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센싱영역을 가지며 감광성 폴리머로 이루어진 멤브레인층;상기 멤브레인층 하면에 상기 센싱영역을 정의하는 윈도우를 갖도록 형성되며, 상기 멤브레인층 하면으로부터 순차적으로 적층된 제1 및 제2 감광성 폴리머층으로 이루어진 멤브레인지지층;적어도 일부분이 상기 센싱영역에 위치하도록 상기 멤브레인층 하면에 형성되며, 서로 대향하도록 배열된 복수개의 금속 스트레인 게이지;상기 복수개의 금속 스트레인 게이지에 각각 연결되도록 상기 멤브레인층의 하면에 형성된 제1 금속배선; 및 상기 복수개의 금속 스트레인 게이지에 각각 연결되도록 상기 제1 및 제2 감광성 폴리머층 사이에 형성된 제2 금속배선을 포함하는 촉각센서
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제1항에 있어서,상기 감광성 폴리머 또는 상기 제1 및 제2 감광성 폴리머층은 폴리이미드계열인 것을 특징으로 하는 촉각센서
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제1항에 있어서,상기 센싱영역은 사각형인 것을 특징으로 하는 촉각센서
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제3항에 있어서,상기 복수개의 금속 스트레인 게이지는 4개의 금속 스트레인 게이지이며, 상기 4개의 금속 스트레인 게이지는 상기 센싱영역의 각 변의 중앙에 위치한 것을 특징으로 하는 촉각센서
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제1항에 있어서,상기 복수개의 금속 스트레인 게이지는 니켈을 포함한 합금인 것을 특징으로 하는 촉각센서
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제5항에 있어서,상기 복수개의 금속 스트레인 게이지는 Ni-Cr합금인 것을 특징으로 하는 촉각센서
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제1항에 있어서,상기 제1 및 제2 금속배선 중 적어도 하나는, Cr층과 상기 Cr층 상에 형성된 Au층으로 이루어진 것을 특징으로 하는 촉각센서
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제1항에 있어서,상기 제2 금속배선과 상기 멤브레인층 사이에 위치한 상기 제1 감광성 폴리머층에서 상기 금속 스트레인 게이지와 인접한 단부는 그 단차가 감소되도록 경사진 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 촉각센서
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제1항에 있어서,상기 제2 감광성 폴리머층 상에 형성된 추가적인 감광성 폴리머층을 더 포함하며, 상기 제2 감광성 폴리머층과 상기 추가적인 감광성 폴리머층 사이에 형성된 추가적인 금속배선을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 촉각센서
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10
기판 상에 절연층을 형성하는 단계;상기 절연층 상에 감광성 폴리머를 이용하여 일부영역이 센싱영역으로 정의되는 멤브레인층을 형성하는 단계;상기 멤브레인층 상에 적어도 일부분이 상기 센싱영역에 위치하면서 서로 대향하여 배열되도록 복수개의 금속 스트레인 게이지를 형성하는 단계;상기 복수개의 금속 스트레인 게이지에 각각 연결되도록 상기 멤브레인층 상에 제1 금속배선을 형성하는 단계;상기 멤브레인층 상에 상기 센싱영역이 개방된 윈도우를 갖도록 제1 감광성 폴리머층을 형성하는 단계;상기 복수개의 금속 스트레인 게이지에 각각 연결되도록 상기 제1 감광성 폴리머층 상에 제2 금속배선을 형성하는 단계; 상기 제1 감광성 폴리머층 상에 제2 감광성 폴리머층을 형성함으로써 상기 제1 및 제2 감광성 폴리머층을 포함한 멤브레인지지층을 제공하는 단계: 및,상기 절연층을 제거하여 상기 기판을 분리시키는 단계를 포함하는 촉각센서 제조방법
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제10항에 있어서,상기 감광성 폴리머 또는 상기 제1 및 제2 감광성 폴리머층은 폴리이미드계열인 것을 특징으로 하는 촉각센서 제조방법
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제10항에 있어서,상기 센싱영역은 사각형인 것을 특징으로 하는 촉각센서 제조방법
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제12항에 있어서,상기 복수개의 금속 스트레인 게이지를 형성하는 단계는,상기 센싱영역의 각 변의 중앙에 각각 위치하도록 4개의 금속 스트레인 게이지를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 촉각센서 제조방법
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제10항에 있어서,상기 복수개의 금속 스트레인 게이지는 니켈을 포함한 합금인 것을 특징으로 하는 촉각센서 제조방법
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제14항에 있어서,상기 복수개의 금속 스트레인 게이지는 Ni-Cr합금인 것을 특징으로 하는 촉각센서 제조방법
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제14항에 있어서,상기 제1 및 제2 금속배선 중 적어도 하나는, Cr층과 상기 Cr층 상에 형성된 Au층으로 이루어진 것을 특징으로 하는 촉각센서 제조방법
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제10항에 있어서,상기 제1 금속배선을 형성하는 단계 전에, 상기 제1 금속배선과 상기 멤브레인층의 접착강도가 증가되도록, 상기 멤브레인층의 표면을 플라즈마 처리하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 촉각센서 제조방법
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제10항에 있어서,상기 제1 및 제2 금속배선을 형성하는 단계 중 적어도 한 단계는, 전자빔 증발법 또는 저온증착공정에 의해 실시되는 것을 특징으로 하는 촉각센서 제조방법
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제10항에 있어서,상기 제1 감광성 폴리머층을 형성하는 단계는, 상기 금속 스트레인 게이지와 인접한 단부의 단차가 감소되도록 경사진 형상을 갖도록 상기 제1 감광성 폴리머층을 형성하는 단계인 것을 특징으로 하는 촉각센서 제조방법
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제10항에 있어서,상기 멤브레인 지지층 제공단계와 상기 기판 분리단계 사이에, 상기 제2 감광성 폴리머층 상에 추가적인 금속배선을 형성하는 단계와, 추가적인 감광성 폴리머층을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 촉각센서 제조방법
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제10항에 있어서,상기 제2 금속배선을 형성하는 단계 전에, 상기 제2 금속배선과 상기 제1 감광성 폴리머층의 접착강도가 증가되도록, 상기 제1 감광성 폴리머층의 표면을 플라즈마 처리하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 촉각센서 제조방법
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