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다중주성분분석 기반의 통계기법을 이용한 진공펌프 상태진단방법

  • 기술번호 : KST2015179401
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 다중주성분분석(Multiway Principal Component Analysis)이나 동적시간 왜곡 알고리즘(Dynamic Time Warping Algorithm) 기법 등에 의해 다수의 센서의 신호로부터 진공펌프 상태에 대한 T2값을 계산하고, 진공펌프가 정상동작범위에 있는 동안 얻어진 T2값을 기준으로 하여 진공펌프로부터 측정되는 T2값과의 대비를 통해 진공펌프의 이상징후를 확인 표시함으로써 가혹한 운전조건과 비선형적 특성으로 인하여 반도체 공정에 사용되는 진공펌프의 고장 시점을 정확히 예측해 내기가 어려워 불량품이 양산되거나 불필요한 재원이 낭비되는 등의 문제가 발생하던 종래와는 달리 진공펌프의 운전상태를 올바르게 모니터링하고 고장 지점을 정확히 인지해 적절한 진공펌프의 교체시점을 알려줄 수 있다.진공펌프, 배치, 다중주성분분석, 동적시간 왜곡 알고리즘, 통계적 거리.
Int. CL H01L 21/00 (2006.01) H01L 21/02 (2006.01)
CPC H01L 21/67242(2013.01) H01L 21/67242(2013.01)
출원번호/일자 1020060133452 (2006.12.26)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자 10-0765335-0000 (2007.10.02)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20071009) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2006.12.26)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이수갑 대한민국 서울 서초구
2 정완섭 대한민국 대전 유성구
3 임종연 대한민국 대전 유성구
4 신용현 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박만순 대한민국 서울특별시 서초구 사임당로 **, **층 (서초동, 신영빌딩)(특허법인세원)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2006.12.26 수리 (Accepted) 1-1-2006-0959323-78
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2007.07.05 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2007.08.10 수리 (Accepted) 9-1-2007-0046706-80
4 등록결정서
Decision to grant		 2007.09.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0523436-51
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2014-5004381-25
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
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번호 청구항
1 1
다수의 센서로부터 정상동작범위에 있는 진공펌프의 상태에 대한 신호를 받아 다중주성분분석(Multiway Principal Component Analysis) 기반의 다변량 통계기법을 이용하여 T2값을 계산하고, 이 T2값을 진공펌프의 이상징후를 판단하기 위한 기준이 되는 UCL로 선정하는 제1단계;상기 다수의 센서로부터 정상동작범위 이후에 있는 진공펌프의 상태에 대한 신호를 받아 다중주성분분석(Multiway Principal Component Analysis) 기반의 다변량 통계기법을 이용하여 T2값을 계산하는 제2단계; 및상기 제1단계에서 기준으로 선정된 UCL과 제2단계에서 얻어진 T2값을 대비하여 진공펌프의 이상징후 여부를 알려주는 제3단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 다중주성분분석 기반의 통계기법을 이용한 진공펌프 상태 진단방법
2 2
제1항에 있어서,상기 다수의 센서는 흡기 압력센서, 가압펌프 가속도 센서, 3개의 건식 펌프 가속도 센서, 음향센서, 배기 압력센서, 가압펌프 전류센서 건식펌프 전류센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 다중주성분분석 기반의 통계기법을 이용한 진공펌프 상태 진단방법
3 3
제1항에 있어서,상기 T2값은, 상기 다수의 센서에 의해 얻어지는 진공펌프 상태에 대한 신호들 중 실제로 반도체 제조공정이 진행되는 구간에서 얻어지는 신호들을 추출하여 배치 데이터(batch date)로 저장하는 배치 생성과정;상기 배치 데이터를 동적시간 왜곡 알고리즘(Dynamic Time Warping Algorithm) 기법을 이용하여 동일한 길이로 조절하는 동적시간 왜곡 알고리즘(Dynamic Time Warping Algorithm) 과정;상기 배치 데이터에서 배치 데이터의 평균값을 빼주는 형식으로 평균지점을 일괄적으로 맞춰주는 센터링 과정과 배치 데이터를 표준편차로 나눠주는 스케일링 과정을 통해 배치 데이터의 조건을 동일하게 맞춘 후 상기 배치 데이터로부터 주성분(tscore)과 주 좌표 벡터(Ploading) 및 T2을 구하는 다중주성분분석(Multiway Principal Component Analysis) 과정; 및 Smoothing Technique 기법에 의해 배치 데이터 중 다수의 추세를 벗어나 특이한 경향을 보이는 배치 데이터를 제거하는 이상점 제거(Purging Outliers) 과정;을 통해 얻어지는 것을 특징으로 하는 다중주성분분석 기반의 통계기법을 이용한 진공펌프 상태 진단방법
4 4
제3항에 있어서, 상기 배치 길이의 조절은, 축적 거리를 구하고 나서 로컬-글로벌 제약에 따라 최적경로(Optimal Path)를 선정하고 이를 기반한 평균화과정을 통해 배치 길이를 동일하게 조절하는 것을 특징으로 하는 다중주성분분석 기반의 통계기법을 이용한 진공펌프 상태 진단방법
5 5
제1항에 있어서,상기 제1단계에서 진공펌프의 이상징후를 확인하기 위한 기준이 되는 UCL을 선정하기 위한 T2값은 진공펌프가 교체될 때마다 계산되는 것을 특징으로 하는 다중주성분분석 기반의 통계기법을 이용한 진공펌프 상태 진단방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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