촉매혼합용액을 제조하는 단계와 상기 촉매 물질을 제조하는 단계 사이에, 상기 촉매혼합용액에 초음파를 가하는 단계를 더 포함하는 탄소나노튜브 합성용 금속촉매 제조방법
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6
제1항에 있어서, 상기 촉매 분말을 제조하는 단계 이후에, 상기 촉매 분말을 소결하는 단계를 더 포함하는 탄소나노튜브 합성용 금속촉매 제조방법
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제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 의하여 제조된 금속 촉매를 준비하는 단계; 및상기 금속촉매를 기판상에 위치시킨 후, 챔버 내에서 탄소 소스 가스와 반응시켜 탄소나노튜브를 합성하는 단계;를 포함하는 탄소나노튜브 제조방법
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제7항에 있어서, 상기 탄소나노튜브를 합성하는 단계에서, 상기 챔버 내에 산소가스가 더 포함되고, 상기 산소가스의 부피는 상기 챔버 내의 전체 가스 중에서 5%이하인 탄소나노튜브 제조방법
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제7항에 있어서, 상기 탄소 소스 가스는 메탄 가스, 아세틸렌 가스, 프로판 가스, 에틸렌 가스, 일산화탄소 및 이들의 혼합가스 중 어느 하나인 탄소나노튜브 제조방법
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