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화학물질 충진시의 액상 수위 진단장치

  • 기술번호 : KST2015179414
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 반도체 제조공정 등의 화학증착 공정에 사용되는 용기 내의 액상 화학물질의 보충시 그 수위를 안정적으로 측정할 수 있는 용기 내 액상 화학 물질의 수위 진단장치에 대한 것으로서, 반도체 제조공정 등의 화학증착 공정에 사용되는 액상 화학 물질이 수용된 용기; 상기 용기 내부의 액상 화학 물질의 수위를 측정하기 위하여 용기 하부에 배치된 초음파 센서를 포함하는 액상 화학 물질의 수위 진단기구; 상기 수위 진단기구와 전기적으로 연결되어 수신된 아날로그 초음파 신호를 디지탈 신호로 변환하는 A/D 변환기; 상기 A/D 변환기에 전기적으로 연결되어 이미 설정된 기준 수위 데이터와 비교하여 용기 내 액상 화학 물질의 수위가 기준 수위 이하인 여부를 판단하는 제어부; 상기 제어부에 전기적으로 연결되어 용기 내의 액상 화학 물질의 수위가 기준 수위 이하인 경우 작동하는 경보기구; 및 상기 용기 내에 수용된 액상 화학물질 수위의 요동에도 불구하고 수위를 정확하게 진단할 수 있도록 설치된 수위진단 보조기구를 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 용기 내의 화학 물질의 수위 진단장치를 제공한다.화학물질, 전구체, 수위, 부유체, 스토퍼, 반도체, 화학증착
Int. CL G01F 23/28 (2006.01) G01F 23/296 (2006.01) G01F 23/00 (2006.01)
CPC G01F 23/296(2013.01) G01F 23/296(2013.01) G01F 23/296(2013.01) G01F 23/296(2013.01) G01F 23/296(2013.01) G01F 23/296(2013.01)
출원번호/일자 1020070001756 (2007.01.05)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자 10-0855900-0000 (2008.08.27)
공개번호/일자 10-2008-0064660 (2008.07.09) 문서열기
공고번호/일자 (20080903) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.01.05)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 윤주영 대한민국 서울 양천구
2 강상우 대한민국 서울 용산구
3 성대진 대한민국 충남 공주시
4 신용현 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김문종 대한민국 서울특별시 강남구 삼성로**길*, *층(대치동 삼성빌딩)(특허법인 아이퍼스)
2 손은진 대한민국 서울특별시 강남구 삼성로**길*, *층(대치동 삼성빌딩)(특허법인 아이퍼스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2007.01.05 수리 (Accepted) 1-1-2007-0014209-52
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2007.07.06 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2007.08.10 수리 (Accepted) 9-1-2007-0045790-26
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2008.01.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0030620-61
5 협의요구서
Request for Consultation
2008.01.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0030624-43
6 협의요구서
Request for Consultation
2008.01.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0030626-34
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2008.03.19 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2008-0197442-10
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2008.03.19 수리 (Accepted) 1-1-2008-0197443-55
9 등록결정서
Decision to grant
2008.07.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0376477-42
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2014-5004381-25
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
삭제
2 2
반도체 제조공정 등의 화학증착 공정에 사용되는 액상 화학 물질이 수용된 용기(200)와;상기 용기(200) 내부의 액상 화학 물질의 수위를 측정하기 위하여 용기 하부에 배치된 초음파 센서(510)를 포함하는 액상 화학 물질의 수위 진단기구(500);상기 수위 진단기구와 전기적으로 연결되어 수신된 아날로그 초음파 신호를 디지탈 신호로 변환하는 A/D 변환기(600);상기 A/D 변환기에 전기적으로 연결되어 이미 설정된 기준 수위 데이터와 비교하여 용기 내 액상 화학 물질의 수위가 기준 수위 이하인 여부를 판단하는 제어부(700);상기 제어부에 전기적으로 연결되어 용기 내의 액상 화학 물질의 수위가 기준 수위 이하인 경우 작동하는 경보기구(800); 및상기 용기(200) 내에 수용된 액상 화학물질 수위의 요동에도 불구하고 수위를 정확하게 진단할 수 있도록 용기 내의 화학 물질 수면 위에 설치된 부유체(1100)와,상기 부유체(1100)를 용기(200)의 상부에 이동가능하게 유지시키는 금속 스토퍼(1300)와,상기 부유체(1100)와 상기 금속 스토퍼(1300)를 연결시키는 탄성의 와이어(1200)가 설치된 수위진단 보조기구(1000)를 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 용기 내의 화학 물질의 수위 진단장치
3 3
제 2항에 있어서, 상기 수위진단 보조기구(1000)는 경보기구(1400)를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 용기 내 화학 물질의 수위진단장치
4 4
제 2항에 있어서, 상기 부유체(1100)는 알루미늄을 포함하는 금속인 용기 내 화학 물질의 수위진단장치
5 5
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.