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레이저 광을 출력하는 광원;상기 광원과 연결되어 입력되는 광을 다른 경로로 출력하는 써큘레이터;입력된 광을 RF 변조하여 출력하는 광변조부:상기 광변조부로부터 입력된 변조된 광을 넓은 면적으로 변환하여 피측정체에 출력하고, 상기 피측정체에서 반사된 광을 수신하여 상기 광변조부에 제공하는 콜리메이터;상기 광변조부로부터 입력된 변조된 광을 수신하여 광신호를 전기신호로 변환하는 광/전변환부; 및상기 광변조부에 RF 신호를 인가하며, 상기 광/전변환부에서 입력되는 전기신호의 스펙트럼을 분석하는 분석부를 포함하되,상기 광변조부는 상기 써큘레이터로부터 입력되는 광을 순방향 RF 변조하여 상기 콜리메이터에 출력하고, 상기 콜리메이터로부터 입력되는 광을 역방향 RF 변조하여 상기 순방향 RF 변조된 광과 상기 역방향 RF 변조된 광의 시간차를 이용하여 상기 피측정체의 변위를 측정하는 것을 특징으로 하는 마하 젠더 광변조기의 양방향 변조를 이용한 비접촉 변위 센서
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제 1 항에 있어서,상기 피측정체의 변위(d)는 (여기서, c는 자유공간에서 광의 속도, Δτ(d)는 d만큼 발생했을 때의 변화한 시간지연임)으로 계산되는 것을 특징으로 하는 마하-젠더 광변조기의 양방향 변조를 이용한 비접촉 변위 센서
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제 1 항에 있어서,상기 써큘레이터와 상기 광변조부 사이 또는 상기 광변조부와 상기 콜리메이터 사이 또는 상기 써큘레이터와 상기 광/전변환부 사이에 설치되는 적어도 하나의 편광조절부를 더 포함하는 마하-젠더 광변조기의 양방향 변조를 이용한 비접촉 변위 센서
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제 1 항에 있어서,상기 광/전변환부와 상기 분석부 사이에 광전변환된 전기신호를 증폭하는 증폭부를 더 포함하는 마하-젠더 광변조기의 양방향 변조를 이용한 비접촉 변위 센서
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제 1 항에 있어서,상기 분석부는 상기 RF 신호를 발진하는 RF 발진장치 및 상기 광/전변환부에서 입력되는 전기신호의 스펙트럼을 분석하는 스펙트럼 분석장치를 포함하는 마하-젠더 광변조기의 양방향 변조를 이용한 비접촉 변위 센서
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제 1 항에 있어서,상기 분석부는 상기 RF 신호를 200 MHz ~ 2GHz 대역으로 스윙하여 상기 광변조부로 공급하는 것을 특징으로 하는 마하-젠더 광변조기의 양방향 변조를 이용한 비접촉 변위 센서
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