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초 고진공용 복합 회전운동 전달장치를 이용한펄스형레이저증착장치의타겟고정부

  • 기술번호 : KST2015179235
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 초 고진공용 복합 회전운동 전달 장치를 이용한 펄스형 레이저 증착장치의 타겟고정부에 관한 것으로 펄스형 레이저 증착을 수행하기 위해서 단일 회전축을 사용하여 자전과 공전의 두가지 기능을 할 수 있는 간편한 초 고진공용 복합 회전운동 전달장치에 관한 것이다. 타겟의 자전과 서로 독립적인 두 가지 기능을 원활하게 수행하도록 하기 위하여 타겟 부착부, 턴 테이블, 주축, 회전운동 분배기, 회전운동 제어부, 스텐볼 지지대를 본 발명의 주된 구성 요소로 하고 있으며, 종래의 장치보다 훨씬 간편한 기계적 구성으로 대면적 증착에 용이하도록 설계되어 있는 게 특징이다. 따라서, 본 발명은 펄스형 레이저 증착장비에서 뿐이 아니라 다른 여러 장비에서도 널리 응용하여 사용할 수 있는 매우 효율적인것이다.
Int. CL H01L 21/203 (2006.01)
CPC C23C 14/28(2013.01)
출원번호/일자 1019960014634 (1996.05.06)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자 10-0192129-0000 (1999.01.28)
공개번호/일자 10-1997-0077149 (1997.12.12) 문서열기
공고번호/일자 (19990615) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1996.05.06)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 허윤성 대한민국 경기도 군포시
2 박광서 대한민국 경기도 고양시 일산동
3 이순걸 대한민국 대전광역시 유성구
4 김인선 대한민국 대전광역시 중구
5 박용기 대한민국 대전광역시 유성구
6 박종철 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김경식 대한민국 서울특별시 서초구 서초대로 ***, *층 (서초동, 모인터빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사한백 대한민국 대전광역시 대덕구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 1996.05.06 수리 (Accepted) 1-1-1996-0058552-13
2 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1996.05.06 수리 (Accepted) 1-1-1996-0058553-69
3 출원심사청구서
Request for Examination		 1996.05.06 수리 (Accepted) 1-1-1996-0058554-15
4 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 1996.05.22 수리 (Accepted) 1-1-1996-0058555-50
5 등록사정서
Decision to grant		 1998.12.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1996-0463615-84
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.01.18 수리 (Accepted) 4-1-1999-0008522-00
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.02.25 수리 (Accepted) 4-1-1999-0038464-97
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.05.20 수리 (Accepted) 4-1-1999-0073381-61
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2006.02.15 수리 (Accepted) 4-1-2006-5019752-35
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2014-5004381-25
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
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번호 청구항
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펄스형 레이저 박막 증착장치에 있어서 아래에 나열된 구성 요소를 포함하고 있는 초 고진공용 복합 회전운동 전달 장치를 이용한 타겟 고정부; 1) 4개의 원판으로 형성된 타겟 부착부 2) 타겟 홀더를 지지해 주고 하단부에 테이퍼진 홈이 형성되어 있는 턴 테이블 3) 모터의 작동에 의해 회전운동을 하는 단일 회전축인 주축 4) 주축에서 전달되는 회전운동을 각 타겟 부착부에 전달시켜 주는 회전운동 분배기 5) 스텐볼 가이드와 그의 덮개, 내부에 삽입되어 있는 스텐볼의 3개로 이루어진 회전운동 제어부 6) 턴 테이블의 하단부에 형성된 홈에 삽입되어 있는 스텐볼을 용수철로써 일정한 압력으로 지지해 주고 있는 스텐볼 지지대

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패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.