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화학반응이 일어나는 챔버(25), 상기 챔버(25)와 연결되어 화학물질을 전송하는 파이프(20), 및 상기 파이프(20)로 상기 화학물질을 압송하는 펌프수단(10)으로 구성된 챔버 장치에 있어서,상기 파이프(20)의 외면에 부착되어 소정의 충격파를 발생하는 가진기(30);상기 파이프(20)의 가진기(30)로부터 소정 거리만큼 이격된 곳에 설치되어 상기 가진기(30)에 의한 상기 파이프(20)의 진동을 감지하는 센서(35);상기 센서(35)의 출력신호를 도식적으로 표시하는 신호처리부;로 구성되는 것을 특징으로 하는 화학물질이 유동하는 파이프내의 막힘 예측장치
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제 1 항에 있어서, 상기 신호처리부는,상기 센서(35)로부터 출력되는 신호를 증폭하는 증폭기(40);상기 증폭기(40)에 의해 증폭된 신호중 소정 대역을 통과시키는 필터(42);상기 필터(42)에 의해 출력된 아날로그 신호를 디지털 신호로 변환하는 A/D 변환기(44); 및상기 A/D/변환기(44)에 의해 변환된 디지털 신호를 도식적으로 표시하는 표시부(52)로 구성되는 것을 특징으로 하는 화학물질이 유동하는 파이프내의 막힘 예측장치
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제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 신호처리부에 의해 처리된 신호를 저장하기 위한 저장부(55)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 화학물질이 유동하는 파이프내의 막힘 예측장치
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제 1 항에 있어서, 상기 가진기(30)의 충격파는 임펄스 파인 것을 특징으로 하는 화학물질이 유동하는 파이프내의 막힘 예측장치
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제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 신호처리부는 미리 정해진 사양에 대해 소정치로 가진하여 측정한 기준 데이터로 이루어진 데이터베이스(50)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 화학물질이 유동하는 파이프내의 막힘 예측장치
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제 5 항에 있어서, 상기 기준 데이터는 상기 파이프(20)의 재질, 두께, 내경, 가진 형태, 내부유체종류, 최고값, 세팅타임으로 이루어진 그룹으로부터 선택된 하나 이상의 필드값을 갖는 것을 특징으로 하는 화학물질이 유동하는 파이프내의 막힘 예측장치
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제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 챔버(25)는 화학증착 장비중의 챔버이고, 상기 화학물질은 증착반응에 필요한 증착물질인 것을 특징으로 하는 화학물질이 유동하는 파이프내의 막힘 예측장치
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제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 신호처리부는 상기 센서(35)의 출력신호를 시간기반으로 도시하기 위한 시간기반 표시수단 또는 주파수 기반으로 도시하기 위한 주파수 기반 표시수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 화학물질이 유동하는 파이프내의 막힘 예측장치
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화학반응이 일어나는 챔버(25), 상기 챔버(25)와 연결되어 화학물질을 전송하는 파이프(20), 및 상기 파이프(20)로 상기 화학물질을 압송하는 펌프수단(10)으로 구성된 챔버 장치에 있어서,상기 파이프(20)의 외면에 부착된 가진기(30)가 소정의 충격파를 발생시키는 단계(S10);상기 파이프(20)의 가진기(30)로부터 소정 거리만큼 이격된 곳에 설치된 센서(35)가 상기 가진기(30)에 의한 상기 파이프(20)의 진동을 감지하는 단계(S20);신호처리부가 상기 센서(35)의 출력신호를 소정 방식으로 변환하여 도식적으로 표시하는 단계(S30);로 구성되는 것을 특징으로 하는 화학물질이 유동하는 파이프내의 막힘 예측방법
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제 9 항에 있어서, 상기 표시단계(S30)는,증폭기(40)가 상기 센서(35)로부터 출력되는 신호를 증폭하는 단계(S32);필터(42)가 상기 증폭기(40)에 의해 증폭된 신호중 소정 대역을 통과시키는 단계(S34);A/D 변환기(44)가 상기 필터(42)에 의해 출력된 아날로그 신호를 디지털 신호로 변환하는 단계(S35); 및표시부(52)가 상기 A/D 변환기(44)에 의해 변환된 디지털 신호를 도식적으로 표시하는 단계(S37)로 구성되는 것을 특징으로 하는 화학물질이 유동하는 파이프내의 막힘 예측방법
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제 10 항에 있어서, 상기 도식적 표시단계(S37)는,미리 정해진 사양에 대해 소정치로 가진하여 측정한 복수의 기준 데이터로 이루어진 데이터베이스(50)로부터 가장 근접한 데이터를 검색하는 단계(S38); 및상기 A/D 변환기(44)에 의한 디지털 신호와 상기 검색된 기준 데이터를 함께 표시하는 단계(S39);를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 화학물질이 유동하는 파이프내의 막힘 예측방법
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