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액정 변조기 및 이를 포함하는 검사 장치

  • 기술번호 : KST2015179080
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 액정 변조기는 기판의 불량을 검출하는 검사 장치에 사용되며, 광을 반사하는 반사층, 상기 반사층 상에 제공되며 하이브리드 배열 네마틱 액정을 포함하는 액정층, 상기 액정층 상에 제공된 전극, 및 상기 전극 상에 제공된 편광판을 포함한다.
Int. CL G02F 1/00 (2006.01.01) G02F 1/13 (2006.01.01)
CPC
출원번호/일자 1020130112696 (2013.09.23)
출원인 삼성디스플레이 주식회사, 삼성전자주식회사, 전북대학교산학협력단
등록번호/일자 10-2085043-0000 (2020.02.28)
공개번호/일자 10-2015-0033112 (2015.04.01) 문서열기
공고번호/일자 (20200416) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.09.18)
심사청구항수 20

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 삼성디스플레이 주식회사 대한민국 경기 용인시 기흥구
2 삼성전자주식회사 대한민국 경기도 수원시 영통구
3 전북대학교산학협력단 대한민국 전라북도 전주시 덕진구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최석 대한민국 경기 성남시 수정구
2 구성모 대한민국 대구 수성구
3 노영진 대한민국 경기 남양주시 도농로 **,
4 김용원 대한민국 경기 용인시 기흥구
5 유창현 대한민국 충남 천안시 동남구
6 정치연 대한민국 서울 서초구
7 이승희 대한민국 전북 전주시 덕진구
8 최영은 대한민국 전북 전주시 완산구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 고려 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 *길 ** *층(역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 삼성디스플레이 주식회사 경기 용인시 기흥구
2 삼성전자주식회사 경기도 수원시 영통구
3 전북대학교산학협력단 전라북도 전주시 덕진구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2013.09.23 수리 (Accepted) 1-1-2013-0859097-62
2 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2015.04.22 수리 (Accepted) 1-1-2015-0390069-41
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.08.05 수리 (Accepted) 4-1-2015-5104722-59
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2016.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2016-5013206-34
5 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2018.09.18 수리 (Accepted) 1-1-2018-0928942-18
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.01.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5016605-77
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.02.27 수리 (Accepted) 4-1-2019-5038917-11
8 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2019.03.18 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
9 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2019.04.29 수리 (Accepted) 9-1-2019-0020195-65
10 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2019.05.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0363880-15
11 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2019.07.19 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-0742844-70
12 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2019.07.19 수리 (Accepted) 1-1-2019-0742843-24
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.07.23 수리 (Accepted) 4-1-2019-5146985-61
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.07.23 수리 (Accepted) 4-1-2019-5146986-17
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.10.22 수리 (Accepted) 4-1-2019-5219602-91
16 등록결정서
Decision to grant		 2019.11.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0860278-18
17 [명세서등 보정]보정서(심사관 직권보정)
 2020.04.01 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-5007043-83
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.07.06 수리 (Accepted) 4-1-2020-5149086-79
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판의 불량을 검출하는 검사 장치에 포함되는 액정 변조기에 있어서,광을 반사하는 반사층;상기 반사층 상에 제공되며 하이브리드 배열 네마틱 액정분자들을 포함하는 액정층;상기 액정층 상에 제공된 전극; 및상기 전극 상에 제공된 편광판을 포함하고, 상기 하이브리드 배열 네마틱 액정분자들은 상기 반사층으로부터 상기 전극을 향할수록 초기 경사각이 점점 증가하고, 상기 하이브리드 배열 네마틱 액정분자들 중 상기 반사층에 인접한 액정분자들은 상기 반사층의 표면에 대해 실질적으로 수평으로 배열되고, 상기 하이브리드 배열 네마틱 액정분자들 중 상기 전극에 인접한 액정분자들은 상기 전극의 표면에 대해 실질적으로 수직하게 배치되고, 상기 하이브리드 배열 네마틱 액정분자들이 전계를 따라 배열될 때, 상기 반사층에 인접한 액정분자들은 수평으로 배열된 상태를 유지하는 액정 변조기
2 2
제1항에 있어서,상기 액정층과 상기 전극 사이에 제공된 제1 배향막; 및 상기 반사층과 상기 액정층 사이에 제공된 제2 배향막을 더 포함하며,상기 제1 배향막은 수직 배향막이고, 상기 제2 배향막은 수평 배향막인 액정 변조기
3 3
제2항에 있어서,상기 수직 배향막의 선경사각은 89도 이상 90도 이하이며, 상기 수평 배향막의 선경사각은 2도 이하인 액정 변조기
4 4
제2항에 있어서,상기 수평 배향막의 러빙축은 상기 편광판의 편광축에 대해 45도 경사진 액정 변조기
5 5
제4항에 있어서,상기 액정 변조기는 노멀리 블랙 모드로 구동되는 액정 변조기
6 6
제2항에 있어서,상기 전극과 상기 편광판 사이에 제공된 사분파장판(quarter wave plate)을 더 포함하는 액정 변조기
7 7
제6항에 있어서,상기 사분 파장판은 상기 편광판의 편광축과 45도 경사진 액정 변조기
8 8
제6항에 있어서,상기 사분 파장판은 상기 수평 배향막의 러빙축과 평행하거나 수직한 광축을 갖는 액정 변조기
9 9
제6항에 있어서,상기 액정 변조기는 노멀리 화이트 모드로 구동되는 액정 변조기
10 10
제1항에 있어서,상기 하이브리드 배열 네마틱 액정분자들은 양의 유전율 이방성을 갖는 액정 변조기
11 11
제10항에 있어서,상기 액정층은 제공된 광을 1/4파장만큼 지연시키는 액정 변조기
12 12
기판의 불량을 검출하는 검사 장치에 있어서,상기 기판 상에 제공되는 액정 변조기;상기 액정 변조기로부터 이격되어 제공된 발광 유닛;상기 액정 변조기와 상기 발광 유닛 사이에 제공되어 상기 발광 유닛으로부터의 광을 상기 액정 변조기로 반사하는 광 분할기; 및상기 광 분할기를 사이에 두고 상기 액정 변조기에 대향하여 배치되며, 상기 액정 변조기로부터의 광을 감지하는 계측 유닛을 포함하며,상기 액정 변조기는 광을 반사하는 반사층; 상기 반사층 상에 제공되며 하이브리드 배열 네마틱 액정분자들을 포함하는 액정층; 상기 액정층 상에 제공된 전극; 및 상기 전극 상에 제공된 편광판을 포함하고, 상기 하이브리드 배열 네마틱 액정분자들은 상기 반사층으로부터 상기 전극을 향할수록 초기 경사각이 점점 증가하고, 상기 하이브리드 배열 네마틱 액정분자들 중 상기 반사층에 인접한 액정분자들은 상기 반사층의 표면에 대해 실질적으로 수평으로 배열되고, 상기 하이브리드 배열 네마틱 액정분자들 중 상기 전극에 인접한 액정분자들은 상기 전극의 표면에 대해 실질적으로 수직하게 배치되고, 상기 하이브리드 배열 네마틱 액정분자들이 전계를 따라 배열될 때, 상기 반사층에 인접한 액정분자들은 수평으로 배열된 상태를 유지하는 검사 장치
13 13
제12항에 있어서,상기 액정층과 상기 전극 사이에 제공된 제1 배향막; 및 상기 반사층과 상기 액정층 사이에 제공된 제2 배향막을 더 포함하며,상기 제1 배향막은 수직 배향막이고, 상기 제2 배향막은 수평 배향막인 검사 장치
14 14
제13항에 있어서,상기 수평 배향막의 러빙축은 상기 편광판의 편광축에 대해 45도 경사진 검사 장치
15 15
제12항에 있어서,상기 액정 변조기는 노멀리 블랙 모드로 구동되는 검사 장치
16 16
제12항에 있어서,상기 전극과 상기 편광판 사이에 제공된 사분파장판(quarter wave plate)을 더 포함하는 검사 장치
17 17
제16항에 있어서,상기 사분 파장판은 상기 편광판의 편광축과 45도 경사진 검사 장치
18 18
제16항에 있어서,상기 액정 변조기는 노멀리 화이트 모드로 구동되는 검사 장치
19 19
제12항에 있어서,상기 하이브리드 배열 네마틱 액정분자들은 양의 유전율 이방성을 갖는 검사 장치
20 20
제19항에 있어서,상기 액정층은 제공된 광을 1/4파장만큼 지연시키는 검사 장치
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1 CN104460057 CN 중국 FAMILY
2 US09581842 US 미국 FAMILY
3 US20150085200 US 미국 FAMILY

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1 CN104460057 CN 중국 DOCDBFAMILY
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3 TWI630440 TW 대만 DOCDBFAMILY
4 US2015085200 US 미국 DOCDBFAMILY
5 US9581842 US 미국 DOCDBFAMILY
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