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광선 빔을 발생시키는 광원(10), 상기 광선 빔을 분리하는 빔 스플리터(20), 상기 빔 스플리터(20)에서 분리된 빔의 일부를 편광시키는 편광기(52), 상기 빔 스플리터(20)에서 분리된 다른 빔의 시간지연을 유도하는 딜레이 라인(30), 상기 딜레이 라인(30)을 지난 빔이 입사되는 테라헤르츠 발생기(40), 상기 테라헤르츠 발생기(40)에서 나온 테라헤르츠 파가 샘플을 통과한 후 투과하는 반투과기(60), 상기 테라헤르츠 파 및 편광된 빔이 입사하는 전광결정(70), 상기 전광결정(70)을 통과한 빔의 편광정도를 분석하는 분석기(80), 상기 분석기(80)를 통과한 빔을 측정하는 고속 전자신호 처리장치(90)로 구성된 측정부(100);상기 측정부(100)중 상기 전자신호 처리장치(90)의 데이터 및 상기 딜레이 라인(30)에서의 데이터를 기초로 물질정보를 파악하는 데이터처리부(200); 및상기 데이터처리부(200)에서의 샘플의 각 위치의 물질정보를 영상화하는 영상부(300);로 구성된 것을 특징으로 하는 실시간 테라헤르츠 분광 영상장치
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청구항 1에 있어서,상기 광원(10)은 펨토초 레이저 또는 증폭된 펨토초 레이저인 것을 특징으로 하는 실시간 테라헤르츠 분광 영상장치
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청구항 1에 있어서,상기 테라헤르츠 발생기(40)는 광전도 안테나를 사용하는 것을 특징으로 하는 실시간 테라헤르츠 분광 영상장치
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청구항 1에 있어서,상기 테라헤르츠 발생기(40)는 비선형 결정을 사용하는 것을 특징으로 하는 실시간 테라헤르츠 분광 영상장치
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청구항 1에 있어서,상기 테라헤르츠 발생기(40)는 반도체를 사용하는 것을 특징으로 하는 실시간 테라헤르츠 분광 영상장치
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청구항 1에 있어서,상기 딜레이 라인(30)은 스캐닝 광학 딜레이 라인인 것을 특징으로 하는 실시간 테라헤르츠 분광 영상장치
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7
청구항 1에 있어서,상기 테라헤르츠 발생기(40)와 상기 반투과기(60) 사이에 렌즈가 더 추가되는 것을 특징으로 하는 실시간 테라헤르츠 분광 영상장치
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청구항 1에 있어서,상기 테라헤르츠 발생기(40)와 상기 반투과기(60) 사이에 비축 파라볼라 거울이 더 추가되는 것을 특징으로 하는 실시간 테라헤르츠 분광 영상장치
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청구항 1에 있어서,상기 빔 스플리터(20)와 상기 편광기(52) 사이에 빔 확대기(50)가 더 추가되는 것을 특징으로 하는 실시간 테라헤르츠 분광 영상장치
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청구항 1에 있어서,상기 전자신호 처리장치(90)는 CCD 카메라인 것을 특징으로 하는 실시간 테라헤르츠 분광 영상장치
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청구항 1에 있어서,상기 반투과기(60)는 펠리클 빔 스플리터인 것을 특징으로 하는 실시간 테라헤르츠 분광 영상장치
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청구항 1에 있어서,상기 반투과기(60)는 고저항 실리콘 웨이퍼인 것을 특징으로 하는 실시간 테라헤르츠 분광 영상장치
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청구항 1에 있어서,상기 데이터처리부(200)는 시간영역의 파형을 푸리에 변환하여 물질을 인식하는 데이터처리를 수행하는 것을 특징으로 하는 실시간 테라헤르츠 분광 영상장치
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