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화학 증착 공정시 용기 내의 전구체 잔존량 진단장치 및진단방법

  • 기술번호 : KST2015179361
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 화학증착 공정 중 용기 내 잔존하는 전구체의 수위를 초음파의 송/수신을 통해 감지하되 일정시간 지연시켜 필터링 및 노이즈를 제거토록 함으로서 보다 정확한 잔존량을 체크할 수 있도록 하는 것을 특징으로 하는 화학 증착 공정시 용기 내의 전구체 잔존량 진단장치 및 진단방법에 관한 것으로,전구체(200a)의 수면을 향해 상기 초음파를 송신하고 상기 수면으로부터 반사된 초음파를 일정시간 지연시켜 수신하는 초음파 센서장치(410)와; 문턱 전압을 최대 진폭의 절반정도로 조절하여 문턱전압을 넘어서지 않은 값들은 필터링에 의해 제거토록 하며, 필터링된 데이터와 이미 설정되어 있는 기준수위를 비교하여 수위가 기준이하일 경우 알람출력신호를 인가하는 초음파 제어부(410)를 포함하여 구성함이 특징이며;반도체 제조공정 중 웨이퍼의 화학 증착 공정에서 초음파를 지연시킨 상태에서 수신토록 하여 노이즈를 제거하고 아울러 문턱전압 이상의 전압만을 체크하여 보다 정확한 전구체의 수위를 실시간으로 측정함으로서 전구체의 고갈로 인한 피해를 사전에 방지함으로써 제품 불량율을 현저하게 감소시킬 수 있는 효과가 있다.화학증착, 용기, 전구체, 잔존량, 진단
Int. CL H01L 21/205 (2006.01) H01L 21/02 (2006.01)
CPC H01L 22/30(2013.01) H01L 22/30(2013.01) H01L 22/30(2013.01) H01L 22/30(2013.01) H01L 22/30(2013.01) H01L 22/30(2013.01)
출원번호/일자 1020060041113 (2006.05.08)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자 10-0778384-0000 (2007.11.15)
공개번호/일자 10-2007-0108727 (2007.11.13) 문서열기
공고번호/일자 (20071122) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2006.05.08)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 윤주영 대한민국 서울 양천구
2 신용현 대한민국 대전 유성구
3 정광화 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 손은진 대한민국 서울특별시 강남구 삼성로**길*, *층(대치동 삼성빌딩)(특허법인 아이퍼스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2006.05.08 수리 (Accepted) 1-1-2006-0321378-37
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2007.04.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0230792-06
3 의견서
Written Opinion		 2007.06.25 수리 (Accepted) 1-1-2007-0461256-50
4 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2007.06.25 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2007-0461274-72
5 등록결정서
Decision to grant		 2007.10.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0545203-35
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2014-5004381-25
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
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번호 청구항
1 1
삭제
2 2
운반기체(100a)가 담긴 봄베(100);상기 운반기체(100a)가 흐를 수 있도록 일측이 상기 봄베(100)에 배관된 제 1파이프(110);액상의 전구체(200a)가 담기고, 상기 운반기체(100a)가 상기 전구체(200a)를 버블링하여 기화하도록 상기 제 1파이프(110)의 타측이 상기 전구체(200a)에 수장되어 배관되는 용기(200);일측이 상기 전구체(200a)의 수면 위에 배치되게 상기 용기(200)에 배관되어 상기 전구체(200a) 및 운반기체(100a)가 이송되는 제 2파이프(210);상기 제 2파이프(210)의 타측이 배관되고 내포된 웨이퍼(300a)에 대해 상기 전구체(200a)로 화학 증착 공정이 수행되는 반응기(300);전구체(200a)의 수면을 향해 상기 초음파를 송신하고 상기 수면으로부터 반사된 초음파를 일정시간 지연시켜 수신하는 초음파 센서장치(410)와;문턱 전압을 최대 진폭의 절반정도로 조절하여 문턱전압을 넘어서지 않은 값들은 필터링에 의해 제거하고, 필터링된 데이터와 이미 설정되어 있는 기준수위를 비교하여 수위가 기준이하일 경우 알람출력신호를 인가하며, 시간당 수위변화가 일정수준 이상 급격히 변화시 알람을 제외하는 초음파 제어부(410)와;상기 초음파 센서장치는, 용기내의 수면을 맞고 돌아오는 음파중 일정시간 지연시켜 필터링후 신호를 수신하는 초음파 수신부(411)와;상기 초음파 수신부가 일정시간 지연후 수신한 해당 음파의 신호를 증폭처리하는 수신증폭부(412)와;상기 수신증폭부를 통해 입력한 수신음파를 기준신호와 비교하여 기준신호보다 높으면 디지털 신호로 변환하는 비교부(413)와;초음파 제어부의 제어에 따라 음파를 발사하기 위한 주파수를 발생하는 송신부(414)로 이루어짐을 특징으로 하는 화학 증착 공정시 용기 내의 전구체 잔존량 진단장치
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화학 증착 공정에 있어서,액상의 전구체(200a)를 버블링하여 기화하는 단계(S1000);상기 전구체(200a)로 웨이퍼(300a)를 화학 증착하는 단계(S2000);용기(200)의 하부에 부착된 초음파 센서(410)에서 펄스상의 초음파를 전구체(200a)의 수면을 향해 방출하는 단계(S3000);일정시간 수신타임을 지연시키도록 하여 서스용기 두께에 해당하는 데이터를 제거하면서 초음파를 수신하는 단계(S4000);수신된 데이터 중에서 기준전압에 미치지 못하는 노이즈를 제거하는 단계(S5000);노이즈를 제거하고 난후 연산된 전구체의 수위 데이터와 이미 설정되어 있는 기준수위를 비교하는 단계(S6000);전구체(200a)의 수위가 상기 기준수위보다 낮다면 알람을 출력하고, 높다면 증착공정을 계속 진행할 수 있는 상태이므로 웨이퍼(300a)에 대한 증착 공정은 계속 진행하며, 시간당 순위변화가 일정수준 이상 급격히 변화시에는 알람을 제외하고, 초음파 센서(410)는 다시 초음파를 상기 전구체(200a)의 수면을 향해 방출하며, 상기의 초음파 제어부(420)를 통한 판별까지의 단계를 반복하는 단계(S7000)로 이루어짐을 특징으로 하는 화학 증착 공정시 용기 내의 전구체 잔존량 진단방법
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패밀리정보가 없습니다
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