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내부에 소정의 진공이 형성된 진공용기(10);상기 진공용기(10) 내에 구비되는 금속 시편(62);상기 진공용기(10)의 투시창에 밀착되어 상기 진공용기(10) 내부의 상기 시편(62)을 향해 적외선(60)을 조사하는 적외선 조사수단;상기 시편(62)으로부터 반사되는 적외선(60)을 영상으로 촬영하기 위한 적외선 카메라(40);상기 적외선 카메라(40)가 촬영한 영상에 기초하여 상기 진공용기(10) 내의 압력변화에 따른 상기 시편의 온도변화를 산출하는 온도 산출수단; 및상기 온도 산출수단에 의해 산출된 온도변화에 기초하여 상기 진공용기(10) 내의 압력을 산출하는 압력 산출수단;으로 구성되는 것을 특징으로 하는 적외선 카메라를 이용한 진공용기의 압력 측정장치
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제 1 항에 있어서, 상기 적외선 조사수단은 상기 적외선 카메라(40)내에 내장되는 것을 특징으로 하는 적외선 카메라를 이용한 진공용기의 압력 측정장치
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제 2 항에 있어서, 상기 적외선 카메라(40)는 상기 진공용기(10)의 투시창에 밀착되거나 분리될 수 있는 것을 특징으로 하는 적외선 카메라를 이용한 진공용기의 압력 측정장치
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제 1 항에 있어서, 상기 진공용기(10)에는 상기 진공용기(10) 내의 온도를 측정하기 위한 온도계(55)가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 적외선 카메라를 이용한 진공용기의 압력 측정장치
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제 1 항에 있어서, 상기 진공용기(10)에는 저진공의 압력을 측정하기 위한 용량형 게이지(35)가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 적외선 카메라를 이용한 진공용기의 압력 측정장치
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진공용기(10)의 내부에 소정 진공압력을 형성하는 단계(S10);상기 진공용기(10)의 투시창에 적외선 카메라(40)를 밀착시켜 상기 진공용기(10) 내의 시편(62)으로 적외선(60)을 조사하는 단계(S20);상기 적외선 카메라(40)를 이용하여 상기 시편(62)에서 반사되는 적외선을 촬영하는 단계(S30);촬영된 적외선 영상으로부터 상기 진공용기(10)내의 압력변화에 따른 상기 시편의 온도변화를 산출하는 단계(S40);상기 온도 산출단계(S40)로부터 상기 진공용기(10)의 압력을 산출하는 단계(S50);로 구성되는 것을 특징으로 하는 적외선 카메라를 이용한 진공용기의 압력 측정방법
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제 6 항에 있어서, 상기 압력 산출단계(S50)에서 산출된 압력을 표시장치(46)에 표시하는 단계(S60)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 적외선 카메라를 이용한 진공용기의 압력 측정방법
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제 6 항 또는 제 7 항에 있어서,상기 진공용기(10) 내의 소정 진공압력은 1 Pa 이상인 것을 특징으로 하는 적외선 카메라를 이용한 진공용기의 압력 측정방법
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