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면저항 인증표준물질 제조방법

  • 기술번호 : KST2015179342
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 저항측정 기기의 정확도를 검증하기 위한 면저항 인증표준물질 제조방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 다양한 종류의 면저항 측정기기에서 활용 가능하며 부피가 아주 작아 FPP(Four Point Probe:4탐침)용 정밀기기의 저항측정 정확도의 검증에 적합한 면저항 인증표준물질 제조방법에 관한 것이다.이를 위해 본 발명은 세척된 원형의 절연기판에 서로 이격되게 다수개소의 전극을 인쇄하는 단계와; 인쇄된 전극이 원형의 절연기판에 고착되도록 소성시키는 단계와; 상기 이격되어 인쇄된 두 개소의 전극별로 단부 간에 전기적으로 연결되도록 저항을 인쇄하는 단계와; 상기 인쇄된 저항이 원형의 절연기판상에 고착되도록 소성시키는 단계와; 상기 원형의 절연기판상에 고착된 저항을 레이저로 깍아 저항값을 조정하여 목적하는 저항값을 가지도록 트리밍하는 단계와; 상기 인쇄된 전극과 저항을 외부로부터 보호하기 위한 보호막을 인쇄하되, 저항측정 정확도를 검증하기 위한 측정기기의 측정단자와 전기적으로 연결되도록 전극의 일정부분이 외부로 노출되도록 인쇄하는 단계와; 상기 보호막상에 목적하는 문자 또는 이미지를 마킹하는 단계와; 상기 전극의 일정부분이 외부로 노출되도록 인쇄한 후에 상기 노출되는 전극의 일정부분 상에는 전극의 산화방지 및 측정 신뢰도 향상을 위해 금속도금하는 단계를 포함하여 이루어진다.인증표준물질, CRM, PR공정, 전극, 저항
Int. CL G03F 7/00 (2006.01) G01R 33/00 (2006.01)
CPC G01R 1/07314(2013.01) G01R 1/07314(2013.01) G01R 1/07314(2013.01) G01R 1/07314(2013.01) G01R 1/07314(2013.01) G01R 1/07314(2013.01)
출원번호/일자 1020050090031 (2005.09.27)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자 10-0573931-0000 (2006.04.19)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20060426) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2005.09.27)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 강전홍 대한민국 대전 유성구
2 유광민 대한민국 대전 서구
3 김한준 대한민국 대전 유성구
4 류제천 대한민국 대전 서구
5 한상옥 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 진용석 대한민국 대전광역시 서구 청사로 ***, 청사오피스텔 ***호 세빈 국제특허법률사무소 (둔산동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2005.09.27 수리 (Accepted) 1-1-2005-0542860-71
2 우선심사신청서
Request for Accelerated Examination
2005.09.30 수리 (Accepted) 1-1-2005-0557132-02
3 서지사항보정서
Amendment to Bibliographic items
2005.10.10 수리 (Accepted) 1-1-2005-0571353-14
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2005.10.21 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2005.11.16 수리 (Accepted) 9-1-2005-0073316-30
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2005.12.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0638443-65
7 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2006.02.15 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2006-0112100-16
8 의견서
Written Opinion
2006.02.15 수리 (Accepted) 1-1-2006-0112101-62
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2006.02.15 수리 (Accepted) 4-1-2006-5019752-35
10 등록결정서
Decision to grant
2006.04.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0215707-04
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2014-5004381-25
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
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번호 청구항
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면저항 측정기기의 측정 정확도를 검증하기 위한 인증표준물질을 제조하는 방법에 있어서, 세척된 원형의 절연기판(10)에 서로 이격되게 다수개소의 전극(20)을 인쇄하는 단계(S10)와;인쇄된 전극(20)이 원형의 절연기판(10)에 고착되도록 소성시키는 단계(S20)와;상기 이격되어 인쇄된 두 개소의 전극별로 단부 간에 전기적으로 연결되도록 저항(30)을 인쇄하는 단계(S30)와; 상기 인쇄된 저항(30)이 원형의 절연기판(10)상에 고착되도록 소성시키는 단계(S40)와;상기 원형의 절연기판(10)상에 고착된 저항(30)을 레이저로 깍아 저항값을 조정하여 목적하는 저항값을 가지도록 트리밍하는 단계(S50)와;상기 인쇄된 전극(20)과 저항(30)을 외부로부터 보호하기 위한 보호막(40)을 인쇄하되, 저항측정 정확도를 검증하기 위한 측정기기의 측정단자와 전기적으로 연결되도록 전극(20)의 일정부분이 외부로 노출되도록 인쇄하는 단계(S60)와;상기 보호막(40)상에 목적하는 문자 또는 이미지를 마킹하는 단계(S70)와;상기 전극(20)의 일정부분이 외부로 노출되도록 인쇄한 후에 상기 노출되는 전극(20)의 일정부분 상에는 전극의 산화방지 및 측정 신뢰도 향상을 위해 금속도금하는 단계(S80);를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 면저항 인증표준물질 제조방법
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면저항 측정기기의 측정 정확도를 검증하기 위한 인증표준물질을 제조하는 방법에 있어서, 원형의 절연기판(10)에 저항을 증착하기 위해 포토리지스트 공정을 수행하는 단계(S110)와;포토리지스트 공정을 수행한 원형의 절연기판에 저항(30)을 증착하는 단계(S120)와;포토리지스트를 제거한 후 다시 전극(20)을 증착하기 위해 포토리지스트 공정을 수행하는 단계(S130)와; 상기 포토리지스트 공정을 수행한 원형의 절연기판에 전극(20)을 증착한 뒤 포토리지스트를 제거하는 단계(S140)와;포토리지스트 공정을 수행한 원형의 절연기판에 증착된 저항(30)을 레이저로 깍아 저항값을 조정하여 목적하는 저항값을 가지도록 트리밍하는 단계(S150)와;상기 증착된 전극(20)과 저항(30)을 외부로부터 보호하기 위한 보호막(40)을 인쇄하되, 저항측정 정확도를 검증하기 위한 측정기기의 측정단자와 전기적으로 연결되도록 전극(20)의 일정부분이 외부로 노출되도록 인쇄하는 단계(S160)와;상기 보호막(40)상에 목적하는 문자 또는 이미지를 마킹하는 단계(S170);를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 면저항 인증표준물질 제조방법
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