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내부가 격판(235)에 의해 압력용기(210)와 배출용기(220)로 구획되고, 상기 격판(235)에 오리피스(230)가 형성된 진공용기(200);상기 진공용기(200)중 상기 압력용기(210)측에 부착되고, 진공시 방출가스를 방출하는 이온게이지(100);상기 진공용기(200)중 상기 압력용기(210)측에 부착되어 상기 잔류가스의 조성과 압력을 측정하는 잔류가스 분석기(240);상기 진공용기(200)중 상기 배출용기(220)의 일측에 위치하여 내부 가스를 배출하는 펌프수단; 및상기 진공용기(200)에 부착되어 상기 진공용기(200)를 소정 온도로 가열하는 가열수단;을 포함하는 것을 특징으로 하는 잔류기체분석기에 의한 이온게이지의 방출기체 조성과 압력 측정장치
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제 1 항에 있어서, 상기 이온게이지(100)는 복수개의 이온게이지(100a, 100b)이고, 각각 개별적으로 켜지고 꺼질 수 있는 것을 특징으로 하는 잔류기체분석기에 의한 이온게이지의 방출기체 조성과 압력 측정장치
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제 1 항에 있어서, 상기 가열수단은 전열 히터이고, 상기 진공용기(200)가 150 ℃ ~ 250 ℃ 범위가 되도록 가열하는 것을 특징으로 하는 잔류기체분석기에 의한 이온게이지의 방출기체 조성과 압력 측정장치
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제 1 항에 있어서,상기 펌프수단은,상기 배출용기(220)측에 연결되는 터보분자펌프(260); 및상기 터보분자펌프(260)에 직렬로 연결되는 로터리 펌프(280)인 것을 특징으로 하는 잔류기체분석기에 의한 이온게이지의 방출기체 조성과 압력 측정장치
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제 4 항에 있어서,상기 터보분자펌프(260)는 상기 진공용기(200)의 내부압력을 1×10-5 Pa 이하까지 유지할 수 있고, 그리고상기 로터리 펌프(280)는 상기 진공용기(200)의 내부압력을 1 Pa 이하까지 유지할 수 있는 용량인 것을 특징으로 하는 잔류기체분석기에 의한 이온게이지의 방출기체 조성과 압력 측정장치
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제 1 항에 있어서,상기 진공용기(200)의 직경이 250 mm 일 때, 상기 오리피스(230)의 내경은 10 mm의 비율인 것을 특징으로 하는 잔류기체분석기에 의한 이온게이지의 방출기체 조성과 압력 측정장치
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제 1 항에 있어서,상기 진공용기(200)의 내부는 상부에 압력용기(210)가 위치하고, 하부에 배출용기(220)가 위치하도록 구획된 것을 특징으로 하는 잔류기체분석기에 의한 이온게이지의 방출기체 조성과 압력 측정장치
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제 1 항에 있어서, 상기 진공용기(200)는 스테인레스 재질인 것을 특징으로 하는 잔류기체분석기에 의한 이온게이지의 방출기체 조성과 압력 측정장치
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제 1 항 내지 제 8 항중 어느 한항에 있어서, 상기 이온게이지는 열음극 이온게이지인 것을 특징으로 하는 잔류기체분석기에 의한 이온게이지의 방출기체 조성과 압력 측정장치
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내부가 격판(235)에 의해 압력용기(210)와 배출용기(220)로 구획되고, 상기 격판(235)에 오리피스(230)가 형성된 진공용기(200)를 펌프수단으로 배기하여 도달진공도가 1×10-5 Pa 이하가 되도록 하는 초기단계(S100);상기 진공용기(200)에 부착된 가열수단을 이용하여 상기 진공용기(200)를 200℃까지 가열하여 수분과 오염물을 제거하는 단계(S110);상기 진공용기(200)를 상온까지 냉각하여 도달진공도가 1×10-7 Pa 이하가 되도록 하는 단계(S120);상기 진공용기(200)중 상기 압력용기(210)측에 부착된 잔류가스 분석기(240)를 켜서 상기 압력용기(210) 내부의 가스 조성과 압력을 측정하는 단계(S130);상기 진공용기(200)중 상기 압력용기(210)측에 부착된 이온 게이지(100)를 켜서 상기 이온 게이지(100)로부터 가스를 방출시키는 단계(S140);상기 잔류가스 분석기(240)를 이용하여 상기 방출가스의 조성과 압력을 측정하는 측정단계(S150);를 포함하는 것을 특징으로 하는 잔류기체분석기에 의한 이온게이지의 방출기체 조성과 압력 측정방법
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제 10 항에 있어서, 상기 초기단계(S100) 내지 상기 측정단계(S150)는 소정 횟수만큼 반복되어 측정되는 것을 특징으로 하는 잔류기체분석기에 의한 이온게이지의 방출기체 조성과 압력 측정방법
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