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탄소나노튜브의 전계효과를 이용한 압력센서

  • 기술번호 : KST2015179365
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 탄소나노튜브를 이용한 이온 게이지에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 탄소나노튜브의 전계효과를 이용한 압력센서에 관한 것이다. 이를 위해, 금속층(31) 상에 형성된 탄소나노튜브(35) 어레이; 탄소나노튜브(35) 어레이의 상부에 위치하는 제 1 그리드(32); 제 1 그리드(32)의 상부에 소정거리만큼 이격된채 위치하는 제 2 그리드(33); 및 직사각형 폐루프 형태의 제 2 그리드(33)에 의해 감싸지는 구성을 취하는 와이어 형태의 콜렉터(40);로 구성되어, 탄소나노튜브(35)로부터 방출되는 전자가 가스분자(16)와 충돌하여 이온화(14)하고, 이온화된 양이온(19)을 콜렉터(40)가 검출하여 전기신호로 출력한다.탄소나노튜브, 압력센서, 진공, 전자, 콜렉터, 그리드, 양이온, 이온화, 이온게이지
Int. CL G01L 21/30 (2011.01) G01L 21/00 (2011.01) B82Y 15/00 (2011.01) B82Y 25/00 (2011.01)
CPC
출원번호/일자 1020060033812 (2006.04.14)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자 10-0844513-0000 (2008.07.01)
공개번호/일자 10-2007-0102107 (2007.10.18) 문서열기
공고번호/일자 (20080708) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2006.04.14)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최인묵 대한민국 대전 유성구
2 우삼용 대한민국 대전 유성구
3 김부식 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 손은진 대한민국 서울특별시 강남구 삼성로**길*, *층(대치동 삼성빌딩)(특허법인 아이퍼스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2006.04.14 수리 (Accepted) 1-1-2006-0258619-89
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2006.11.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2006.12.05 수리 (Accepted) 9-1-2006-0080045-61
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2007.05.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0289800-44
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2007.07.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2007-0546820-17
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2007.07.27 수리 (Accepted) 1-1-2007-0546811-17
7 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2007.11.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0651112-98
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2008.01.30 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2008-0077629-69
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2008.01.30 수리 (Accepted) 1-1-2008-0077630-16
10 등록결정서
Decision to grant
2008.05.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0297645-30
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2014-5004381-25
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
금속층(31) 상에 형성된 탄소나노튜브(35) 어레이;상기 탄소나노튜브(35) 어레이의 상부에 위치하는 제 1 그리드(32);상기 제 1 그리드(32)와 밑면 사이의 거리가 1 mm 되도록 위치하여, 콜렉터(40)를 감싸는 구성을 갖는 직사각형 폐루프 형태의 제 2 그리드(33); 및상기 제 2 그리드(33)가 감싸는 폐루프 영역의 중앙에 한개 혹은 두개의 대칭형태로 위치하는 콜렉터(40);로 구성되어,상기 탄소나노튜브(35)로부터 방출되는 전자가 가스분자(16)와 충돌하여 이온화(14)하고, 이온화된 양이온(19)을 상기 콜렉터(40)가 검출하여 전기신호로 출력하는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브의 전계효과를 이용한 압력센서
2 2
제 1 항에 있어서,상기 제 1 그리드(32), 제 2 그리드(33) 및 콜렉터(40)에 각각 인가되는 제 1 그리드(32)의 전압(Vg), 제 2 그리드(33)의 전압(Vg') 및 콜렉터(40)의 전압(Vc)은 Vc < Vg < Vg'의 전압 크기 관계가 성립하는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브의 전계효과를 이용한 압력센서
3 3
제 1 항에 있어서,상기 콜렉터(40)는 메쉬 혹은 와이어 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브의 전계효과를 이용한 압력센서
4 4
제 1 항에 있어서,상기 콜렉터(40)는 와이어 형태로 그대로 구성되고, 제 2 그리드(33)가 콜렉터(40)를 감싸는 형태의 일체형이 아닌 서로 분리된 두개의 독립적인 평판 그리드로 대체되어 그 사이에 콜렉터(40)가 위치되는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브의 전계효과를 이용한 압력센서
5 5
제 4 항에 있어서, 상기 두개의 독립적인 평판 그리드에는 상이한 전압이 인가되는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브의 전계효과를 이용한 압력센서
지정국 정보가 없습니다
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US07564246 US 미국 FAMILY
2 US20090072836 US 미국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US2009072836 US 미국 DOCDBFAMILY
2 US7564246 US 미국 DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.