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엑스선을 발광하는 엑스선발광기; 측정하고자 하는 물질에 상기 엑스선이 조사된 후 반사된 형광엑스선을 수광하여 상기 형광엑스선의 피크값을 검출하는 최대값측정기(1100); 상기 반사된 형광엑스선을 수광하여 수광된 형광엑스선을 미분하여 입력된 신호를 인식하는 신호인식부(1210);상기 신호인식부(1210)에서 인식된 신호를 분석하여 파일업 신호를 식별하는 파일업신호측정부(1220);상기 파일업 신호로부터 최대값의 검출유무를 식별하는 식별부(1230); 및상기 파일업 신호로부터 최대값의 검출이 가능할 경우 해당 값을 출력하는 출력부(1300); 를 포함하는 것을 특징으로 하는 엑스선 형광분석장치
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제 1항에 있어서,상기 신호인식부(1210)는 상기 수광된 형광엑스선의 펄스가 인식되는 단위 구간별로 섹터를 구획하고, 상기 수광된 엑스선을 분석하기 위하여 미분 처리하여 상기 미분 처리된 신호 중 임의 설정된 임계값이상을 갖는 신호만을 검출하며, 상기 검출된 신호를 분석하기 위하여, 상기 섹터 별로 임계값이상을 가지는 신호가 검출되지 않으면 제 1 카운터를 누적하고 임계값이상을 가지는 신호가 검출되면 상기 제 1 카운터를 다시 시작하기 위하여 리셋하되, 상기 제 1 카운터가 리셋된 부분부터 임계값 이상의 신호가 재검출되기 전까지 누적된 제 1 카운터의 개수를 카운팅하여 파일업신호의 간격(d)을 계산하는 것을 특징으로 하는 엑스선 형광분석장치
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제 2항에 있어서,상기 파일업신호측정부(1220)는사용자가 임의 선정한 제 1 조건을 만족시 상기 검출된 신호를 파일업신호로 인식하고, 상기 섹터 별로 상기 파일업신호가 인식되지 않으면 제 2 카운터를 누적하고, 상기 파일업신호가 인식되면 상기 제 2 카운터를 리셋하며, 상기 식별부는 사용자가 임의 선정한 제 2 조건 만족시 상기 검출된 신호를 최대값으로 인식하는 것을 특징으로 하는 엑스선 형광분석장치
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제 3항에 있어서,상기 제 1 조건은 상기 제 1 카운터의 특정 카운터(cnt1(i))를 미분한 값이 임계값보다 작고, 제 1 카운터의 특정 카운터 바로 앞 카운터(cnt1(i-1))의 미분값이 임계값보다 크며, 제 1 카운터의 특정 카운터 두 번째 앞 카운터(cnt1(i-2))가 상기 구획 된 섹터에 포함된 경우인 것을 특징으로 하는 엑스선 형광분석장치
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제 3항에 있어서,또 다른 상기 제 1 조건은 상기 제 1 카운터의 특정 카운터(cnt1(i)) 바로 앞 카운터((cnt1(i-1))에서 제 1 카운터의 특정 카운터(cnt1(i))의 두 번째 앞 카운터((cnt1(i-2))를 뺀 값이 하나의 증가된 카운터 값을 가지며, 상기 제 1 카운터의 바로 앞 카운터((cnt1(i-1))에서 상기 제 1 카운터의 특정 카운터((cnt1(i))를 뺀 값이 검출된 신호의 정체구간보다 크고, 상기 구획된 섹터를 넘지 않는 경우인 것을 특징으로 하는 엑스선 형광분석장치
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제 3항에 있어서,상기 제 2 조건은 제 2 카운터의 특정 카운터(cnt1(i))에서 제 2 카운터의 바로 앞 카운터((cnt1(i-1))를 뺀 값이 하나의 증가된 카운터 값을 가지며, 상기 제 2 카운터의 바로 앞 카운터((cnt1(i-1))에서 상기 제 2 카운터의 특정 카운터(cnt1(i)) 두 번째 앞 카운터((cnt1(i-2))를 뺀 값도 하나의 증가된 카운터 값을 가지고, 상기 제 2 카운터의 특정 카운터 바로 앞 카운터(cnt2((i-1)) 및 상기 제 2 카운터의 특정 카운트 두 번째 앞 카운터(cnt2((i-1))가 특정단위의 간격보다 크며, 상기 최대값측정기(1100)로부터 피크값이 검출된 경우인 것을 특징으로 하는 엑스선 형광분석장치
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제 1항에 있어서,상기 최대값측정기(1100)는 아날로그로 입력된 상기 형광엑스선을 디지털 신호로 변환하기 위한 디지털컨버터(1110); 상기 물질의 성분을 분석하기 위해 사용되는 필터를 통해 사다리꼴 형태로 신호를 출력하는 신호출력부(1120); 및 상기 출력된 신호를 분석하여 상기 신호의 피크값을 측정하는 측정부(1130);를 포함하는 것을 특징으로 하는 엑스선 형광분석장치
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제 1항에 따른 엑스선 형광분석장치를 이용한 엑스선 형광분석방법으로서,수광된 형광엑스선의 펄스가 인식되는 단위 구간별로 섹터를 구획하는 구획단계;상기 수광된 형광엑스선을 분석하기 위하여 미분 처리하는 미분단계; 상기 미분 처리된 신호 중 임의 설정된 임계값이상을 갖는 신호만을 검출하는 신호검출단계;상기 검출된 신호를 분석하기 위하여, 상기 섹터 별로 임계값이상을 가지는 신호가 검출되지 않으면 제 1 카운터를 누적하고, 임계값이상을 가지는 신호가 검출되면 상기 제 1 카운터를 리셋하는 제 1 카운팅단계;상기 섹터별로 누적된 부분과 리셋된 부분을 식별한 후, 상기 제 1 카운터가 리셋된 부분부터 임계값 이상의 신호가 재검출되기 전까지 누적된 제 1 카운터의 개수를 카운팅하여 파일업신호의 간격(d)을 계산하는 간격계산단계;사용자가 임의 선정한 제 1 조건을 만족시 상기 검출된 신호를 파일업신호로 인식하는 파일업신호인식단계;상기 섹터 별로 상기 파일업신호가 인식되지 않으면 제 2 카운터를 누적하고, 상기 파일업신호가 인식되면 상기 제 2 카운터를 리셋하는 제 2 카운팅단계; 및 사용자가 임의 선정한 제 2 조건 만족시 상기 검출된 신호를 최대값으로 인식하는 최대값 인식단계; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 엑스선 형광분석방법
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제 8항에 있어서, 상기 제 1 조건은 상기 제 1 카운터의 특정 카운터(cnt1(i))를 미분한 값이 임계값보다 작고, 제 1 카운터의 특정 카운터 바로 앞 카운터(cnt1(i-1))의 미분값이 임계값보다 크며, 제 1 카운터의 특정 카운터 두 번째 앞 카운터(cnt1(i-2))가 상기 구획 된 섹터에 포함된 경우이며, 상기 제 2 조건은 제 2 카운터의 특정 카운터(cnt1(i))에서 제 2 카운터의 바로 앞 카운터((cnt1(i-1))를 뺀 값이 하나의 증가된 카운터 값을 가지며, 상기 제 2 카운터의 바로 앞 카운터((cnt1(i-1))에서 상기 제 2 카운터의 특정 카운터(cnt1(i)) 두 번째 앞 카운터((cnt1(i-2))를 뺀 값도 하나의 증가된 카운터 값을 가지고, 상기 제 2 카운터의 특정 카운터 바로 앞 카운터(cnt2((i-1)) 및 상기 제 2 카운터의 특정 카운트 두 번째 앞 카운터(cnt2((i-1))가 특정단위의 간격보다 크며, 최대값측정기로(1100)부터 피크값이 검출된 경우인 것을 특징으로 하는 엑스선 형광분석방법
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제 8항에 있어서, 또 다른 상기 제 1 조건은 상기 제 1 카운터의 특정 카운터(cnt1(i)) 바로 앞 카운터((cnt1(i-1))에서 제 1 카운터의 특정 카운터(cnt1(i)) 두 번째 앞 카운터((cnt1(i-2))를 뺀 값이 하나의 증가된 카운터 값을 가지고, 상기 제 1 카운터의 바로 앞 카운터((cnt1(i-1))에서 상기 제 1 카운터의 특정 카운터((cnt1(i))를 뺀 값이 검출된 신호의 정체구간보다 크며, 상기 구획된 섹터를 넘지 않는 경우인 것을 특징으로 하는 엑스선 형광분석방법
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