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수평 습식식각 장치

  • 기술번호 : KST2015178694
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 수평습식식각 장치에 관한 것으로, 웨이퍼를 식각용액 속에 수평방향으로 집어넣게 된다. 이에 따라 수직으로 넣을 때에 비하여 각 웨이퍼가 식각액에 잠기기 시작할 때 발생하는 시간차를 최소화하여 웨이퍼 전체를 균일하게 식각할 수 있게 된다. 이에 더하여, 반응용기 내 온도차이를 최소화시켜 습식식각 속도를 균일하게 만든다. 그러므로써, 생산된 제품의 수율을 높이는 효과가 있다. 또한, 여러 장의 웨이퍼를 함께 적재할 수 있어서, 패턴사파이어(pss)기판의 대량 생산이 가능하다.
Int. CL H01L 21/306 (2006.01)
CPC H01L 21/67057(2013.01) H01L 21/67057(2013.01)
출원번호/일자 1020110094771 (2011.09.20)
출원인 전북대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2013-0031074 (2013.03.28) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.09.20)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 전북대학교산학협력단 대한민국 전라북도 전주시 덕진구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 한남 대한민국 전라북도 전주시 완산구
2 조덕제 대한민국 서울특별시 노원구
3 홍창희 대한민국 서울특별시 영등포구
4 강지혜 대한민국 전라북도 전주시 완산구
5 박영재 대한민국 전라북도 전주시 덕진구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 동원 대한민국 서울특별시 서초구 반포대로**길 **, ****호 (서초동, 현대전원오피스텔)

최종권리자

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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2011.09.20 수리 (Accepted) 1-1-2011-0731859-10
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2012.06.15 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2012.07.20 수리 (Accepted) 9-1-2012-0056924-78
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.10.04 수리 (Accepted) 4-1-2012-5206243-46
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.10.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0607904-27
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.12.11 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-1026533-52
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.12.11 수리 (Accepted) 1-1-2012-1026532-17
8 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2013.04.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0252370-54
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2016-5013206-34
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.02.27 수리 (Accepted) 4-1-2019-5038917-11
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.07.23 수리 (Accepted) 4-1-2019-5146985-61
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.07.23 수리 (Accepted) 4-1-2019-5146986-17
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.10.22 수리 (Accepted) 4-1-2019-5219602-91
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.07.06 수리 (Accepted) 4-1-2020-5149086-79
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
식각용액을 담는 수조;수평으로 기판을 적재하여 상기 수조의 식각용액에 잠기게 하는 거치대판;상기 거치대판과 연결되고 일부가 상기 수조 상부로 노출되는 손잡이;상기 거치대판을 상하 방향으로 움직이는 상하 요동장치를 포함하며; 상기 거치대판과 상기 손잡이와 상기 수조가 내식각성을 가지는 것을 특징으로하는 수평 습식식각 장치
2 2
제1항에 있어서,상기 수조 내에 설치되어 온도를 감지하는 온도센서;상기 수조 내의 식각용액을 가열하는 세라믹히터;상기 온도센서에서 감지된 온도에 따라 상기 세라믹히터의 가열 동작을 제어하여 지정한 온도를 유지시키는 제어장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 수평 습식식각 장치
3 3
제2항에 있어서,상기 제어장치는,상기 온도센서에서 감지한 수조온도에 따라 상기 요동장치의 구동을 제어하여서, 상기 거치대판이 잠기는 수심을 조절을 하거나 요동되는 진동폭과 속도를 조절하는 것을 특징으로 하는 수평 습식식각 장치
4 4
제1항에 있어서, 상기 손잡이 상부에 연결되어, 상기 거치대판을 좌우로 움직이게 하는 좌우 요동장치를 더 포함하는 수평습식식각장치
5 5
제1항에 있어서,상기 수조가 다수개 형성되고, 상기 다수개의 수조간에 상기 거치대판을 이동시키는 로봇팔을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 수평습식식각장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.