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형광 X-선 검출기가, 형광 X-선 스펙트럼의 잡음 특징을 분석하기 위해 기설정된 물질을 기설정된 비율로 조합한 표준 시료에 X-선을 조사하고, 기설정된 시간동안 상기 시료로부터 발생되는 형광 X-선의 에너지를 기설정된 시간 동안 에너지 레벨에 따라 복수개의 채널로 구분하여 카운트하여 형광 X-선 스펙트럼을 획득하는 과정을 복수 횟수로 수행하는 단계; 상기 복수개의 채널 각각에 대해 형광 X-선 에너지가 상기 형광 X-선 검출기에 검출된 실제 카운트 수()를 푸아송 분포 함수에 대입하여, 상기 기설정된 시간 동안의 기대 카운트 수()가 관찰될 확률을 계산하는 단계; 상기 실제 카운트 수()의 표준 편차()를 계산하는 단계; 및상기 표준 시료의 표준 편차()인 상기 기대 카운트 수()의 제곱근을 상기 실제 카운트 수()의 표준 편차()에 근사하여, 상기 형광 X-선 스펙트럼에 포함된 형광 X-선 신호의 잡음을 계산하는 단계; 를 포함하는 형광 X-선 스펙트럼의 잡음 특징 분석 방법
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제1 항에 있어서, 상기 잡음은 산탄 잡음인 것을 특징으로 하는 형광 X-선 스펙트럼의 잡음 특징 분석 방법
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제2 항에 있어서, 상기 기대 카운트 수()가 관찰될 확률을 계산하는 단계는 상기 푸아송 분포 함수에 대한 수학식(여기서, 는 확률이고, 는 실제 카운트 수, 은 기설정된 시간 동안의 카운트 수에 대한 기댓값(즉, 기설정된 시간 동안의 기대 카운트 수))에 의해 계산하는 것을 특징으로 하는 형광 X-선 스펙트럼의 잡음 특징 분석 방법
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제3 항에 있어서, 상기 실제 카운트 수()의 표준 편차()를 계산하는 단계는 수학식(여기서, 는 형광 X-선 신호의 채널별 표준편차) 에 의해 계산하는 것을 특징으로 하는 형광 X-선 스펙트럼의 잡음 특징 분석 방법
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제4 항에 있어서, 상기 실제 카운트 수()의 표준 편차()에 근사하는 단계는 수학식 (여기서, 은 시료의 표준편차)에 의해 근사하는 것을 특징으로 하는 형광 X-선 스펙트럼의 잡음 특징 분석 방법
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제5 항에 있어서, 상기 형광 X-선 스펙트럼의 잡음 특징 분석 방법은 배경 신호 잡음 및 리드아웃 잡음을 포함한 상기 형광 X-선 스펙트럼 잡음을 수학식(여기서 는 형광 X-선 신호의 실제 카운트 수()에 대한 표준편차, 는 배경 신호에 의한 카운트 수에 대한 표준 편차, 는 리드아웃에 의한 카운트 수에 대한 표준 편차)에 의해 계산하는 단계; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 형광 X-선 스펙트럼의 잡음 특징 분석 방법
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