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측정 평면을 포함하는 공간을 제공하는 용기를 준비하는 단계;상기 용기 내로 입사광을 입사시키어 반사를 통하여 상기 측정 평면을 정의하고, 상기 측정 평면 상에 존재하는 입자들로부터 산란되는 산란광의 2차원적 세기 분포를 측정하는 단계;상기 측정된 산란광의 2차원적 세기 분포를 처리하는 단계; 및 상기 측정 평면 상에 존재하는 입자들의 크기의 공간적 분포를 결정하는 단계를 포함하는 입자 크기의 분포적 특성 평가 방법
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제 1 항에 있어서,상기 산란광의 2차원적 세기 분포를 측정하는 단계는 서로 다른 편광 방향을 갖는 제1 입사광 및 제2 입사광을 상기 용기 내로 입사시키어, 상기 측정 평면 상에 존재하는 입자들로부터 산란되는 제1 산란광 및 제2 산란광의 2차원적 세기 분포들을 측정하는 단계를 포함하고,상기 측정된 산란광의 2차원적 세기 분포를 처리하는 단계는 상기 제 1 및 제 2 산란광들의 2차원적 세기들을 처리하여 편광 비율 분포 함수를 구하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 입자 크기의 분포적 특성 평가 방법
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제 2 항에 있어서,상기 산란광의 2차원적 세기 분포를 측정하는 단계는 상기 용기 내부로 입사되는 상기 입사광을 차단한 상태에서, 배경광의 2 차원적 세기 분포를 측정하는 단계를 더 포함하고,상기 측정된 산란광의 2차원적 세기 분포를 처리하는 단계는 상기 제1 산란광 및 제2 산란광의 2차원적 세기 분포들에서 상기 배경광의 2차원적 세기 분포를 차감하여 제1 알짜 산란광 및 제2 알짜 산란광의 2차원적 분포들을 추출하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 입자 크기의 분포적 특성 평가 방법
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제 2 항에 있어서,상기 편광 비율 분포함수는 평균된 제1 및 제2 산란광들의 2차원적 세기들의 비율로 결정하되,상기 측정된 산란광의 2차원적 세기 분포를 처리하는 단계는상기 제1 산란광 및 제2 산란광의 2차원적 세기 분포들을 측정하는 단계를 수회 반복하여 측정하는 단계; 및상기 제1 산란광 및 제2 산란광의 2차원적 세기 분포들을 평균하는 단계를 더 포함하는 입자 크기의 분포적 특성 평가 방법
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제 2 항 내지 제 4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 측정된 산란광의 2차원적 세기 분포를 처리하는 단계는상기 측정된 산란광의 2차원적 세기 분포의 데이터 형식을 변환하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 입자 크기의 분포적 특성 평가 방법
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제 5 항에 있어서,상기 측정된 산란광의 2차원적 세기 분포의 데이터 형식을 변환하는 단계는상기 측정된 산란광의 2차원적 세기 분포를 디지털 형태인 제1 이미지 데이터로 변환하는 단계;색공간변환 알고리즘을 이용하여 상기 제1 이미지 데이터를 휘도정보를 포함하는 제1 색공간 데이터로 변환하는 단계; 및상기 제1 색공간 데이터를 제 1 계조 데이터로 변환하는 단계 중에서 하나 이상의 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 입자 크기의 분포적 특성 평가 방법
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제 2 항에 있어서,상기 입자들의 크기의 공간적 분포를 결정하는 단계는상기 편광 비율 분포 함수와 입자 크기의 관계식을 이용하여 상기 측정 평면상에 존재하는 입자들의 크기 분포를 결정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 입자 크기의 분포적 특성 평가 방법
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제 7 항에 있어서,상기 편광 비율 분포 함수와 입자 크기의 관계식은 로렌츠-미 산란이론에 의한 관계식인 것을 특징으로 하는 입자 크기의 분포적 특성 평가 방법
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제 2 항에 있어서,상기 편광 비율 분포 함수는 상기 산란광의 세기를 상기 입사광의 진행 경로 상의 각 위치들의 함수로 표현하는 것을 특징으로 하는 입자 크기의 분포적 특성 평가 방법
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제 2 항에 있어서,상기 제1 입사광 및 제2 입사광은 제1 시간 간격을 두고 차례로 상기 용기 내부로 입사하되,상기 제 1 시간 간격은 0초 초과 내지 10sec 이하 인 것을 특징으로 하는 입자 크기의 분포적 특성 평가 방법
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제 1 항에 있어서,상기 용기는 기판이 로딩된 플라즈마 공정 챔버이고,상기 측정 평면은 상기 기판에 수직한 평면인 것을 특징으로 하는 입자 크기의 분포적 특성 평가 방법
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제 1 항에 있어서,상기 입사광은 상기 측정 평면을 서로 다른 높이에서 왕복 진행하는 경로를 가짐으로써, 상기 측정 평면을 2 차원적으로 스캔하는 것을 특징으로 하는 입자 크기의 분포적 특성 평가 방법
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측정 평면을 포함하는 공간을 제공하는 용기 외부에 배치되어, 상기 용기 내부로 입사하는 입사광에 의하여 반사를 통하여 정의되는 상기 측정 평면 상에 존재하는 입자들로부터 산란되는 산란광의 2 차원적 세기 분포를 측정하는 측정장치부;상기 측정장치부에 전기적으로 연결되어, 상기 측정된 산란광의 2차원적 세기 분포를 처리하는 영상 처리부; 및상기 영상 처리부의 출력 데이터를 이용하여 상기 측정 평면 상에 존재하는 입자들의 크기의 공간적 분포를 결정하는 입자크기 산출부를 포함하는 것을 특징으로 하는 영상처리장치
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제 13 항에 있어서,상기 측정 장치부는 상기 용기 내로 입사되는 서로 다른 편광 방향을 갖는 제 1 입사광 및 제 2 입사광에 의해, 상기 측정 평면 상에 존재하는 입자들로부터 산란되는 제 1 산란광 및 제2 산란광의 2차원적 세기 분포를 측정하도록 구성되고,상기 영상 처리부는 상기 제1 및 제2 산란광들의 2차원적 세기들을 처리하여 편광 비율 분포 함수를 추출하는 편광 비율 분포 함수 추출부를 포함하는 것을 특징으로 하는 영상처리장치
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제 14항에 있어서,상기 측정 장치부는 상기 용기로부터 방출되는 배경광의 2 차원적 분포를 측정하고,상기 영상 처리부는 상기 제1 산란광 및 제2 산란광의 2 차원적 분포에서 상기 배경 광의 2차원적 분포를 차감하여 제1 알짜 산란광 및 제2 알짜 산란광의 2차원적 분포들을 추출하는 감산부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 영상처리장치
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제 14 항에 있어서,상기 영상 처리부는 상기 측정된 산란광의 2차원적 세기 분포의 데이터 형식을 변환하는 데이터 변환부; 및상기 측정된 산란광의 2차원적 세기 분포의 평균값을 산출하는 평균값 산출부 중에서 하나 이상을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 영상처리장치
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제 16 항에 있어서,상기 데이터 변환부는상기 측정된 산란광의 2차원적 세기 분포를 디지털 데이터 포맷인 제 1 이미지 데이터로 변환하도록 구성되는 데이터 수신부;색공간변환 알고리즘을 이용하여 상기 제 1 이미지 데이터를 휘도정보를 포함하는 제 1 색공간 데이터로 변환하도록 구성되는 색변환부; 및상기 제 1 색공간 데이터를 제 1 계조 데이터로 변환하도록 구성되는 계조 데이터 생성부 중에서 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 영상처리장치
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제 14 항에 있어서, 상기 측정장치부는 광 검출부를 포함하되,상기 광 검출부는 전하 결합 소자 이미지 센서(Charge Coupled Device), 비디오 카메라, 다채널 광 증배관(Photo multiplayer tube) 중 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 영상처리장치
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