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음향파를 측정하는 음향센서에 있어서, 음향파가 유입되는 진동막(13)과 방출되는 방출막(14)이 형성되고, 상기 진동막(13)으로 유입된 음향파를 전달하도록 내부에 전파매질이 채워진 도파관(10)과; 상기 도파관(10)을 상부 도파관(11)과 하부 도파관(12)으로 분리하도록 형성된 분리막(20)과;상기 도파관(10)의 단부(15)에 진동막(13)으로 유입된 음향파를 흡수하도록 형성된 무향종말처리부(50)와;상기 분리막(20)에 음향파를 검출하는 다수개의 압전센서(30)를 포함하도록 형성됨을 특징으로 하는 압전배열막을 이용한 음향센서
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제 1항에 있어서,상기 분리막(20)은 압전재료로 형성됨을 특징으로 하는 압전배열막을 이용한 음향센서
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제 1항 또는 제2항에 있어서,상기 분리막(20)은 상부 도파관(11)과 하부 도파관(12)이 단부(15)에서 연통되도록 형성됨을 특징으로 하는 압전배열막을 이용한 음향센서
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제 1항에 있어서,상기 압전센서(30)는 압전재료로 형성된 막(33)의 상부면과 하부면에 전극(31, 32)이 설치되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 압전배열막을 이용한 음향센서
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제 2항에 있어서,상기 압전센서(30)는 압전재료로 형성된 분리막(20)의 상부면에 상부 전극(31)이 형성되고, 상기 상부 전극(31)과 대응되는 하부면에 하부 전극(32)이 형성됨을 특징으로 하는 압전배열막을 이용한 음향센서
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제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 도파관(10)은 원형, 타원형, 사각형, 다각형 중 어느 한 단면모양 형태로 형성됨을 특징으로 하는 압전배열막을 이용한 음향센서
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제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 도파관(10)은 진동막(13)으로부터 방출막(14)까지의 단면적이 동일하게 형성됨을 특징으로 하는 압전배열막을 이용한 음향센서
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제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 도파관(10)의 평면모양은 점점 작아지도록 형성됨을 특징으로 하는 압전배열막을 이용한 음향센서
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제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 도파관(10)의 평면모양은 지수함수적으로 점점 작아지도록 형성됨을 특징으로 하는 압전배열막을 이용한 음향센서
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제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 분리막(20)은 특정주파수의 신호를 중첩시키도록 폭을 동일하게 형성함을 특징으로 하는 압전배열막을 이용한 음향센서
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제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 분리막(20)은 넓은 대역의 주파수를 검출하도록 폭을 점점 증가되도록 형성함을 특징으로 하는 압전배열막을 이용한 음향센서
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제4항 또는 제5항에 있어서, 상기 압전센서(30)는 특정주파수의 신호를 중첩시키도록 길이(l)와 폭(w)이 일정한 다수개의 압전센서를 폭(w)과 동일한 간격(d)으로 배치됨을 특징으로 하는 압전배열막을 이용한 음향센서
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13
제4항 또는 제5항에 있어서, 상기 압전센서(30)는 넓은 대역의 주파수를 검출하도록 길이(l)가 점점 증가되도록 형성되어 배치됨을 특징으로 하는 압전배열막을 이용한 음향센서
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14
제4항 또는 제5항에 있어서, 상기 압전센서(30)는 넓은 대역의 주파수를 검출하도록 폭(w)이 점점 증가되도록 형성되어 배치됨을 특징으로 하는 압전배열막을 이용한 음향센서
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