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측정헤드 탐침의 누름하중 조절 및 계측용 측정시스템

  • 기술번호 : KST2015179324
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 시료의 면 또는 비저항을 측정하는 시스템에 있어서 측정헤드의 누름하중을 쉽게 조절 할 수 있는 구조와 누름하중을 계측 할 수 있는 측정시스템에 관한 것이다. 측정시스템의 구조는 측정헤드를 유도지지구조물에 고정시켜 상하로 작동시키는 동작부와 유도지지구조물에 장착된 측정헤드의 고정 장치로 나누어 볼 수 있는데 기존 시스템의 경우는 측정헤드를 고정시키기 위한 고정 장치의 구조물과 측정헤드의 전체 무게가 측정시의 누름하중으로 동작되는 구조로 되어있다. 4탐침 또는 2탐침 측정방법을 이용한 면 저항 측정시스템은 실리콘 웨이퍼 와 엘시디 패널 등 각종 박막과 금속의 면 저항 측정에 널리 사용되고 있다. 이는 측정헤드의 탐침(tip)이 측정시료의 표면을 누른 상태에서 전기적 방법을 이용하여 시료의 면 저항을 측정하는 원리이다. 그러나 이러한 방법은 10 ㏁/sq 이상의 고저항 물질이나 두께가 얇은 박막의 면 저항을 측정할 때에는 측정헤드의 탐침이 측정시료의 표면에 접촉할 때 접촉저항이 발생하는데 이는 누름하중과 밀접한 관계가 있으며 기존의 방법으로는 정밀측정이 어렵다. 본 발명은 이러한 측정헤드의 누름하중을 측정시료에 따라서 쉽게 조절하여 측정할 수 있도록 하는 것으로 고정 지지물에 도르레를 설치하여 측정헤드의 전체 무게와 평형을 이루도록 반대편에 같은 무게의 추를 연결하는 구조가 주요 특징이다. 즉, 구조물에 고정된 측정헤드의 전체무게가 평형 되었으므로 시료에 따른 면 저항을 측정할 때에는 측정헤드 위에 추의 무게를 선택하여 올려놓고 측정하면 된다. 그리고, 또 한 가지 방법은 하중 측정용 센서를 고정구조물에 부착시키고 측정헤드와 연결하여 측정시 측정헤드의 하중을 조절하는 계측용 측정시스템에 관한 것이다. 면 저항, 측정, 시료, 탐침
Int. CL G01N 27/04 (2006.01)
CPC G01N 27/043(2013.01) G01N 27/043(2013.01) G01N 27/043(2013.01) G01N 27/043(2013.01)
출원번호/일자 1020040085182 (2004.10.25)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자 10-0662736-0000 (2006.12.21)
공개번호/일자 10-2006-0036154 (2006.04.28) 문서열기
공고번호/일자 (20070102) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2004.10.25)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 유광민 대한민국 대전 서구
2 강전홍 대한민국 대전 유성구
3 류제천 대한민국 대전 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 진용석 대한민국 대전광역시 서구 청사로 ***, 청사오피스텔 ***호 세빈 국제특허법률사무소 (둔산동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2004.10.25 수리 (Accepted) 1-1-2004-0486085-65
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2006.05.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0293934-68
3 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2006.07.24 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2006-0524548-53
4 의견서
Written Opinion		 2006.07.24 수리 (Accepted) 1-1-2006-0524549-09
5 등록결정서
Decision to grant		 2006.09.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0545582-89
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2006.12.21 수리 (Accepted) 4-1-2006-5184039-25
7 출원인변경신고서
Applicant change Notification		 2006.12.21 수리 (Accepted) 1-1-2006-0950003-18
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2014-5004381-25
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
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번호 청구항
1 1
시료의 면 또는 비저항을 측정하는 시스템에 있어서, 측정헤드 고정구조물(20)의 상하를 승하강하도록 마련된 측정헤드 유도지지구조물(15)과; 일측은 측정헤드(8)가 장착되며, 타측은 상기 측정헤드 유도지지구조물(15)의 상면에 마련된 누름하중 측정용 센서(19)와 접촉하도록 마련된 측정헤드 고정물(18)과; 상기 측정헤드 고정구조물(20)에 장착된 도르레(17)에 의하여 상기 측정헤드 고정물(18)과 연결된 하중평형용 추(16)를 포함하는 것을 특징으로 하는 측정헤드 탐침의 누름하중 조절 및 계측용 측정시스템
2 1
시료의 면 또는 비저항을 측정하는 시스템에 있어서, 측정헤드 고정구조물(20)의 상하를 승하강하도록 마련된 측정헤드 유도지지구조물(15)과; 일측은 측정헤드(8)가 장착되며, 타측은 상기 측정헤드 유도지지구조물(15)의 상면에 마련된 누름하중 측정용 센서(19)와 접촉하도록 마련된 측정헤드 고정물(18)과; 상기 측정헤드 고정구조물(20)에 장착된 도르레(17)에 의하여 상기 측정헤드 고정물(18)과 연결된 하중평형용 추(16)를 포함하는 것을 특징으로 하는 측정헤드 탐침의 누름하중 조절 및 계측용 측정시스템
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패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.