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액상의 유기금속 전구체가 담긴 용기(110);상기 용기(110)에 상기 유기금속 전구체에 잠기게 배관되어 반응 기체 또는 상기 유기금속 전구체를 버블링하여 기화시키는 불활성 기체를 주입하기 위한 주입 파이프(120);상기 용기(110)에 상기 유기금속 전구체 액상 위에 놓이도록 배관되어 기화된 상기 유기금속 전구체가 포함된 기체를 배출하기 위한 배출 파이프(130);상기 용기(110) 외부에 구비된 온도 조절부(141), 진동발생기(142), 초음파 발생기(143) 및 주입 파이프(120)를 포함하는 열악환경 조성부(140);상기 용기(110)에 구비된 분광수단(150);을 포함하여 구성되며,상기 열악환경 조성부(140)는 상기 온도조절부(141)를 이용하여 상기 유기금속 전구체가 담긴 용기(110)의 온도를 조절하거나, 상기 초음파 발생기(143)를 이용하여 상기 용기(110)에 초음파의 주파수, 초음파의 진폭, 초음파의 세기 또는 초음파의 인가시간, 또는 이들의 조합을 조절하여 인가하거나, 상기 진동 발생기(142)를 이용하여 상기 용기(110)에 진동의 크기, 진동의 세기 또는 진동의 인가시간, 또는 이들의 조합을 조절하여 인가하거나, 상기 주입 파이프(120)을 통해 유기 금속 전구체와 반응하는 반응 기체를 주입하거나, 이들의 조합으로 열악환경을 조성하는 것을 특징으로 하는 열악환경에 따른 전구체 상태 진단장치
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제 1항에 있어서,상기 분광수단(150)은 상기 용기(110)에 서로 대향하는 측면에 한 쌍의 윈도우(151, 152)가 부착되고 상기 한 쌍의 윈도우 각각의 후면에 적외선, 자외선 또는 단일한 파장의 발광부(153) 및 수광부(154)를 배치하는 것을 특징으로 하는 열악환경에 따른 전구체 상태 진단장치
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제 2항에 있어서,상기 용기(110)의 내경이 한 쌍의 윈도우(151, 152) 사이의 간격과 동일하며, 상기 윈도우 사이의 간격은 1mm 내지 10mm 인 것을 특징으로 하는 열악환경에 따른 전구체 상태 진단장치
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제 2항에 있어서,상기 용기(110)의 내경이 일정하지 않으며, 한 쌍의 윈도우(151, 152)가 부착되는 부분에서 용기(110)의 내경이 1mm 내지 10mm 인 것을 특징으로 하는 열악환경에 따른 전구체 상태 진단장치
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제 1항에 있어서,상기 배출 파이프(130)는 두 개 이상의 파이프로 분기되며, 상기 배출 파이프와 상기 분기된 파이프들(131, 133, 135) 사이의 배출 통로를 선택하는 선택밸브(132, 134, 136)를 더 포함하여 구비되는 것을 특징으로 하는 열악환경에 따른 전구체 상태 진단장치
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제 6항에 있어서,상기 분기된 파이프에서 선택된 한 파이프의 타측과 연결되어, 배출되는 물질을 포집하기 위한 포집장치(210)를 더 포함하여 구비되는 것을 특징으로 하는 열악환경에 따른 전구체 상태 진단장치
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제 7항에 있어서,상기 포집장치(210)와 연결되는 분기된 파이프(131)와 상기 포집장치(210)사이에 배출되는 물질을 액화시키기 위한 냉각기(220)를 더 포함하여 구비되는 것을 특징으로 하는 열악환경에 따른 전구체 상태 진단장치
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제 6항에 있어서,상기 분기된 파이프에서 선택된 한 파이프(133)의 타측과 연결되는 질량분석 장치(230)를 더 포함하여 구비되는 것을 특징으로 하는 열악환경에 따른 전구체 상태 진단장치
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제 1항 내지 제 4항, 또는 제 6항 내지 제9항에서 선택된 어느 한 항의 전구체 상태 진단장치에서, 액상의 유기금속 전구체를 용기에 주입하는 단계(s110);액상의 유기금속 전구체가 담긴 용기에 온도, 진동, 초음파, 반응기체 또는 이들의 조합을 이용하여 열악환경을 인가하는 단계(s120); 및상기 액상의 유기금속 전구체의 성분량을 측정하는 단계(s130);를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 열악환경에 따른 전구체 상태 진단방법
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제 10항에 있어서,상기 분광 및 검출하는 단계(s130) 이후,상기 용기에 인가되는 열악환경의 조건을 변화시키는 단계(s210) 및상기 액상의 유기금속 전구체에 적외선 분광기를 투과하여 분광 및 검출하는 단계(s220)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 열악환경에 따른 전구체 상태 진단방법
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