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나노프로브를 이용한 기판 위의 나노구조물의 이동 방법

  • 기술번호 : KST2015179317
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 나노프로브(nano-probe)를 이용하여 기판 위에 있는 나노구조물(nano-structure)을 이동시키는 방법에 관한 것으로서, 특히 나노프로브와 나노구조물 사이에 작용하는 정전기력(electrostatic force)을 이용하여 신속하고 정확하며 단 한차례의 작업으로 손쉽게 나노구조물을 목표 지점으로 이동시킬 수 있는 나노프로브를 이용한 나노구조물의 이동 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 이동 방법은 상기 나노프로브에 전압을 인가하는 단계와, 상기 전압이 인가된 나노프로브를 상기 나노구조물 근방으로 이동시켜 상기 나노프로브에 나노구조물을 부착시키는 단계와, 상기 나노구조물이 부착된 나노프로브를 상기 기판 위의 목표 지점으로 이동시키는 단계와, 상기 목표 지점에서 상기 나노프로브에 인가된 전압을 끊어 상기 나노프로브에 부착된 나노구조물을 탈리시키는 단계를 포함한다.
Int. CL B82B 3/00 (2011.01) B82Y 15/00 (2011.01)
CPC B82B 3/0061(2013.01) B82B 3/0061(2013.01)
출원번호/일자 1020040058197 (2004.07.26)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자 10-0592192-0000 (2006.06.15)
공개번호/일자 10-2006-0009563 (2006.02.01) 문서열기
공고번호/일자 (20060626) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2004.07.26)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김달현 대한민국 대전광역시 유성구
2 구자용 대한민국 대전광역시 유성구
3 김한철 대한민국 대전광역시 유성구
4 황찬용 대한민국 서울특별시 강남구
5 이인호 대한민국 대전광역시 유성구
6 김원동 대한민국 서울특별시 관악구
7 박병천 대한민국 대전광역시 유성구
8 이세경 대한민국 대전광역시 유성구
9 김종진 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 최기현 대한민국 서울특별시 구로구 디지털로**길 **, *층 대륙국제특허법률사무소 (구로동, 코오롱디지털타워빌란트Ⅱ)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2004.07.26 수리 (Accepted) 1-1-2004-0330910-60
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2005.09.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2005.10.19 수리 (Accepted) 9-1-2005-0065738-51
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2005.11.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0607014-76
5 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2005.12.06 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2005-0710792-16
6 의견서
Written Opinion		 2005.12.06 수리 (Accepted) 1-1-2005-0710781-14
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2006.02.15 수리 (Accepted) 4-1-2006-5019752-35
8 등록결정서
Decision to grant		 2006.05.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0303572-13
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2014-5004381-25
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
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번호 청구항
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나노프로브(nano-probe)를 이용하여 기판 위의 나노구조물(nano-structure)을 이동시키기 위한 방법으로서,상기 나노프로브에 전압을 인가하는 단계로서, 상기 나노프로브와 상기 나노구조물 사이에 작용하는 정전기력이 상기 기판과 상기 나노구조물 사이에 작용하는 마찰력보다 크게 하는 전압을 상기 나노프로브에 인가하는 단계와,상기 전압이 인가된 나노프로브를 상기 나노구조물 근방으로 이동시켜 상기 나노프로브에 상기 나노구조물을 부착시키는 단계와,상기 나노구조물이 부착된 상기 나노프로브를 상기 기판 위의 목표 지점으로 이동시키는 단계로서, 상기 나노프로브에 부착된 상기 나노구조물을 상기 기판 위에서 끌어 이동시키는 단계와,상기 목표 지점에서 상기 나노프로브에 인가된 전압을 끊어 상기 나노프로브에 부착된 나노구조물을 탈리시키는 단계를 포함하는,나노프로브를 이용한 나노구조물의 이동 방법
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제 2항에 있어서,상기 나노프로브는 SPM(scanning probe microscope)의 탐침인 것을 특징으로 하는,나노프로브를 이용한 나노구조물의 이동 방법
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제 2항에 있어서,상기 나노구조물은 탄소 나노튜브(carbon nanotube)인 것을 특징으로 하는,나노프로브를 이용한 나노구조물의 이동 방법
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제 2항에 있어서,상기 기판은 흑연 기판(graphite substrate)인 것을 특징으로 하는,나노프로브를 이용한 나노구조물의 이동 방법
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제 2항에 있어서,상기 기판은 흑연 기판(graphite substrate)인 것을 특징으로 하는,나노프로브를 이용한 나노구조물의 이동 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.