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화학 증착 공정시 용기 내의 전구체 잔존량 진단장치 및진단방법

  • 기술번호 : KST2015179309
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 화학 증착 공정시 용기 내의 전구체 잔존량 진단장치 및 진단방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 화학증착 공정 중 용기 내 잔존하는 전구체의 수위를 초음파의 송/수신을 통해 발생되는 신호를 분석하여 정확히 측정할 수 있는 화학 증착 공정시 용기 내의 전구체 잔존량 진단장치 및 진단방법에 관한 것이다. 따라서 본 발명에 의하면, 전구체가 보관되어 있는 용기에 초음파를 사용하는 수위 진단기를 설치하여 전구체의 수위를 실시간으로 측정하여 전구체의 고갈로 인한 피해를 사전에 방지하여 제품 불량율을 현저하게 감소시킬 수 있고, 상기의 측정결과를 토대로 전구체의 정확한 교체시기를 알 수 있으므로 전구체의 사용기간을 최대로 연장할 수 있다. 증착, 전구체, 초음파, 웨이퍼, 반도체, A/D 변환기, 펄스, 리시버
Int. CL H01L 21/66 (2006.01)
CPC C23C 16/52(2013.01) C23C 16/52(2013.01) C23C 16/52(2013.01)
출원번호/일자 1020030072877 (2003.10.20)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자 10-0592977-0000 (2006.06.16)
공개번호/일자 10-2005-0037651 (2005.04.25) 문서열기
공고번호/일자 (20060623) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2003.10.20)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 윤주영 대한민국 대전광역시유성구
2 김정형 대한민국 대전광역시유성구
3 안봉영 대한민국 대전광역시유성구
4 신용현 대한민국 대전광역시유성구
5 정광화 대한민국 대전광역시유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 손은진 대한민국 서울특별시 강남구 삼성로**길*, *층(대치동 삼성빌딩)(특허법인 아이퍼스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2003.10.20 수리 (Accepted) 1-1-2003-0389096-24
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2005.07.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2005.08.19 수리 (Accepted) 9-1-2005-0052676-14
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2005.10.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0519223-14
5 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 2005.12.19 수리 (Accepted) 1-1-2005-0740467-29
6 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 2006.01.18 수리 (Accepted) 1-1-2006-0037797-14
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2006.02.15 수리 (Accepted) 4-1-2006-5019752-35
8 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 2006.02.20 수리 (Accepted) 1-1-2006-0122668-16
9 의견서
Written Opinion		 2006.03.17 수리 (Accepted) 1-1-2006-0188919-06
10 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2006.03.17 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2006-0188935-26
11 등록결정서
Decision to grant		 2006.06.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0335326-93
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2014-5004381-25
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
운반기체(100a)가 담긴 봄베(100);상기 운반기체(100a)가 흐를 수 있도록 일측이 상기 봄베(100)에 배관된 제 1파이프(110);액상의 전구체(200a)가 담기고, 상기 운반기체(100a)가 상기 전구체(200a)를 버블링하여 기화하도록 상기 제 1파이프(110)의 타측이 상기 전구체(200a)에 수장되어 배관되는 용기(200);일측이 상기 전구체(200a)의 수면 위에 배치되게 상기 용기(200)에 배관되어 상기 전구체(200a) 및 운반기체(100a)가 이송되는 제 2파이프(210);상기 제 2파이프(210)의 타측이 배관되고 내포된 웨이퍼(300a)에 대해 상기 전구체(200a)로 화학 증착 공정이 수행되는 반응기(300);펄스상의 초음파를 방출하고 상기 전구체(200a) 수면에서 반사되는 상기 초음파를 수신하도록 상기 용기(200)의 하부에 설치되는 수위 진단기(400);상기 수위 진단기(400)와 전기적으로 연결되어 아날로그인 상기 초음파 신호를 디지털 신호로 변환하는 A/D 변환기(500);상기 송/수신된 각 초음파의 발생시간 차이에 관한 상기 디지털 데이터를 통해 상기 전구체(200a)의 수위를 연산하고, 상기 전구체(200a)에 관해 설정된 기준수위 데이터와 비교 처리하여 상기 전구체(200a)의 당해 수위가 상대적으로 낮은지를 판별하도록 상기 A/D변환기에 전기적으로 연결되는 컴퓨터(600); 및상기 기준수위보다 낮은 당해 전구체(200a)의 수위 비교결과가 도출됨에 따라 경고음향을 방출하도록 상기 컴퓨터(600)에 전기적으로 연결되는 알람발생기(700);를 포함하여 구성하고; 상기 수위 진단기(400)는, 상기 전구체(200a)의 수면을 향해 상기 초음파를 송신하고, 상기 수면으로부터 반사된 초음파를 감지하도록 상기 용기(200)의 하부에 부착되는 초음파 센서(410); 및 상기 감지된 초음파를 수신하여 송/수신된 각 초음파에 관한 아날로그 신호를 검출하도록 상기 초음파 센서(410)에 전기적으로 연결되는 펄스 리시버(420);를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 화학증착 공정시 용기 내의 전구체 자존량 진단장치
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삭제
3 3
화학 증착 공정에 있어서, 액상의 전구체(200a)를 버블링하여 기화하는 단계(S1000); 상기 전구체(200a)로 웨이퍼(300a)를 화학 증착하는 단계(S2000); 용기(200)의 하부에 부착된 초음파 센서(410)에서 펄스상의 초음파를 전구체(200a)의 수면을 향해 방출하는 단계(S3000); 상기 수면에 반사된 상기 초음파를 감지하는 단계(S4000); 상기 초음파를 수신하여 송/수신된 각 초음파에 관한 아날로그 신호를 검출하는 단계(S5000); 상기 아날로그 신호를 디지털 신호로 변환하는 단계(S6000); 상기 송/수신된 각 초음파의 발생시간 차이에 관한 상기 디지털 데이터를 통해 상기 전구체(200a)의 수위를 연산하고, 상기 전구체(200a)에 관해 설정된 기준수위 데이터와 비교 처리하는 단계(S7000); 및 상기 기준수위보다 낮은 당해 전구체(200a)의 수위 비교결과가 도출됨에 따라 경고음향을 방출하는 단계(S8000);를 포함하는 것을 특징으로 하는 화학 증착 공정시 용기 내의 전구체 잔존량 진단방법
4 3
화학 증착 공정에 있어서, 액상의 전구체(200a)를 버블링하여 기화하는 단계(S1000); 상기 전구체(200a)로 웨이퍼(300a)를 화학 증착하는 단계(S2000); 용기(200)의 하부에 부착된 초음파 센서(410)에서 펄스상의 초음파를 전구체(200a)의 수면을 향해 방출하는 단계(S3000); 상기 수면에 반사된 상기 초음파를 감지하는 단계(S4000); 상기 초음파를 수신하여 송/수신된 각 초음파에 관한 아날로그 신호를 검출하는 단계(S5000); 상기 아날로그 신호를 디지털 신호로 변환하는 단계(S6000); 상기 송/수신된 각 초음파의 발생시간 차이에 관한 상기 디지털 데이터를 통해 상기 전구체(200a)의 수위를 연산하고, 상기 전구체(200a)에 관해 설정된 기준수위 데이터와 비교 처리하는 단계(S7000); 및 상기 기준수위보다 낮은 당해 전구체(200a)의 수위 비교결과가 도출됨에 따라 경고음향을 방출하는 단계(S8000);를 포함하는 것을 특징으로 하는 화학 증착 공정시 용기 내의 전구체 잔존량 진단방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.