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실시간 테라헤르츠 분광 영상장치

  • 기술번호 : KST2015179405
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 본 발명은 테라헤르츠 파를 사용하여 샘플의 각 위치마다의 물질에 대한 분광 데이터를 측정하는 측정부, 측정부로부터 얻은 분광 데이터를 처리하여 샘플의 각 위치의 물질을 식별하는 데이터처리부 및 처리된 데이터를 기초로 샘플의 이미지를 구현하는 영상부로 구성된 실시간 테라헤르츠 분광 영상 시스템에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 고속 테라헤르츠 분광 및 실시간 테라헤르츠 영상의 장점을 결합한 방식으로서 샘플의 각 위치에 대한 분광 데이터를 고속으로 획득 및 처리하여 영상화하므로 샘플의 각 위치의 물질을 실시간으로 식별할 수 있기 때문에 반도체 공정, 제품의 불량검사, 비파괴 검사 ,보안검색뿐만 아니라 생의학 진단 등 많은 분야에서 다양하게 쓰일 수 있는 장점이 있다.테라헤르츠 파, 테라헤르츠 분광, 테라헤르츠 영상, 펨토초 레이저, 전광결정, 분석기, CCD 카메라, 데이터 측정부, 영상부, 푸리에변환, 시간지연
Int. CL G01J 3/02 (2006.01)
CPC G01J 3/0216(2013.01) G01J 3/0216(2013.01) G01J 3/0216(2013.01) G01J 3/0216(2013.01)
출원번호/일자 1020060124404 (2006.12.08)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자 10-0815615-0000 (2008.03.14)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20080321) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항 심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호 1020100024158;
심사청구여부/일자 Y (2006.12.08)
심사청구항수 13

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 강상우 대한민국 서울특별시 용산구
2 윤주영 대한민국 서울 양천구
3 성대진 대한민국 충청남도 공주시
4 신용현 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김문종 대한민국 서울특별시 강남구 삼성로**길*, *층(대치동 삼성빌딩)(특허법인 아이퍼스)
2 손은진 대한민국 서울특별시 강남구 삼성로**길*, *층(대치동 삼성빌딩)(특허법인 아이퍼스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2006.12.08 수리 (Accepted) 1-1-2006-0910119-89
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2007.11.05 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2007.12.05 수리 (Accepted) 9-1-2007-0073943-16
4 등록결정서
Decision to grant
2008.02.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0109361-60
5 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2009.01.13 불수리 (Non-acceptance) 1-1-2009-0020825-22
6 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2009.01.13 불수리 (Non-acceptance) 1-1-2009-0021176-77
7 서류반려이유통지서
Notice of Reason for Return of Document
2009.01.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2009-0003619-73
8 서류반려통지서
Notice for Return of Document
2009.02.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2009-0011812-11
9 서류반려이유통지서
Notice of Reason for Return of Document
2009.02.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2009-0013061-86
10 서류반려통지서
Notice for Return of Document
2009.03.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2009-0020389-10
11 [무권리자의 출원 후에 한 정당한 권리자의 출원]특허출원서
[Subsequent Application filed by Lawful Holder of a Right after Earlier Application filed by Unentitled Person] Patent Application
2010.03.18 수리 (Accepted) 1-1-2010-0171499-51
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2014-5004381-25
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
광선 빔을 발생시키는 광원(10), 상기 광선 빔을 분리하는 빔 스플리터(20), 상기 빔 스플리터(20)에서 분리된 빔의 일부를 편광시키는 편광기(52), 상기 빔 스플리터(20)에서 분리된 다른 빔의 시간지연을 유도하는 딜레이 라인(30), 상기 딜레이 라인(30)을 지난 빔이 입사되는 테라헤르츠 발생기(40), 상기 테라헤르츠 발생기(40)에서 나온 테라헤르츠 파가 샘플을 통과한 후 투과하는 반투과기(60), 상기 테라헤르츠 파 및 편광된 빔이 입사하는 전광결정(70), 상기 전광결정(70)을 통과한 빔의 편광정도를 분석하는 분석기(80), 상기 분석기(80)를 통과한 빔을 측정하는 고속 전자신호 처리장치(90)로 구성된 측정부(100);상기 측정부(100)중 상기 전자신호 처리장치(90)의 데이터 및 상기 딜레이 라인(30)에서의 데이터를 기초로 물질정보를 파악하는 데이터처리부(200); 및상기 데이터처리부(200)에서의 샘플의 각 위치의 물질정보를 영상화하는 영상부(300);로 구성된 것을 특징으로 하는 실시간 테라헤르츠 분광 영상장치
2 2
청구항 1에 있어서,상기 광원(10)은 펨토초 레이저 또는 증폭된 펨토초 레이저인 것을 특징으로 하는 실시간 테라헤르츠 분광 영상장치
3 3
청구항 1에 있어서,상기 테라헤르츠 발생기(40)는 광전도 안테나를 사용하는 것을 특징으로 하는 실시간 테라헤르츠 분광 영상장치
4 4
청구항 1에 있어서,상기 테라헤르츠 발생기(40)는 비선형 결정을 사용하는 것을 특징으로 하는 실시간 테라헤르츠 분광 영상장치
5 5
청구항 1에 있어서,상기 테라헤르츠 발생기(40)는 반도체를 사용하는 것을 특징으로 하는 실시간 테라헤르츠 분광 영상장치
6 6
청구항 1에 있어서,상기 딜레이 라인(30)은 스캐닝 광학 딜레이 라인인 것을 특징으로 하는 실시간 테라헤르츠 분광 영상장치
7 7
청구항 1에 있어서,상기 테라헤르츠 발생기(40)와 상기 반투과기(60) 사이에 렌즈가 더 추가되는 것을 특징으로 하는 실시간 테라헤르츠 분광 영상장치
8 8
청구항 1에 있어서,상기 테라헤르츠 발생기(40)와 상기 반투과기(60) 사이에 비축 파라볼라 거울이 더 추가되는 것을 특징으로 하는 실시간 테라헤르츠 분광 영상장치
9 9
청구항 1에 있어서,상기 빔 스플리터(20)와 상기 편광기(52) 사이에 빔 확대기(50)가 더 추가되는 것을 특징으로 하는 실시간 테라헤르츠 분광 영상장치
10 10
청구항 1에 있어서,상기 전자신호 처리장치(90)는 CCD 카메라인 것을 특징으로 하는 실시간 테라헤르츠 분광 영상장치
11 11
청구항 1에 있어서,상기 반투과기(60)는 펠리클 빔 스플리터인 것을 특징으로 하는 실시간 테라헤르츠 분광 영상장치
12 12
청구항 1에 있어서,상기 반투과기(60)는 고저항 실리콘 웨이퍼인 것을 특징으로 하는 실시간 테라헤르츠 분광 영상장치
13 13
청구항 1에 있어서,상기 데이터처리부(200)는 시간영역의 파형을 푸리에 변환하여 물질을 인식하는 데이터처리를 수행하는 것을 특징으로 하는 실시간 테라헤르츠 분광 영상장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.