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입자 측정 시스템 및 이를 사용한 입자 측정 방법
- 기술번호 : KST2015179404
- 담당센터 : 대전기술혁신센터
- 전화번호 : 042-610-2279
| 요약 | 입자 측정 시스템을 제공한다. 이 측정 시스템은 입사광을 방출시키기 위한 광 방출부, 광 방출부로부터 방출된 입사광을 제 1 방향 성분으로 편광시키는 제 1 편광부, 제 1 편광부에 의해 편광된 제 1 방향 성분의 입사광을 1차원 광으로 변환시키는 광 변환부, 1차원 광과 입자의 충돌에 의해 생성된 산란광의 제 1 방향 성분만을 통과시키는 제 2 편광부 및 제 2 편광부에 의해 통과된 제 1 방향 성분의 산란광을 검출하기 위한 광 검출부를 포함한다. 플라즈마, 입자, 레이저, 산란, 2차원 |
|---|---|
| Int. CL | G01N 15/02 (2006.01) G01N 21/47 (2006.01) H01L 21/66 (2006.01) |
| CPC | G01N 15/0205(2013.01) G01N 15/0205(2013.01) G01N 15/0205(2013.01) |
| 출원번호/일자 | 1020070024115 (2007.03.12) |
| 출원인 | 한국표준과학연구원 |
| 등록번호/일자 | 10-0929868-0000 (2009.11.26) |
| 공개번호/일자 | 10-2008-0083485 (2008.09.18) 문서열기 |
| 공고번호/일자 | (20091204) 문서열기 |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 소멸 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | Y (2007.03.16) |
| 심사청구항수 | 36 |
출원인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 한국표준과학연구원 | 대한민국 | 대전 유성구 |
발명자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 최원호 | 대한민국 | 대전 유성구 |
| 2 | 선창래 | 대한민국 | 전남 고흥군 |
| 3 | 채길병 | 대한민국 | 서울 동대문구 |
대리인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 이평우 | 대한민국 | 서울특별시 강남구 테헤란로 **길 **-*(역삼동, IT빌딩 *층)(특허법인 누리) |
최종권리자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 한국표준과학연구원 | 대한민국 | 대전 유성구 |
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 특허출원서 Patent Application |
2007.03.12 | 수리 (Accepted) | 1-1-2007-0199250-52 |
| 2 | 출원심사청구서 Request for Examination |
2007.03.16 | 수리 (Accepted) | 1-1-2007-0211913-08 |
| 3 | 선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search |
2008.01.14 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 4 | 선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search |
2008.02.13 | 수리 (Accepted) | 9-1-2008-0006601-03 |
| 5 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2008.02.27 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2008-0105248-15 |
| 6 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2008.04.25 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0298978-50 |
| 7 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2008.04.25 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2008-0298977-15 |
| 8 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2008.08.28 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2008-0451461-16 |
| 9 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2008.10.10 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0708312-25 |
| 10 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2008.10.10 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2008-0708311-80 |
| 11 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2009.03.23 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2009-0125233-34 |
| 12 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2009.05.12 | 수리 (Accepted) | 1-1-2009-0284109-74 |
| 13 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2009.05.12 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2009-0284120-77 |
| 14 | [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서 [Appointment of Agent] Report on Agent (Representative) |
2009.07.14 | 수리 (Accepted) | 1-1-2009-0426344-84 |
| 15 | 등록결정서 Decision to grant |
2009.09.28 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2009-0401020-13 |
| 16 | [대리인해임]대리인(대표자)에 관한 신고서 [Dismissal of Sub-agent] Report on Agent (Representative) |
2009.10.14 | 수리 (Accepted) | 1-1-2009-0628730-87 |
| 17 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.01.09 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5004381-25 |
| 18 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2018.12.27 | 수리 (Accepted) | 4-1-2018-5266640-72 |
| 19 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2018.12.27 | 수리 (Accepted) | 4-1-2018-5266627-88 |
| 20 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2018.12.27 | 수리 (Accepted) | 4-1-2018-5266645-00 |
| 번호 | 청구항 |
|---|---|
| 1 |
1 입자를 포함하는 플라즈마 챔버; 입사광을 방출시키기 위한 광 방출부; 상기 광 방출부로부터 방출된 상기 입사광을 제 1 방향 성분으로 편광시키는 제 1 편광부; 상기 제 1 편광부에 의해 편광된 제 1 방향 성분의 입사광을 1차원 광으로 변환시키는 광 변환부; 상기 1차원 광과 상기 입자의 충돌에 의해 생성된 산란광의 상기 제 1 방향 성분만을 통과시키는 제 2 편광부; 및 상기 제 2 편광부에 의해 통과된 상기 제 1 방향 성분의 산란광을 검출하기 위한 광 검출부를 포함하되, 상기 광 변환부는 한 쌍의 구면 거울 또는 원통형 렌즈이고, 상기 광 검출부는 상기 1차원 광에 의하여 상기 플라즈마 챔버 내에서 정의되는 2차원면에서 산란되는 광을 검출하고, 상기 제1 편광부와 상기 제2 편광부는 서로 연동되어 상기 제1 방향 편광 성분을 변경시키어 서로 다른 상기 제1 방향 편광 성분의 비를 이용하여 상기 입자 크기 및 분포를 2차원적으로 추출하는 것을 특징으로 하는 입자 측정 시스템 |
| 2 |
2 제 1항에 있어서, 상기 입사광은 레이저 광인 것을 특징으로 하는 입자 측정 시스템 |
| 3 |
3 제 1항에 있어서, 상기 광 방출부는 레이저 광 방출 장치인 것을 특징으로 하는 입자 측정 시스템 |
| 4 |
4 제 2항에 있어서, 상기 광 방출부는 루비 레이저, 큐-스위치 엔디야그 레이저, 이알글라스 레이저, 헬륨-네온 레이저, 네온 이온 레이저, 아르곤 이온 레이저, 크립톤 이온 레이저, 크세논 이온 레이저, 불소 엑시머 레이저, 아르곤 플루오라이드 엑시머 레이저, 크립톤 플루오라이드 엑시머 레이저, 크립톤 클로라이드 엑시머 레이저, 크세논 플루오라이드 엑시머 레이저, 크세논 클로라이드 엑시머 레이저, 금 증기 레이저, 구리 증기 레이저, 질소 레이저, 헬륨-카드뮴 레이저, 갈륨 알루미늄 아세나이드 레이저 및 갈륨 아세나이드 레이저 중에서 선택된 하나인 것을 특징으로 하는 입자 측정 시스템 |
| 5 |
5 제 1항에 있어서, 상기 제 1 편광부는 제 1 방향 성분 편광판 또는 제 1 방향 성분에 직교하는 제 2 방향 성분 편광판인 것을 특징으로 하는 입자 측정 시스템 |
| 6 |
6 제 1항에 있어서, 상기 제 1 편광부는 하프 람다 플레이트인 것을 특징으로 하는 입자 측정 시스템 |
| 7 |
7 제 5항에 있어서, 상기 제 1 편광부는 상기 제 1 방향 성분 편광판 및 상기 제 2 방향 성분 편광판을 포함하고, 상기 제 1 편광부의 방향 성분을 선택하기 위해 상기 광 방출부와 상기 제 1 편광부 사이에 제공되는 초퍼를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 입자 측정 시스템 |
| 8 |
8 제 1항에 있어서, 상기 입사광이 편광된 광이고, 상기 편광된 광을 서로 직교하는 2개의 방향 성분으로 분산시키기 위해 상기 광 방출부와 상기 제 1 편광부 사이에 제공된 편광 분산기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 입자 측정 시스템 |
| 9 |
9 삭제 |
| 10 |
10 제 1항에 있어서, 상기 한 쌍의 구면 거울은: 상기 제 1 방향 성분의 입사광을 인입하기 위한 인입구를 갖는 제 1 구면 거울; 및 인입된 상기 제 1 방향 성분의 입사광을 인출하기 위한 인출구를 갖는 제 2 구면 거울을 포함하는 것을 특징으로 하는 입자 측정 시스템 |
| 11 |
11 제 1항에 있어서, 상기 광 변환부가 상기 한 쌍의 구면 거울이고, 상기 광 변환부에 의해 변환된 상기 1차원 광은 다중 경로 광인 것을 특징으로 하는 입자 측정 시스템 |
| 12 |
12 제 1항에 있어서, 상기 광 변환부가 상기 원통형 렌즈이고, 상기 광 변환부는 볼록 렌즈를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 입자 측정 시스템 |
| 13 |
13 제 1항에 있어서, 상기 광 변환부가 상기 원통형 렌즈이고, 상기 광 변환부에 의해 변환된 상기 1차원 광은 판형 광인 것을 특징으로 하는 입자 측정 시스템 |
| 14 |
14 제 1항에 있어서, 상기 제 2 편광부는 상기 제 1 편광부와 동일한 방향 성분을 갖는 것을 특징으로 하는 입자 측정 시스템 |
| 15 |
15 제 1항에 있어서, 상기 광 검출부는 전하 결합 소자 이미지 센서 또는 다채널 광 증배관인 것을 특징으로 하는 입자 측정 시스템 |
| 16 |
16 제 1항에 있어서, 상기 입사광의 직진성 및 상기 산란광의 산란각을 확인하기 위해 상기 광 방출부와 상기 광 변환부 사이 및 상기 광 변환부와 상기 광 검출부 사이에 각각 제공되는 적어도 하나의 조리개를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 입자 측정 시스템 |
| 17 |
17 제 1항에 있어서, 상기 입자와 충돌하지 않은 상기 1차원 광의 세기를 측정하기 위한 광 수광부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 입자 측정 시스템 |
| 18 |
18 제 17항에 있어서, 상기 광 수광부는 포토 다이오드인 것을 특징으로 하는 입자 측정 시스템 |
| 19 |
19 제 17항에 있어서, 상기 입자와 충돌하지 않은 상기 1차원 광의 직진성을 확인하기 위해 상기 광 수광부와 상기 광 변환부 사이에 제공되는 적어도 하나의 조리개를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 입자 측정 시스템 |
| 20 |
20 광 방출부로부터 입사광을 방출시키는 것; 상기 입사광을 제 1 편광부에서 제 1 방향 성분으로 편광시키는 것; 상기 제 1 방향 성분의 상기 입사광을 광 변환부에서 1차원 광으로 변환시키는 것; 상기 1차원 광을 플라즈마 챔버 내의 입자에 조사시켜, 산란광을 생성시키는 것; 제 2 편광부에서 상기 산란광의 상기 제 1 방향 성분만을 통과시키는 것; 및 광 검출부에서 상기 제 1 방향 성분의 산란광을 검출하는 것을 포함하되, 상기 광 변환부는 한 쌍의 구면 거울 또는 원통형 렌즈이고, 상기 광 검출부는 상기 1차원 광에 의하여 상기 플라즈마 챔버 내에서 정의되는 2차원면에서 산란되는 광을 검출하고, 상기 제1 편광부와 상기 제2 편광부는 서로 연동되어 상기 제1 방향 편광 성분을 변경시키어 서로 다른 상기 제1 방향 편광 성분의 비를 이용하여 상기 입자의 크기 및 분포를 2차원적으로 추출하는 것을 특징으로 하는 입자 측정 방법 |
| 21 |
21 제 20항에 있어서, 상기 입사광은 레이저 광인 것을 특징으로 하는 입자 측정 방법 |
| 22 |
22 제 20항에 있어서, 상기 광 방출부는 레이저 광 방출 장치인 것을 특징으로 하는 입자 측정 방법 |
| 23 |
23 제 22항에 있어서, 상기 레이저 광 방출 장치는 루비 레이저, 큐-스위치 엔디야그 레이저, 이알글라스 레이저, 헬륨-네온 레이저, 네온 이온 레이저, 아르곤 이온 레이저, 크립톤 이온 레이저, 크세논 이온 레이저, 불소 엑시머 레이저, 아르곤 플루오라이드 엑시머 레이저, 크립톤 플루오라이드 엑시머 레이저, 크립톤 클로라이드 엑시머 레이저, 크세논 플루오라이드 엑시머 레이저, 크세논 클로라이드 엑시머 레이저, 금 증기 레이저, 구리 증기 레이저, 질소 레이저, 헬륨-카드뮴 레이저, 갈륨 알루미늄 아세나이드 레이저 및 갈륨 아세나이드 레이저 중에서 선택된 하나인 것을 특징으로 하는 입자 측정 방법 |
| 24 |
24 제 20항에 있어서, 상기 제 1 편광부는 제 1 방향 성분 편광판 또는 제 1 방향 성분에 직교하는 제 2 방향 성분 편광판인 것을 특징으로 하는 입자 측정 방법 |
| 25 |
25 제 20항에 있어서, 상기 제 1 편광부는 하프 람다 플레이트인 것을 특징으로 하는 입자 측정 방법 |
| 26 |
26 제 24항에 있어서, 상기 제 1 편광부는 상기 제 1 방향 성분 편광판 및 상기 제 2 방향 성분 편광판을 포함하고, 상기 제 1 편광부의 방향 성분을 선택하기 위해 상기 광 방출부와 상기 제 1 편광부 사이에 제공되는 초퍼를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 입자 측정 방법 |
| 27 |
27 제 20항에 있어서, 상기 입사광이 편광된 광이고, 상기 편광된 광을 서로 직교하는 2개의 방향 성분으로 분산시키기 위해 상기 광 방출부와 상기 제 1 편광부 사이에 제공되는 편광 분산기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 입자 측정 방법 |
| 28 |
28 삭제 |
| 29 |
29 제 20항에 있어서, 상기 한 쌍의 구면 거울은: 상기 제 1 방향 성분의 입사광을 인입하기 위한 인입구를 갖는 제 1 구면 거울; 및 인입된 상기 제 1 방향 성분의 입사광을 인출하기 위한 인출구를 갖는 제 2 구면 거울을 포함하는 것을 특징으로 하는 입자 측정 방법 |
| 30 |
30 제 20항에 있어서, 상기 광 변환부가 상기 한 쌍의 구면 거울이고, 상기 광 변환부에 의해 변환된 상기 1차원 광은 다중 경로 광인 것을 특징으로 하는 입자 측정 방법 |
| 31 |
31 제 20항에 있어서, 상기 광 변환부가 상기 원통형 렌즈이고, 상기 광 변환부는 볼록 렌즈를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 입자 측정 방법 |
| 32 |
32 제 20항에 있어서, 상기 광 변환부가 상기 원통형 렌즈이고, 상기 광 변환부에 의해 변환된 상기 1차원 광은 판형 광인 것을 특징으로 하는 입자 측정 방법 |
| 33 |
33 제 20항에 있어서, 상기 제 2 편광부는 상기 제 1 편광부와 동일한 방향 성분을 갖는 것을 특징으로 하는 입자 측정 방법 |
| 34 |
34 제 20항에 있어서, 상기 광 검출부는 전하 결합 소자 이미지 센서 또는 다채널 광 증배관인 것을 특징으로 하는 입자 측정 방법 |
| 35 |
35 제 20항에 있어서, 상기 입사광의 직진성 및 상기 산란광의 산란각을 확인하기 위해 상기 광 방출부와 상기 광 변환부 사이 및 상기 광 변환부와 상기 광 검출부 사이에 각각 제공되는 적어도 하나의 조리개를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 입자 측정 방법 |
| 36 |
36 제 20항에 있어서, 상기 입자와 충돌하지 않은 상기 1차원 광의 세기를 측정하기 위한 광 수광부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 입자 측정 방법 |
| 37 |
37 제 36항에 있어서, 상기 광 수광부는 포토 다이오드인 것을 특징으로 하는 입자 측정 방법 |
| 38 |
38 제 37항에 있어서, 상기 입자와 충돌하지 않은 상기 1차원 광의 직진성을 확인하기 위해 상기 광 수광부와 상기 광 변환부 사이에 제공되는 적어도 하나의 조리개를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 입자 측정 방법 |
| 지정국 정보가 없습니다 |
|---|
| 패밀리정보가 없습니다 |
|---|
| 국가 R&D 정보가 없습니다. |
|---|
- 본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
- 데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
- 법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.
| 특허 등록번호 | 10-0929868-0000 |
|---|
권리란
| 표시번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
출원 연월일 : 20070312 출원 번호 : 1020070024115 공고 연월일 : 20091204 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20090928 청구범위의 항수 : 36 유별 : H01L 21/66 발명의 명칭 : 입자 측정 시스템 및 이를 사용한 입자 측정 방법 존속기간(예정)만료일 : 20121127 |
특허권자란
| 순위번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
(권리자) 한국표준과학연구원 대전 유성구... |
등록료란
| 제 1 - 3 년분 | 금 액 | 724,500 원 | 2009년 11월 26일 | 납입 |
- 본 '원본보기 서비스'는 참고용이므로, 일부 오류 및 누락이 발생할 수 있습니다.
- 정확한 서류를 확인하시려면 해당 웹사이트에서 조회하시기 바랍니다. (특허로 바로가기: http://www.patent.go.kr)
- 해당 서비스는 점검으로 인해 매주 일요일 00:00 ~ 02:00까지 이용이 중단됩니다.
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 특허출원서 | 2007.03.12 | 수리 (Accepted) | 1-1-2007-0199250-52 |
| 2 | 출원심사청구서 | 2007.03.16 | 수리 (Accepted) | 1-1-2007-0211913-08 |
| 3 | 선행기술조사의뢰서 | 2008.01.14 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 4 | 선행기술조사보고서 | 2008.02.13 | 수리 (Accepted) | 9-1-2008-0006601-03 |
| 5 | 의견제출통지서 | 2008.02.27 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2008-0105248-15 |
| 6 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2008.04.25 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0298978-50 |
| 7 | [명세서등 보정]보정서 | 2008.04.25 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2008-0298977-15 |
| 8 | 의견제출통지서 | 2008.08.28 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2008-0451461-16 |
| 9 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2008.10.10 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0708312-25 |
| 10 | [명세서등 보정]보정서 | 2008.10.10 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2008-0708311-80 |
| 11 | 의견제출통지서 | 2009.03.23 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2009-0125233-34 |
| 12 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2009.05.12 | 수리 (Accepted) | 1-1-2009-0284109-74 |
| 13 | [명세서등 보정]보정서 | 2009.05.12 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2009-0284120-77 |
| 14 | [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서 | 2009.07.14 | 수리 (Accepted) | 1-1-2009-0426344-84 |
| 15 | 등록결정서 | 2009.09.28 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2009-0401020-13 |
| 16 | [대리인해임]대리인(대표자)에 관한 신고서 | 2009.10.14 | 수리 (Accepted) | 1-1-2009-0628730-87 |
| 17 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.01.09 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5004381-25 |
| 18 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2018.12.27 | 수리 (Accepted) | 4-1-2018-5266640-72 |
| 19 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2018.12.27 | 수리 (Accepted) | 4-1-2018-5266627-88 |
| 20 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2018.12.27 | 수리 (Accepted) | 4-1-2018-5266645-00 |
| 기술정보가 없습니다 |
|---|
| 과제정보가 없습니다 |
|---|
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