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스핀-코팅을 이용한 기판위의 SAM 코팅방법 및 그 코팅기판

  • 기술번호 : KST2015179358
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 기판위에 SAM(Self-Assembled Monolayers, 이하 "SAM"이라 함)을 코팅하는 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 스핀-코팅을 이용한 기판위의 SAM 코팅방법 및 그 코팅기판에 관한 것이다. 이를 위해, 기판(14)위에 소정 형상으로 이루어진 마스크(30)를 형성하는 단계(S10); 기판(14)을 회전시키면서 SAM 용액(35)을 주입하여 스핀-코팅하는 단계(S20); 기판(14)상의 마스크(30)를 제거하는 단계(S30);로 구성되는 것을 특징으로 하는 스핀-코팅을 이용한 기판위의 SAM 코팅방법이 제공된다.스핀-코팅, 기판, SAM, 마스크, 주입, 박막, 유기물질, 접착
Int. CL H01L 21/027 (2006.01)
CPC G03F 7/165(2013.01) G03F 7/165(2013.01) G03F 7/165(2013.01) G03F 7/165(2013.01)
출원번호/일자 1020060006565 (2006.01.21)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자 10-0745171-0000 (2007.07.26)
공개번호/일자 10-2007-0076979 (2007.07.25) 문서열기
공고번호/일자 (20070801) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2006.01.21)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 구자용 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 손은진 대한민국 서울특별시 강남구 삼성로**길*, *층(대치동 삼성빌딩)(특허법인 아이퍼스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2006.01.21 수리 (Accepted) 1-1-2006-0047079-30
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2006.02.15 수리 (Accepted) 4-1-2006-5019752-35
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2007.01.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0027558-11
4 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 2007.03.19 수리 (Accepted) 1-1-2007-0218566-65
5 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2007.04.18 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2007-0294699-99
6 의견서
Written Opinion		 2007.04.18 수리 (Accepted) 1-1-2007-0294621-49
7 등록결정서
Decision to grant		 2007.07.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0387665-42
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2014-5004381-25
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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기판(14)위에 소정 형상으로 이루어진 마스크(30)를 포토리소그래피에 의해 형성하는 단계(S10);상기 기판(14)을 1,500 ~ 6,000 rpm 범위로 회전시키면서 SAM 물질을 유기용매에 녹인 SAM 용액(35)을 주입하여 상기 SAM 용액(35)의 두께가 상기 마스크(30)의 두께 보다 낮아지도록 하는, 정적 디스펜스 방식으로 스핀-코팅하는 단계(S20); 및상기 기판(14)상의 상기 마스크(30)를 용제로 세척하여 제거함으로써 단일 분자층의 SAM막을 성막하는 단계(S30);로 구성되는 것을 특징으로 하는 스핀-코팅을 이용한 기판위의 SAM 코팅방법
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제 1 항에 의한 SAM 코팅방법에 의해 제조되는 것을 특징으로 하는 SAM 코팅기판
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.