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압력용기(120)의 내부에 표준압력계(140, 142)가 설치되어 피교정진공게이지를 교정하기 위한 진공게이지 교정장치에 있어서,상기 압력용기(120)의 내부에 수직으로 설치되고, 복수개의 분동 거치대(138)가 축선을 따라 소정간격으로 형성되며, 하부에 상기 표준압력계(140, 142)가 연결된 분동거치축(134);상기 분동 거치대(138) 사이 마다 설치되고, 복수개의 분동이 한 세트를 이루는 복수의 분동세트;상기 복수의 분동세트를 구성하는 각 분동을 상기 분동 거치대(138)로부터 개별적으로 들어올리거나 상기 분동 거치대(138)에 거치시키도록 하는 승강수단; 및외부 명령에 따라 상기 승강수단의 동작을 제어하는 제어수단으로 이루어지고,상기 분동세트는,1g, 9g, 90g 질량의 분동 3개로 구성된 제 1 분동세트(210);2g, 18g, 180g 질량의 분동 3개로 구성된 제 2 분동세트(220);4g, 36g, 360g 질량의 분동 3개로 구성된 제 3 분동세트(230);8g, 72g, 720g 질량의 분동 3개로 구성된 제 4 분동세트(240);3
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제 1 항에 있어서, 상기 승강수단은,상기 압력용기(120)의 외부에 설치된 서보모터(112);일측이 상기 서보노터(112)와 각각 연결되어 상기 압력용기(120)의 내부로 회전력을 전달하는 로터리 모션 피드쓰루(114);상기 각 로터리 모션 피드쓰루(114)마다 수직으로 연결되어 회전 가능하게 설치된 리드스크류(128);상기 리드스크류(128)와 소정간격으로 이격된 채 평행하게 설치된 이송축(129);상기 리드스크류(128)와 이송축(129)에 공통으로 연결되어 상기 리드스크류(128)의 회전에 따라 상하로 승강하는 이송헤드(130); 및상기 이송헤드(130)로부터 상기 분동세트까지 연장되어 상기 분동을 선별적으로 들어올릴 수 있는 아암(132);으로 구성되는 것을 특징으로 하는 1토르, 10토르, 100토르 겸용 진공게이지 교정장치
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제 4 항에 있어서, 상기 분동거치축(134)은 상기 압력용기(120)의 중앙에 설치되고,상기 리드스크류(128)와 이송축(129)은 상기 분동거치축(134) 둘레에 등간격으로 설치되는 것을 특징으로 하는 1토르, 10토르, 100토르 겸용 진공게이지 교정장치
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제 1 항에 있어서, 상기 각 분동세트(210, 220, 230, 240, 250)내의 3개의 분동은 중력방향에 대해 질량에 따라 내림차순으로 정렬되는 것을 특징으로 하는 것을 특징으로 하는 1토르, 10토르, 100토르 겸용 진공게이지 교정장치
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제 1 항 또는 제 6 항에 있어서,상기 각 분동세트(210, 220, 230, 240, 250)내의 3개의 분동은 중력방향에 대해 직경에 따라 내림차순으로 정렬되는 것을 특징으로 하는 것을 특징으로 하는 1토르, 10토르, 100토르 겸용 진공게이지 교정장치
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제 4 항에 있어서, 상기 서보모터(112)는 스텝모터인 것을 특징으로 하는 1토르, 10토르, 100토르 겸용 진공게이지 교정장치
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제 1 항에 있어서, 상기 승강수단의 최저 및 최고 승강량을 검출하는 검출수단을 더 포함하고,상기 검출수단의 검출신호는 상기 제어수단으로 전송되며, 상기 제어수단은 상기 검출신호에 기초하여 상기 승강수단의 동작을 멈추거나 또는 계속하게 하는 것을 특징으로 하는 1토르, 10토르, 100토르 겸용 진공게이지 교정장치
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제 9 항에 있어서, 상기 검출수단은,승강 최고 높이에 설치된 제 1 리미트 스위치(148);승강 최저 높이에 설치된 제 2 리미트 스위치(150); 및상기 승강수단의 동작과 연동하여 상기 제 1, 2 리미트 스위치(148, 150) 사이를 왕복할 수 있는 지시편(146)으로 구성되는 것을 특징으로 하는 1토르, 10토르, 100토르 겸용 진공게이지 교정장치
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제 1 항에 있어서, 상기 표준압력계는,상기 압력용기(120)내에 고정되고, 일단으로 가스공급수단이 연결되는 실린더(142); 및상부로 상기 분동이 놓여지며, 상기 실린더(142) 내에서 상하로 이송 가능한 피스톤(140);으로 구성되는 것을 특징으로 하는 1토르, 10토르, 100토르 겸용 진공게이지 교정장치
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