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장착 및 탈착 가능한 센서부를 갖는 전구체 보관 용기

  • 기술번호 : KST2015179427
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 유기 및 무기화학물 또는 유기금속화합물 등의 전구체가 저장되는 전구체 보관 용기에 관한 것으로, 보다 상세하게는 장착 및 탈착 가능한 센서부를 갖는 전구체 보관 용기에 관한 것이다. 본 발명의 목적은 전구체 보관 용기 내의 전구체 잔존량을 실시간 모니터링할 수 있는, 장착 및 탈착 가능한 센서부를 갖는 전구체 보관 용기를 제공함에 있다. 또한 본 발명의 다른 목적은, 용기 바닥에 센서를 안정되게 부착할 수 있음과 동시에 센서 부분을 장착, 탈착 및 교체하는 것이 용이한, 장착 및 탈착 가능한 센서부를 갖는 전구체 보관 용기를 제공함에 있다.화학 증착, 전구체, 잔존량, 보관 용기, 센서, 실시간 모니터링
Int. CL C23C 16/00 (2006.01)
CPC C23C 16/45525(2013.01) C23C 16/45525(2013.01) C23C 16/45525(2013.01) C23C 16/45525(2013.01) C23C 16/45525(2013.01)
출원번호/일자 1020070047482 (2007.05.16)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2008-0101143 (2008.11.21) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 발송처리완료
심판사항 심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.05.16)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 윤주영 대한민국 서울특별시 양천구
2 강상우 대한민국 서울특별시 용산구
3 성대진 대한민국 충청남도 공주시
4 신용현 대한민국 대전시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김종관 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
2 박창희 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
3 권오식 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2007.05.16 수리 (Accepted) 1-1-2007-0359932-91
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2008.02.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2008.03.13 수리 (Accepted) 9-1-2008-0017466-82
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2008.08.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0446211-91
5 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2009.02.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0076109-42
6 명세서 등 보정서(심사전치)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2009.03.20 보정각하 (Rejection of amendment) 7-1-2009-0013353-15
7 심사전치출원의 심사결과통지서
Notice of Result of Reexamination
2009.04.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0175194-57
8 보정각하결정서
Decision of Rejection for Amendment
2009.04.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0175193-12
9 심사관의견요청서
Request for Opinion of Examiner
2009.05.28 수리 (Accepted) 7-8-2009-0018177-44
10 심사관 의견서
Written Opinion of Examiner
2009.06.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2009-0011079-82
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2014-5004381-25
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
화학 증착 공정에 사용되는 전구체 보관 용기에 있어서,하기 용기부(200) 상단에 구비되어 상기 용기부(200)를 밀폐하는 마개부(300);함체 형태로 형성되어 내부에 수용부(220)가 형성되는 용기부 몸체(210) 및 상기 용기부 몸체(210)의 하단에 형성되며 하기 센서부(100)와 착탈 가능하게 연결되는 제2고정수단(211)을 포함하여 이루어지는 용기부(200); 및상기 용기부(200)의 하단에 구비되며, 상기 용기부 몸체(210)의 하단에 밀착되어 상기 수용부(220) 내에 담겨진 전구체의 잔존량을 측정하는 센서(120)가 구비되는 센서부 몸체(110), 상기 제2고정수단(211)과 착탈 가능하게 연결되는 제1고정수단(111) 및 상기 센서(120)와 연결되는 케이블이 통과하는 케이블 홈(130)을 포함하여 이루어지는 센서부(100);를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 장착 및 탈착 가능한 센서부를 갖는 전구체 보관 용기
2 2
제 1항에 있어서, 상기 센서(120)는초음파 또는 진동 펄스를 발생시킨 순간부터 상기 수용부(220) 내에 담겨진 전구체 수면에 펄스가 반사되어 오는 순간까지의 시간을 측정한 값을 사용하여 상기 수용부(220) 내에 담겨진 전구체의 잔존량을 산출하는 초음파 센서 또는 진동 센서인 것을 특징으로 하는 장착 및 탈착 가능한 센서부를 갖는 전구체 보관 용기
3 3
제 2항에 있어서, 상기 제1고정수단(111) 및 상기 제2고정수단(211)은암나사 및 수나사로 이루어지는 것을 특징으로 하는 장착 및 탈착 가능한 센서부를 갖는 전구체 보관 용기
4 4
제 2항에 있어서, 상기 제1고정수단(111) 및 상기 제2고정수단(211)은걸림부 및 홈으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 장착 및 탈착 가능한 센서부를 갖는 전구체 보관 용기
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제 3항 또는 제 4항에 있어서, 상기 센서부(100)는상기 센서(120)의 하부에 구비되어, 탄성에 의해 상기 센서(120)를 상기 용기부 몸체(210) 쪽으로 밀어올리는 스프링(140)을 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 장착 및 탈착 가능한 센서부를 갖는 전구체 보관 용기
6 6
제 3항 또는 제 4항에 있어서, 상기 센서부(100)는상기 센서(120)의 측면에 구비되어, 상기 센서(120)의 평면 상에서의 위치가 흔들리는 것을 방지하는 조리개(150)를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 장착 및 탈착 가능한 센서부를 갖는 전구체 보관 용기
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.